【技术实现步骤摘要】
一种灯丝定位系统
本技术涉及机械工程与自动化领域,尤其涉及一种灯丝定位系统及灯丝定位方法。
技术介绍
电子显微镜作为微观形貌观察的有力工具,正越来越迅速、广泛地应用于冶金、矿物、化工、医药、生物、生物医学、食品、纳米材料等领域。电子显微镜主要包括透射电子显微镜和扫描电子显微镜。透射电子显微镜(TEM)用聚焦电子束作照明源,使用对电子束透明的薄膜样品,以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。扫描电子显微镜是利用二次电子反射的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试样品表面二维结构形貌的观察。显微镜的整个电子光学部分完全置于镜筒之内,自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、CCD等装置。其中由电子枪、聚光镜等装置组成的照明系统为成像系统提供一束亮度高、相干性好的照明光源。电子枪由阴极、控制极(栅极)和阳极构成。在真空中高压加热后从阴极发射的电子获得较高的动能,形成定向高速电子流(电子束)。在一定范围内,灯丝电流越大,灯丝温度越高,发射的电子越多,灯丝表面蒸发越快。因而灯丝有一定寿命,如钨灯丝一般是100-150小时,六硼化镧灯丝大于1000小时,六硼化铈灯丝1500左右。这就需要经常更换灯丝。更换电子显微镜灯丝时,对灯丝的位置也有非常严格的限定:灯丝的尖端要求必须位于电子枪的中心位置。如果灯丝的位置偏移,很容易导致灯丝亮度偏暗,操作人员需要通过增加偏压或电流来提高亮度,进而造成灯丝损伤。目前更换灯丝完全依靠手工,不仅浪费了仪器管理人员的大量时间 ...
【技术保护点】
一种灯丝定位系统,其特征在于,包括:底板(11)、第一定位调节机构(12)和第二定位调节机构(13);所述底板(11)上设置有用以固定灯丝(3)的灯丝座(2),所述第一定位调节机构(12)安装在所述底板(11)上,用以调节所述灯丝座(2)在所述底板(11)上的位置;所述灯丝座(2)具有第一定位中心,所述第二定位调节机构(13)用于调节所述灯丝(3),使所述灯丝(3)的灯丝尖位于所述第一定位中心;检测模块,用于采集并显示所述灯丝(3)的灯丝尖和所述灯丝座(2)的位置信息,所述第一定位调节机构(12)和所述第二定位调节机构(13)根据所述位置信息对应调节所述灯丝座(2)和所述灯丝的位置。
【技术特征摘要】
1.一种灯丝定位系统,其特征在于,包括:底板(11)、第一定位调节机构(12)和第二定位调节机构(13);所述底板(11)上设置有用以固定灯丝(3)的灯丝座(2),所述第一定位调节机构(12)安装在所述底板(11)上,用以调节所述灯丝座(2)在所述底板(11)上的位置;所述灯丝座(2)具有第一定位中心,所述第二定位调节机构(13)用于调节所述灯丝(3),使所述灯丝(3)的灯丝尖位于所述第一定位中心;检测模块,用于采集并显示所述灯丝(3)的灯丝尖和所述灯丝座(2)的位置信息,所述第一定位调节机构(12)和所述第二定位调节机构(13)根据所述位置信息对应调节所述灯丝座(2)和所述灯丝的位置。2.如权利要求1所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述底板(11)具有第二定位中心(14),所述第一定位调节机构(12)调节所述灯丝座(2),使所述灯丝座(2)的轴线穿过所述第二定位中心(14);所述第一定位中心位于所述第二定位中心(14)的正上方。3.如权利要求2所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述第一定位调节机构(12)包括多个定位杆(121),所述多个定位杆(121)以所述第二定位中心(14)为圆心呈放射状均匀分布;所述定位杆(121)能沿靠近或远离所述第二定位中心(14)的方向移动,以使所述定位杆(121)的端部与所述灯丝座(2)抵接以固定所述灯丝座(2)。4.如权利要求3所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述第一定位调节机构(12)包括多个丝杆螺母组件,螺母固定于所述底板(11),丝杆与所述螺母配合形成所述定位杆(121)。5.如权利要求3所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述灯丝座(2)包括灯丝底座(21)和灯丝定位座(22),所述灯丝定位座(22)安装在所述灯丝底座(21)上,所述灯丝(3)安装在所述灯丝定位座(22)上。6.如权利要求5所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述灯丝定位座(22)的上端面具有栅帽孔,所述栅帽孔的中心为所述第一定位中心。7.如权利要求6所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述第二定位调节机构(13)包括内六角扳手,用于调节所述灯丝(3)与所述灯丝定位座(22)的连接螺丝,以调整所述灯丝尖的位置。8.如权利要求5-7中任一项所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述检测模块包括图像采集模块(41)和图像显示模块(42),所述图像采集模块(41)用于采集所述灯丝尖和所述灯丝座(2)的位置图像信息;所述图像显示模块(42)与所述图像采集模块(41)连接,用于显示所述位置图像信息。9.如权利要求8所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述图像采集模块(41)位于所述第二定位中心(14)的正上方。10.如权利要求8所述的灯丝定位系统,其特征在于,所述图像显示模块(42)为电脑终端,所述电脑终端接收并处理所述位置图像信息,所述位置图像信息包括位置图像和所述灯丝尖与所述第一定位中心的距离信息。11.如权利要求10所述的灯...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡西学,甘雅玲,郭宏博,徐晓慧,王东亮,
申请(专利权)人:国家纳米科学中心,
类型:新型
国别省市:北京,11
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