一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液制造技术

本发明专利技术公开一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂40‑50％，多功能泡沫抑制剂5‑10％，非离子清洗润滑剂30‑40％，高分子表面活性剂2‑6％，润湿渗透剂1‑3％，余量为水。本发明专利技术的高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，具有优异的润滑、清洗以及冷却的性能，自身具有优异的消泡性，有效的改善了在线切割过程中存在的泡沫多，切割效率低的问题；且本发明专利技术制备的高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液为油性体系，使用过程中加纯水稀释使用，有效降低了COD的排放量，满足了环保要求。

A highly lubricated, self defoaming and easy cleaning environment-friendly oil line cutting fluid

The invention discloses a high lubricating self defoaming and environmentally friendly oil line cutting fluid, which includes the following components: high boiling point alcohol antifreeze 40, multi-functional foam inhibitor 5, 10%, non ion cleaning lubricant 30 40%, high polymer surfactant 2 6%, wetting penetrant 1 3%, and water. The high lubrication self defoaming is easy to clean the green oil line cutting fluid, and has excellent lubrication, cleaning and cooling performance. It has excellent defoaming ability, and effectively improves the problem of many foam and low cutting efficiency in the process of on-line cutting, and the high lubrication self defoaming is easy to clean the environmental protection oil. The linear cutting fluid is an oil-bearing system, which is used in the process of dilution with pure water, which effectively reduces COD emissions and meets the environmental requirements.

【技术实现步骤摘要】
一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液
本专利技术涉及精细化工领域，具体涉及一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液。
技术介绍
近年来，随着集成电路(IC)和光伏发电(PV)产业的发展，硅片的使用量剧增。据统计全球约80％的太阳电池和90％以上的集成电路都要使用硅片。在硅片制造流程中，切料、截段、切方等环节对材料的损耗较低，唯独切片的损耗较大，约占总成本的30％。同时，切片是造成应力、崩边、损伤等问题最主要的工序，切片质量和效率直接影响到后续的腐蚀、抛光等工序，甚至影响太阳电池的转化效率，进而影响整个制造过程。多线切割以其高效率、高质量、低损耗等巨大优势而成为目前300mm及以上硅切片最常用方法之一，而切割液是影响硅片切割的质量和效率的关键因素之一。现有的研究表明，具有润滑渗透良好、磨粒分散均匀、pH值适当等特性的切割液能够有效降低硅片表面损伤应力、减小损伤层和提高加工精度和质量。因此随着IC及PV产业的进一步发展，也对切片的质量和效率提出更高的技术要求。
技术实现思路
为了解决线切割加工过程中存在的不足并逐渐满足更高的切割技术要求，本专利技术提供一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，具有优异的润滑作用，可有效防止切割过程中硅片发生脆性崩裂或者划痕产生，可以有效提高线切割加工过程中的切割效率。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是，一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂40-50％，多功能泡沫抑制剂5-10％，非离子清洗润滑剂30-40％，高分子表面活性剂2-6％，润湿渗透剂1-3％，余量为水。其中，所述高沸点醇防冻剂为乙二醇、二乙二醇、丙二醇、丙三醇、二丙二醇、三丙二醇、2-甲基-2，4-戊二醇、2-乙基己醇、乙二醇单丁醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇丙醚、二丙二醇丁醚中的至少一种。其中，所述的多功能泡沫抑制剂为2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇(TMDD)、1，4-丁炔二醇(BOZ)、2，5-二甲基-3-己炔-二醇、2-甲基-3-丁炔-二醇、3，5-二甲基-1-乙炔-3-醇、5-辛炔-3-醇、5-己烯-2-炔基-1-醇中的至少一种。其中，所述的非离子清洗润滑剂为聚乙二醇、聚醚中的至少一种。其中，所述聚乙二醇选自PEG400、PEG600、PEG800，聚醚选自巴斯夫聚醚PE3100、PE3500、PE4200、PE4300、PE6100、PE6200、PE6400、PE6800、RPE1740、RPE1720、RPE2520、RPE3110；国产聚醚L31、L35、L42、L43、L44、L61、L62、L64、L65、L68；陶氏聚醚EPML-483。其中，所述的高分子表面活性剂为聚乙烯吡咯烷酮PVP-K15、聚乙烯吡咯烷酮PVP-30、聚乙烯吡咯烷酮PVP-60、聚乙烯醇PVA中的至少一种。其中，所述的润湿渗透剂为美国空气化工Surfynol420、Surfynol440、Surfynol465、Surfynol485、Surfynol2502、Surfynol61、SurfynolFS-85、Surfynol104E、Surfynol104BC、Surfynol104A、Surfynol104DPM、Surfynol104H、Surfynol104PG-50、Surfynol104PA、Surfynol104S、SurfynolSE-F中的至少一种。优选的，所述高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂47％，多功能泡沫抑制剂8％，非离子清洗润滑剂35％，高分子表面活性剂3％，润湿渗透剂3％，余量为水。优选的，所述高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂47％，多功能泡沫抑制剂10％，非离子清洗润滑剂35％，高分子表面活性剂2％，润湿渗透剂2％，余量为水。本专利技术还提供一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液的制备方法，包括以下步骤：1)准备以下配比的原料：高沸点醇防冻剂40-50％，多功能泡沫抑制剂5-10％，非离子清洗润滑剂30-40％，高分子表面活性剂2-6％，润湿渗透剂1-3％，余量为水；2)将高分子表面活性剂加入到水中，在不断搅拌的条件下完全溶解在水中；3)将高沸点醇防冻剂、多功能泡沫抑制剂、非离子清洗润滑剂、润湿渗透剂加入到上述溶液中，搅拌均匀，即得高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液。由上述方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：1)具有优异的润滑作用，可有效防止切割过程中硅片发生脆性崩裂或者划痕产生，降低硅片的表面粗糙度和表面翘曲度，使得所加工硅片的总厚度偏差降到最低。2)清洗效果好，并具有优异的自消泡性，不需再单独添加消泡剂，克服了在切割过程中泡沫多、影响效率的难题。3)环境污染低，纯水稀释后使用，COD排放量低，很大程度上降低了污水的处理难度，符合环保要求。本专利技术采用具有优异润滑性的表面活性剂与具有泡沫抑制作用的多功能表面活性剂的复配技术，多种添加剂的复配，有效增加了切割过程中的润滑性，提高了切割效率，同时具有优异的自消泡性与易清洗的优点，满足了随着IC以及PV产业的发展，对切割切片的质量和效率提出的技术要求。具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本专利技术。应理解，这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。此外应理解，在阅读了本专利技术的内容之后，本领域技术人员可以对本专利技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本专利技术所限定的范围。一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂40-50％，多功能泡沫抑制剂5-10％，非离子清洗润滑剂30-40％，高分子表面活性剂2-6％，润湿渗透剂1-3％，余量为水。其中，所述高沸点醇防冻剂为乙二醇、二乙二醇、丙二醇、丙三醇、二丙二醇、三丙二醇、2-甲基-2，4-戊二醇、2-乙基己醇、乙二醇单丁醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇丙醚、二丙二醇丁醚中的至少一种。其中，所述的多功能泡沫抑制剂为2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇(TMDD)、1，4-丁炔二醇(BOZ)、2，5-二甲基-3-己炔-二醇、2-甲基-3-丁炔-二醇、3，5-二甲基-1-乙炔-3-醇、5-辛炔-3-醇、5-己烯-2-炔基-1-醇中的至少一种。其中，所述的非离子清洗润滑剂为聚乙二醇、聚醚中的至少一种。其中，所述聚乙二醇选自PEG400、PEG600、PEG800，聚醚选自巴斯夫聚醚PE3100、PE3500、PE4200、PE4300、PE6100、PE6200、PE6400、PE6800、RPE1740、RPE1720、RPE2520、RPE3110；国产聚醚L31、L35、L42、L43、L44、L61、L62、L64、L65、L68；陶氏聚醚EPML-483。其中，所述的高分子表面活性剂为聚乙烯吡咯烷酮PVP-K15、聚乙烯吡咯烷酮PVP-30、聚乙烯吡咯烷酮PVP-60、聚乙烯醇PVA中的至少一种。其中，所述的润湿渗透剂为美国空气化工Surfynol420、Surfynol440、Surfynol465、Surfynol485、Surfynol2502、Surfynol6本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，其特征在于，所述高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂40‑50％，多功能泡沫抑制剂5‑10％，非离子清洗润滑剂30‑40％，高分子表面活性剂2‑6％，润湿渗透剂1‑3％，余量为水。

【技术特征摘要】
1.一种高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，其特征在于，所述高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液按重量百分比包括以下组分：高沸点醇防冻剂40-50％，多功能泡沫抑制剂5-10％，非离子清洗润滑剂30-40％，高分子表面活性剂2-6％，润湿渗透剂1-3％，余量为水。2.根据权利要求1所述的高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，其特征在于，所述高沸点醇防冻剂为乙二醇、二乙二醇、丙二醇、丙三醇、二丙二醇、三丙二醇、2-甲基-2，4-戊二醇、2-乙基己醇、乙二醇单丁醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇丙醚、二丙二醇丁醚中的至少一种。3.根据权利要求1所述的高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，其特征在于，所述的多功能泡沫抑制剂为2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇、1，4-丁炔二醇、2，5-二甲基-3-己炔-二醇、2-甲基-3-丁炔-二醇、3，5-二甲基-1-乙炔-3-醇、5-辛炔-3-醇、5-己烯-2-炔基-1-醇中的至少一种。4.根据权利要求1所述的高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，其特征在于，所述的非离子清洗润滑剂为聚乙二醇、聚醚中的至少一种。5.根据权利要求4所述的高润滑自消泡易清洗环保油性线切割液，其特征在于，所述聚乙二醇选自PEG400、PEG600、PEG800，聚醚选自巴斯夫聚醚PE3100、PE3500、PE4200、PE4300、PE6100、PE6200、PE6400、PE6800、RPE1740、RPE1720、RPE2520、RPE3110；国产聚醚L31、L35、L42、L43...

【专利技术属性】
技术研发人员：景欣欣，王婷婷，张俊晨，殷静雪，
申请(专利权)人：苏州禾川化学技术服务有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32