接口装置、接口单元、探针装置和连接方法制造方法及图纸

在接口装置(50)中，对基座部件(55)施加负载，当将连接器部(51)推至外部连接器(41)时，弹簧(59)缩短，基座部件(55)与保持件(57)的间隔靠近。连结部件(61)的倾斜面(65a1)从保持件(57)的倾斜面(57b)分离，由连结部件(61)进行的保持件(57)的固定被解除，连结部件(61)变得能够在空腔部分(57a)内浮动。其结果是，保持件(57)和连接器部(51)变得能够相对于基座部件(55)在XY方向上浮动，连接器(51a)的端子变得能够在XY方向上进行微调整，从而能够精密地与外部连接器(41)对位。

Interface device, interface unit, probe device and connection method

In the interface device (50), a load is applied to the base part (55), and when the connector part (51) is pushed to the external connector (41), the spring (59) is shortened, and the base part (55) is close to the interval of the retainer (57). The inclined plane (65a1) of the connecting part (61) is separated from the tilting surface (57B) of the retaining part (57), and the fixed part (57) of the connecting part (61) is relieved, and the connecting part (61) becomes able to float within the cavity part (57A). As a result, the holder (57) and the connector unit (51) become able to float relative to the base part (55) in the XY direction, and the terminal of the connector (51a) becomes able to be slightly adjusted in the direction of the XY so that the external connector (41) can be accurately counteracted.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接口装置、接口单元、探针装置和连接方法
本专利技术涉及用于将两个部件电连接的接口装置、具有该接口装置的接口单元和探针装置以及连接方法。
技术介绍
在半导体器件的制造工序中，进行用于评价半导体器件的电特性的探针检查。探针检查通过使探针板的探针与形成在半导体基板上的半导体器件的电极接触，从测试仪部向各个半导体器件输出电信号，观测与此相应地输出的电信号，来进行电特性评价。在进行探针检查时，有时使用将探针板与测试仪部电连接的接口装置。以往，作为接口装置和探针板的连接结构，采用了例如伸缩探针与电极焊盘的接触结构等。但是，为了可靠地进行电连接，可以认为优选使公/母结构的连接器嵌合的嵌合结构。在此情况下，例如需要使接口装置侧的多个连接器与探针板侧的多个连接器一并嵌合，要求较高的对位精度和加工精度。此外，当连接器的数量多时，连接需要较大的负载。关于将多个连接器一并连接的机构，例如在专利文献1(日本特表2003-505836号公报)中，公开了在连接器设置有与其轴方向正交的方向上的游隙的接口装置。可是，该专利文献1的机构存在连接器的位置因游隙而变得不稳定，难以高精度地对位的缺点。此外，探针板需要根据半导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接口装置，其包括用于与外部的连接器连接的连接器和支承所述连接器的支承部，所述接口装置的特征在于：所述支承部包括：基座部件；保持件，其与所述基座部件连结，在内部具有空腔部分，并且保持所述连接器；施力机构，其介于所述基座部件与所述保持件之间，对所述保持件向所述外部的连接器施力；和连结部件，其固定于所述基座部件，并且具有游隙地插入所述保持件的空腔部分中，在利用所述施力机构的作用力使所述保持件与所述基座部件隔开第1间隔的状态下，所述连结部件与所述空腔部分的内壁卡合，使得所述保持件相对于所述基座部件被固定，并且，在所述基座部件和所述保持件抵抗所述作用力而靠近至比所述第1间隔小的第2间隔的状态下，所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.24 JP 2015-1872901.一种接口装置，其包括用于与外部的连接器连接的连接器和支承所述连接器的支承部，所述接口装置的特征在于：所述支承部包括：基座部件；保持件，其与所述基座部件连结，在内部具有空腔部分，并且保持所述连接器；施力机构，其介于所述基座部件与所述保持件之间，对所述保持件向所述外部的连接器施力；和连结部件，其固定于所述基座部件，并且具有游隙地插入所述保持件的空腔部分中，在利用所述施力机构的作用力使所述保持件与所述基座部件隔开第1间隔的状态下，所述连结部件与所述空腔部分的内壁卡合，使得所述保持件相对于所述基座部件被固定，并且，在所述基座部件和所述保持件抵抗所述作用力而靠近至比所述第1间隔小的第2间隔的状态下，所述连结部件与所述空腔部分的内壁分离，使得所述保持件能够相对于所述基座部件浮动。2.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于：所述连接器能够与所述外部的连接器嵌合。3.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于：所述内壁具有随着向所述施力机构对所述保持件进行施力的方向去而扩展的倾斜面，所述连结部件包括具有与所述倾斜面对应的倾斜面的锥状部分。4.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于：在所述连接器和所述外部的连接器相互推压的推压力的作用下，所述基座部件与所述保持件的间隔从所述第1间隔缩小至所述第2间隔。5.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于：所述连接器包括电路板，该电路板设置有与所述外部的连接器连接的配线。6.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于：还包括进行所述连接器与所述外部的连接器...

【专利技术属性】
技术研发人员：远藤朋也，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP