薄透明介质性质非接触测量仪制造技术

本实用新型专利技术为薄透明介质性质非接触测量仪，内容涉及：光学(激光、迈克尔逊干涉仪)、数字成像、信号传感器、机械(步进电机和齿轮)、软件程序。为一般厚度的透明介质提供的一款高精度的测量仪。仪器分为两层，上层光学部，安放了精密的光学元件和测量器件，下层为驱动部，安放了步进电机和处理器及控制电路。仪器有两个插口，将待测物先后装入两个口进行操作与测量。操作员可按照显示器的提示一步步地进行操作，最终得到精确的测量数据。

【技术实现步骤摘要】
薄透明介质性质非接触测量仪
本专利技术为薄透明介质性质非接触测量仪，内容涉及：光学(激光、迈克尔逊干涉仪)、数字成像、信号传感器、机械(步进电机和齿轮)、软件程序
技术介绍
在当今高端制造业和精密实验中，人们越来越多地需要精密的薄透明介质，在使用前我们需要精确地知道它的厚度和折射率等相关基本参数，由于要防止划伤表面，我们需要避免使用接触式测量，因此非接触测量成为了唯一的手段。而现在的非接触测量手段，诸如：激光测距、运动频移……对于厚度较高的透明介质具有良好的精度，而对于较薄的介质往往精度很低甚至测不出数据，而专门为薄介质设计的测量手段，如：衍射条纹、干涉移动……往往对超薄介质有较高的精度，相对较厚的介质测量精度往往不够，甚至会超出量程。特别的，在光学实验室中我们有精密打磨的光学元件，诸如：玻璃片、波片……而实现对相位的准确控制，则更需要多的有效位数保证实验的精确度。因此有必要专门对一般厚度的透明介质设计一款高精度的测量仪。迈克尔逊干涉仪从专利技术问世到现在已经有百余年的历史，激光、数字成像、传感器、机械和软件程序也早已发展成熟并向尖端技术发展，而利用这样的成熟领域的组合完全可以实现我们的目的。
技术实现思路
针对
技术介绍
中提到的现在非接触测量手段对于较厚或超薄介质测量有着良好的精度，而对于厚度介于厚与超薄之间的透明介质的测量精度有限的问题，本专利技术是为提供一台能够高精度测量薄透明介质的测量仪而设计，借用已经成熟的迈克尔逊干涉仪、激光、数字成像、传感器、机械和软件的领域，提出如下的设计方案。本专利技术是一种以迈克尔逊干涉仪为主体的薄透明介质性质非接触测量仪，包括激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、步进电机、小齿轮、大齿轮、数字成像板、光强探测器、第一垂直插槽、第二垂直插槽、减震隔离板、处理器和显示屏。其中，第一平面镜和第二平面镜完全相同；大齿轮和小齿轮组成一个齿轮组，比例关系为5∶1，小齿轮由步进电机驱动。第一垂直插槽和第二垂直插槽完全相同。附图2为主视图，但地板在图的上方。选用单色性好的激光器作为激光源(选择对数字成像板和光强探测器反应灵敏的波长)，激光出射口安放有中央带孔的高分辨率的数字成像板。成像板严格垂直于光路，激光器取向和成像板严格固定在仪器坚固且隔热的外壳上，以保持方向不变，隔热的目的是防止热胀冷缩造成取向发生微小改变。出射光路经过第一垂直插槽上方，第一插槽严格垂直光路，当薄透明片放在图示3处的第一垂直插槽时，成像板上会呈现等倾干涉条纹，数字成像板检测并记录各个暗环上最暗的位置传输到处理器上，处理器计算出各级暗环的半径，将条纹半径的平方值和条纹级次的对应关系进行线性数据拟合，得到图像斜率的值及其不确定度，将数据储存到位置a待用。第一垂直插槽应严格垂直光路，并固定在仪器上，前端到成像板的距离测量为定值并作为常数c储存在处理器中。第一插槽的槽壁内侧涂有海绵状的缓冲物以防止划伤待测透明片的表面，并且配合以合适力度的弹簧夹(前端固定后端移动)用以稳定夹住待测物，第一插槽的深度要较深，以便减少由于材料的弯曲带来的测量误差。数字成像板和夹持弹簧由处理器中的控制电路操控，并在显示器所在的操作板上安装开关(记作开关一)和确认键，按下确认键时弹簧夹持待测物，并设计电路判断夹持是否稳定，将信息返回“true/force”到处理器以开启下一步程序。当返回值为“true”则提示按下开关一，启动数字成像板；当返回值为“force”则提示重新安装待测物。启动数字成像板后，会将成像信息发送到处理器进行运算，信息发送完毕后数字成像板自动回到待机状态，并提示进行下一步操作。在测量完成前，电路会防止误触开关一启动数字成像板，并要求一定是按下确认键后才可启动开关一。出射光路经过第一垂直插槽上方后，经过半反半透镜，光被分成两路，一路透射光、一路反射光：其中一路经过连接在大齿轮上的第二垂直插槽上方，遇第一平面镜反射后原路返回，经过第二垂直插槽上方，透过半反半透镜成像在光强探测器中央；另一路遇第二平面镜后反射原路返回，由半反半透镜反射成像在光强探测器中央。其中，第二垂直插槽应严格垂直光路，并与大齿轮固定连接，第二插槽的槽壁内侧涂有海绵状的缓冲物以防止划伤待测透明片的表面，并且配合以合适力度的弹簧夹(前端固定后端移动)用以稳定夹住待测物，第二插槽的深度要较深，以便减少由于材料的弯曲带来的测量误差。半反半透镜和两块平面镜严格固定在仪器上，取向要保证在灵敏光强探测器的中央出现稳定的等倾干涉条纹，并且调整两臂光程差几乎为零。两平面镜的镜面大小和光强反射率要基本相同。处理器连接步进电机、光强探测器、数字成像板和显示屏进行信息传输。光强探测器中央安放灵敏的光敏电阻，记录光强随时间的变化，记录光强的变化和步进电机旋转同时开始，由于空间狭窄光速很快，因此时间差可以忽略。步进电机旋转的角度(脉冲数)随时间的关系记录下来，传到处理器可以得到光强随时间变化和旋转角度的关系，将各个光强极小值所对应的角度的平方值与对应的第几个极小值的自然数进行线性数据拟合，得到图像斜率的值及其不确定度，将数据储存到位置b待用。理论计算得到的结果为透明片的厚度为折射率为其中t2为数据b的值，t1为数据a的值，H为数据c的值，λ为所用激光器的波长。齿轮的轴心严格固定在减震隔离板上，大小齿轮5∶1应咬合完美，按此大小比例可以将步进电机的角度“放慢”以便精确测量出玻璃片转过的角度。6处的垂直插槽严格固定在大齿轮上，并且转轴严格垂直光路与齿轮。小齿轮受步进电机驱动，小齿轮带动大齿轮转动，转动匀速、缓慢、稳定、无振动，且步进电机的步进角小于0.01°，保持转动稳定。步进电机和光强探测器由处理器的控制电路操控，并在显示器所在的操作板上安装开关(记作开关二)，按下确认键时弹簧夹持待测物，并设计电路判断夹持是否稳定，将信息返回“true/force”到处理器以开启下一步程序。当返回值为“true”则提示按下开关二，启动数字成像板；当返回值为“force”则提示重新安装待测物。按下开关二，步进电机和光强探测器后，会将储存信息发送到处理器进行运算，信息发送完毕后步进电机和光强探测器自动回到初始待机状态，并提示进行下一步操作。在测量完成前，电路会防止误触开关二，并要求一定是按下确认键后才可启动开关二。运算完毕后输入测量值，并提示按下确认键和信息储存。减震隔离板将步进电机与激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、数字成像板、光强探测器隔开。减震隔离板将仪器分成上下两层，上层为光学部，光学元件全在此部分，位置取向要求精密，并且要做到严格防震，元件避免与隔离板发生接触，防止步进电机的震动对光学元件造成干扰；下层为驱动部，步进电机、齿轮组、处理器、控制电路等在此放置。外层套上同减震隔离板同等材质的导热性弱、强度高的外壳，并在两个垂直插槽上方开放两个插口：第一插槽对应2.5mm宽的的矩形插口，第二插槽对应直径4cm的圆形插口。根据制作材料判断最大仪器误差，并明确贴在仪器明显位置。该仪器为一般厚度的薄透明片提供了精确的测量，量程为0.2mm到20mm，精确度达到0.001mm、误差不超过0.0005mm，充分满足了科研精密测量的需求。【附图说明】图1是薄透明介质性质非接触测量仪的俯视图，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种以迈克尔逊干涉仪为主体的薄透明介质性质非接触测量仪，包括激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、步进电机、小齿轮、大齿轮、数字成像板、光强探测器、第一垂直插槽、第二垂直插槽、减震隔离板、处理器和显示屏，其特征是步进电机驱动小齿轮，小齿轮带动大齿轮，激光出射口安放有中央带孔的数字成像板，光路经过第一垂直插槽上方，经过半反半透镜，之后分束，一路透射光、一路反射光：其中一路经过连接在大齿轮上的第二垂直插槽上方，遇第一平面镜反射后原路返回，经过第二垂直插槽上方，透过半反半透镜成像在光强探测器中央；另一路遇第二平面镜后反射原路返回，由半反半透镜反射成像在光强探测器中央，处理器连接步进电机、光强探测器、数字成像板和显示屏进行信息传输，减震隔离板将步进电机与激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、小齿轮、大齿轮、数字成像板、光强探测器隔开。

【技术特征摘要】
1.一种以迈克尔逊干涉仪为主体的薄透明介质性质非接触测量仪，包括激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、步进电机、小齿轮、大齿轮、数字成像板、光强探测器、第一垂直插槽、第二垂直插槽、减震隔离板、处理器和显示屏，其特征是步进电机驱动小齿轮，小齿轮带动大齿轮，激光出射口安放有中央带孔的数字成像板，光路经过第一垂直插槽上方，经过半反半透镜，之后分束，一路透射光、一路反射光：其中一路经过连接在大齿轮上的第二垂直插槽上方，遇第一平面镜反射后原路返回，经过第二垂直插槽上方，透过半反半透镜成像在光强探测器中央；另一路遇第二平面镜后反射原路返回，由半反半透镜反射成像在光强探测器中央，处理器连接步进电机、光强探测器、数字成像板和显示屏进行信息...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾桂昊，
申请(专利权)人：贾桂昊，
类型：新型
国别省市：北京,11