一种ALD机台载板自动清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种ALD机台载板自动清洁装置，安装于ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域，ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域具有机台框架，载板位于机台框架下，包括螺纹连接在机台框架载板进入一侧的条刷，机台框架位于载板进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，条刷上对应固定螺孔处分别开有一个待机孔和至少三个在垂直于载板方向上高度不同的微调螺孔；在垂直于载板方向上，待机孔高度低于所有微调螺孔；条刷通过螺栓插入待机孔或微调螺孔后并与固定螺孔锁紧而固定与机台框架上。本实用新型专利技术通过待机孔、微调螺孔与固定螺孔的配合，可在无需人力的情况下，高效清理载板上的碎片及掉渣，有效减少机台停机时间，增加产能并节约人力成本。

An automatic cleaning device for board board of ALD machine

The utility model provides an automatic cleaning device for the ALD platform board, which is installed on the waiting area or upper and lower area of the ALD platform carrying board, and the ALD platform is equipped with a machine platform frame in the waiting area or in the upper and lower segments. The board is located under the frame of the machine platform, including the bar brush connected to the side of the frame plate of the machine platform. The platform frame is located at the two ends of the inlet cavity of the board, and there is a fixed screw hole on both ends of the inlet of the board. At the fixed screw hole, the bar brush is opened with a stand-by hole and at least three micro pitch screws with different height in the direction perpendicular to the board. The height of the standby hole is lower than the micro adjustable screw hole in the direction of the plate; the brush is inserted through the bolt. After waiting holes or fine tuning holes, it is locked with the fixed screw holes and fixed on the machine frame. The utility model can effectively clean up the debris and dregs on the board without manpower, effectively reduce the stop time of the machine, increase the capacity and save the human cost through the cooperation of the standby hole, the micro adjusting screw hole and the fixed screw hole.

【技术实现步骤摘要】
一种ALD机台载板自动清洁装置
本技术涉及光伏
，尤其涉及一种ALD机台载板自动清洁装置。
技术介绍
ALD机即原子层沉积机，是生产用于光伏组件的工业型钝化发射极背面接触(PERC)单晶硅太阳能电池的主要设备之一。在生产过程中，载板上会残留碎片和掉渣，通常需要人工用吸尘器对载板进行清理。当使用吸尘器清理时，吸尘器容易产生扬尘，会对车间的无尘环境产生影响，同时也可能污染电池片。而且载板较大，采用人工清理较为不便，需要来回跑动更换不同位置清理，人工清理效率偏低，造成停机时间较长，影响产能。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本技术提供一种结构简单、成本较低、操作简单、可调节性强，无需人力即可高效清洁载板上的碎片及掉渣的ALD机台载板自动清洁装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种ALD机台载板自动清洁装置，安装于ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域，所述的ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域具有机台框架，所述载板位于机台框架下，包括螺纹连接在机台框架载板进入一侧的条刷，所述的机台框架位于载板进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，所述条刷上对应固定螺孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ALD机台载板自动清洁装置，安装于ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域，所述的ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域具有机台框架(1)，所述载板(2)位于机台框架(1)下，其特征在于：包括螺纹连接在机台框架载板进入一侧的条刷(3)，所述的机台框架(1)位于载板(2)进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，所述条刷(3)上对应固定螺孔处分别开有一个待机孔(4)和至少三个在垂直于载板(2)方向上高度不同的微调螺孔(5)；在垂直于载板(2)方向上，所述待机孔(4)高度低于所有微调螺孔(5)；所述的条刷(3)通过螺栓插入待机孔(4)或微调螺孔(5)后并与固定螺孔锁紧而固定与机台框架(1)上。

【技术特征摘要】
1.一种ALD机台载板自动清洁装置，安装于ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域，所述的ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域具有机台框架(1)，所述载板(2)位于机台框架(1)下，其特征在于：包括螺纹连接在机台框架载板进入一侧的条刷(3)，所述的机台框架(1)位于载板(2)进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，所述条刷(3)上对应固定螺孔处分别开有一个待机孔(4)和至少三个在垂直于载板(2)方向上高度不同的微调螺孔(5)；在垂直于载板(2)方向上，所述待机孔(4)高度低于所有微调螺孔(5)；所述的条刷(3)通过螺栓插入待机孔(4)或微调螺孔(5)后并与固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：高鑫，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32