一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，属于紫外纳米压印领域。收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置。优点是精确调控各模板以及紫外灯可固化的距离，能够制造出超大面积的纳米压印无缝图案，加入了多个压印辊同时进行压印超大型图案，提高了纳米压印的生产效率。

A device for manufacturing super large area nano imprint seamless pattern

The utility model relates to a device for manufacturing super large area nano imprint seamless pattern, which belongs to the field of ultraviolet nano imprint. The roll roll is used to roll up the substrate, and the roll roll is used to release the substrate. The roller embossing device is located between the reel roll and the reel roll. The roll reel roll and the reel roll are rotated synchronously. The coating device contains photoresist to apply a uniform photoresist on the substrate, and the roller embossing device is used to press the imprint template. The small pattern on the top is stamped on the coated substrate, the support roll one, the support roll two, the support roll three, the support roll four, all the cylinders with light transmittable, the support roll two, the support roll three, and the UV curing devices in all the four support rolls. The advantage is to accurately regulate the curing distance of each template and UV lamp, and can produce a super large area of nano imprint seamless pattern, adding a number of imprint rollers to impress the super large pattern, and improve the production efficiency of nanoscale imprint.

【技术实现步骤摘要】
一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置
本技术涉及紫外纳米压印领域，尤其是超大面积辊对辊紫外纳米压印装置及。
技术介绍
纳米压印技术最早是由普林斯顿大学华裔科学家StephenChou教授在1995年提出，目前世界上存在的纳米压印方式有三种：紫外纳米压印技术、热压印技术、微接触技术，也可以根据固化工艺的不同分为：紫外固化和热固化。它可以用于制造太阳能电池板、抗反射膜涂层、自清洁玻璃、高密度亚波长光栅、高密度光盘位存储器以及航空航天、生物、光学的众多领域。但是现有的纳米压印技术存在一定的局限性，主要原因是模板大小的制作限制以及拼接问题,由于衬底上的超大型图案的制备需要超大面积的压印辊来完成，但是超大面积的压印辊施力很大，容易压碎衬底、无法压印出完整的微结构、造成微结构大面积缺陷等，而如果采用小型图案拼接的方法来制作大型米级尺度的图案，在拼接处会形成接缝，导致图案的不连续。模板大小的制作限制是由于大型模板本身制作的成本很昂贵，如果压印时对模板产生一定的损伤的话，整个模板需要较高的成本来更换，因此如何高效、低成本的制作超大面积的图案是目前存在的普遍问题。公开号为CN105159029A的专本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，其特征在于：收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置，上述所有支撑辊均由石英制成，张力辊用于调节衬底之间的张力，使衬底处于紧绷状态。

【技术特征摘要】
1.一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，其特征在于：收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置，上述所有支撑辊均由石英制成，张力辊用于调节衬底之间的张力，使衬底处于紧绷状态。2.根据权利要求1所述的一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，其特征在于：所述的滚筒压印装置的结构是：音圈电机一的轴与直线轴承一连接，音圈电机二的轴与直线轴承二连接，压印辊一通过直线轴承一与直线轴承四安装在卡盘一和卡盘二上，压印辊二通过直线轴承二与直线轴承五安装在卡盘一和卡盘二上，压印辊三通过直线轴承三和直线轴承六安装在卡盘一和卡盘二上，压印模板一包裹在压印辊一靠近音圈电机一的1/3处，压印模板二包裹在压印辊二的中部1/3处、压印模板三包裹在压印辊三的远离音圈电机二1/3处，每个压印模板的长度都统一相等，均为压印辊长度的1/3，直线轴承一、直线轴承二、直线轴承三均安装在卡盘一的凹槽中，直线轴承四、直线轴承五、直线轴承六均安...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷岩，周岩，林洁琼，李景鹏，张群，孙慧岩，郑恭承，易正发，冯开拓，曹东旭，刘阳，孙彦东，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22