一种薄膜应力测试用衬底夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，属于夹具技术领域包括基座和夹片；基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔；夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，且基座的一端还设置有悬挂孔。本方案中，装夹部可以是平槽，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在平槽上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。

A substrate fixture for stress testing of thin film

The utility model provides a thin film stress testing substrate fixture, which belongs to the fixture technical field, including a base and a clip; a plurality of clamping parts are arranged on the base seat, and a clamping hole is arranged on both ends of each clamping part; a connection hole is arranged on the clip, and the connecting piece is in turn through a connection hole and a clamping hole to make the film pending. The sample is fixed on the clamping part, and one end of the base is also provided with a suspension hole. In this scheme, the clamping section can be a flat groove, and the connecting piece passes through the connection hole and the clamping hole in order to make the sample of the coating fixed on the flat groove, ensuring that the coating surface is not affected by the fixture as little as possible, and ensures the back of the sample to be completely blocked, and the sample (strip) used in the existing technology can only have one side. Film coating, the other side must be completely shielded, to bring unnecessary trouble to the operation, at the same time the coating surface is greatly affected by the fixture, so that the coating effect of the technical problems.

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜应力测试用衬底夹具
本技术涉及夹具
，尤其是涉及一种薄膜应力测试用衬底夹具。
技术介绍
目前，薄膜材料广泛应用于微电子、半导体、光伏能源、航空航天、汽车、机械加工等诸多领域，其重要性日益凸显；国务院《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》明确提出，要对“信息技术、高端装备制造、新能源、新材料、新能源汽车”等重点领域进行优先部署和重点突破(国发〔2012〕28号)；而大多数重点发展领域都与薄膜材料技术息息相关，因此，大力开展薄膜材料的相关研究，对促进国家重点产业的发展具有十分重要的意义。薄膜材料的界面结合强度和抗热疲劳性能与薄膜应力密切相关；超硬耐磨涂层材料往往具有很强的共价键特性，采用化学气相沉积或物理气相沉积工艺制备的薄膜一般存在几个GPa，甚至高达十几GPa的残余应力，严重时会导致薄膜剥落，影响其使用性能；因此在薄膜开发制备时要对其应力进行测试，反馈予薄膜开发制备过程以得到所需应力的薄膜材料。目前主要的应力测试仪普遍采用光杠杆原理测试，测试原理是通过收集激光在薄膜表面运动，以及薄膜反射出的激光在接收器上位置的变化，来测量薄膜沉积前后基片曲率的变化，然后应用Stoney公式来计算薄膜应力。使用光杠杆法测试薄膜应力的方法，镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提供一种薄膜应力测试用衬底夹具，以解决现有技术中存在的镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。为了实现上述目的，本技术提供了以下技术方案；本技术第提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，包括基座和夹片；所述基座上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔；所述夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过所述连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在所述装夹部上，且所述基座的一端还设置有悬挂孔。本技术提供的薄膜应力测试用衬底夹具，基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔，夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。在上述技术方案中，进一步的，所述装夹部为平槽，且所述平槽的形状与待镀膜样品的形状相匹配。在上述任一技术方案中，进一步的，所述平槽的深度小于待镀膜样品的厚度。在上述任一技术方案中，进一步的，所述夹片的长度小于等于所述基座的宽度。在上述任一技术方案中，进一步的，通过所述夹片的宽度和所述装夹孔与装夹部的距离来控制待镀膜样品被所述夹片遮挡的竖直方向的距离范围。在上述任一技术方案中，进一步的，所述距离范围的数值为0.1-0.5mm。在上述任一技术方案中，进一步的，所述基座呈长方体型。在上述任一技术方案中，进一步的，多个所述平槽呈横纵排相间隔设置。在上述任一技术方案中，进一步的，所述连接件为螺钉。在上述任一技术方案中，进一步的，所述装夹部为凸台，且所述凸台的形状与待镀膜样品的形状相匹配。采用上述技术方案，本技术具有如下有益效果：本技术提供的薄膜应力测试用衬底夹具，基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔，夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。本技术的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的薄膜应力测试用衬底夹具的结构示意图；图2为图1所示的基座结构示意图；图3为图1所示的夹片的结构示意图；图4为本技术实施例提供的待镀膜样品的结构示意图。附图标记：10-基座；11-平槽；12-装夹孔；13-悬挂孔；20-夹片；21-连接孔；30-待镀膜样品。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面结合具体的实施方式对本技术做进一步的解释说明。图1为本技术实施例提供的薄膜应力测试用衬底夹具的结构示意图；图2为图1所示的基座结构示意图；图3为图1所示的夹片的结构示意图；图4为本技术实施例提供的待镀膜样品的结构示意图。实施例一如图1-4所示，本实施例提供的薄膜应力测试用衬底夹具，包括基座10和夹片20；所述基座10上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔12；所述夹片20上设置有连接孔21，连接件依次穿过所述连接孔21和装夹孔12，以使待镀膜样品30固定在所述装夹部上，且所述基座10的一端还设置有悬挂孔13。本技术的实施例提供的薄膜应力测试用衬底夹具，基座10上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔12，夹片20上设置有连接孔21，连接件依次穿过连接孔21和装夹孔12，以使待镀膜样品30固定在装夹部上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，包括基座和夹片；所述基座上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔；所述夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过所述连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在所述装夹部上，且所述基座的一端还设置有悬挂孔。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，包括基座和夹片；所述基座上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔；所述夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过所述连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在所述装夹部上，且所述基座的一端还设置有悬挂孔。2.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，所述装夹部为平槽，且所述平槽的形状与待镀膜样品的形状相匹配。3.根据权利要求2所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，所述平槽的深度小于待镀膜样品的厚度。4.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，所述夹片的长度小于等于所述基座的宽度。5.根据权利要求1所述的薄膜应...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，石磊，蒋春磊，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44