压力辊和使用其的压印方法技术

提供了一种压力辊和一种使用其的压印方法。用于压印方法的所述压力辊包括：辊体，具有沿第一方向延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在辊体的曲面上，能量产生部包括被配置为单独控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在能量产生部上，补偿层包括当施加能量时体积膨胀的材料。

Pressure roll and the imprinting method used in it

A pressure roller and a method of imprinting using it are provided. The pressure roll used for the imprint method includes the roll body, a cylindrical shape that extends along the first direction; the energy generating unit is set on the surface of the roll body, and the energy generating unit includes a plurality of energy generating units configured to be separately controlled to emit energy; the compensation layer is set on the energy generating unit and the compensation layer includes the energy generating unit. A material that expands when the energy is applied.

【技术实现步骤摘要】
压力辊和使用其的压印方法
示例性实施例涉及一种用于压印方法的压力辊和一种使用该压力辊的压印方法。更具体地，示例性实施例涉及用于使用印模形成树脂图案的压印方法的一种压力辊和一种使用该压力辊的压印方法。
技术介绍
最近，已经研究了用于形成精细图案的纳米压印光刻的使用。例如，液晶显示设备可以包括线栅偏振器。在基板的金属层上形成树脂层，然后在树脂层上通过将印模压印到树脂层上来形成压印图案，然后通过将已压印的树脂层用作掩模使金属层图案化来将金属层图案化成线栅偏振器。然而，根据传统的压印方法，当基板的在其上形成树脂层并执行压印方法的上表面不平坦时，会以不平坦的方式(包括一部分被形成为比另一部分厚)形成在台阶部处的剩余层，或者压印图案会不准确地形成，压印方法的质量会劣化。在该
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于促进对专利技术构思的背景的理解，因此，它可包含不形成对本领域普通技术人员来讲在该国已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
示例性实施例提供了一种用于压印方法的压力辊，所述压力辊能够在其上形成压印图案的表面具有台阶部时改善压印质量。示例性实施例还提供了一种使用该压力辊的压印方法。另外的方面将在随后的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于压印方法的压力辊，所述压力辊包括：辊体，具有在第一方向上延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在所述辊体的曲面上，所述能量产生部包括被配置为被单独地控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在所述能量产生部上，所述补偿层包括当施加所述能量时体积膨胀的材料。

【技术特征摘要】
2016.10.14 KR 10-2016-01336751.一种用于压印方法的压力辊，所述压力辊包括：辊体，具有在第一方向上延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在所述辊体的曲面上，所述能量产生部包括被配置为被单独地控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在所述能量产生部上，所述补偿层包括当施加所述能量时体积膨胀的材料。2.如权利要求1所述的压力辊，其中，所述补偿层包括第一聚合物粘合剂和第二聚合物粘合剂，其中，所述第一聚合物粘合剂的第一玻璃转变温度比所述第二聚合物粘合剂的第二玻璃转变温度高至少20摄氏度。3.如权利要求2所述的压力辊，其中，所述第一聚合物粘合剂包括从由聚苯乙烯及其共聚物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种，其中，所述第二聚合物粘合剂包括从由丙烯酸丁酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种。4.如权利要求1所述的压力辊，其中，所述多个能量产生单元被配置为产生热或微波。5.如权利要求4所述的压力辊，其中，所述多个能量产生单元沿所述第一方向布置，其中，所述多个能量产生单元中的每个在与所述第一方向垂直的第二方向上沿着所述曲面延伸。6.如权利要求4所述的压力辊，其中，所述多个能量产生单元中的每个以矩阵的形式在所述第一方向上和与所述第一方向垂直的方向上布置在曲面上。7.如权利要求1所述的压力辊，所述压力辊还包括设置在所述补偿层上的保护层以保护所述补偿层。8.一种压印方法，所述压印方法包括：提供基板，所述基板包括设置在其上的图案，所述基板在上表面中具有由所述图案形成的台阶部；在所述基板上设置树脂层；提供压力辊、膜和设置在所述膜上的印模，所述压力辊包括具有沿第一方向延伸的圆柱形形状的辊体、设置在所述辊体的曲面上的能量产生部和设置在所述能量产生部上的补偿层，其中，所述能量产生部包括被配置为单独控制以发出能量的多个能量产生单元，所述补偿层包括当施加所述能量时体积膨胀的材料；通过操作所述多个能量产生单元来控制所述补偿层的一部分的厚度；通过使用所述压力辊将所述印模压到所述树脂层上来形成压印图案；将所述印模与所述树脂层分离。9.如权利要求8所述的压印方法，其中，所述补偿层包括第一聚合物粘合剂和第二聚合物粘合剂，其中，所述第一聚合物粘合剂的第一玻璃转变温度比所述第二聚合物粘合剂的第二玻璃转变温度高至少20摄氏度。10.如权利要求9所述的压印方法，其中，所述第一聚合物粘合剂包括从由聚苯乙烯及其共聚物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种，其中，所述第二聚合...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔成永，金旻首，金武谦，金圣哲，赵国来，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR