氦气泄漏探测器制造技术

本发明专利技术能够进行使用了理论上的背景的测定值的修正。氦气泄漏探测器经由夹具而连接于试验体。所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从界面部输入的关于分压的信息、从界面部输入的关于时间的信息及预先输入的夹具的基准透过饱和量，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氦气泄漏探测器
本专利技术涉及一种氦气泄漏探测器。
技术介绍
若利用氦气泄漏探测器实施检查，则已知有因检查中使用的氦气而背景(background)上升的问题。在不对背景的上升采用任何对策的情况下，会将上升的背景误检出为泄漏，从而导致无法进行检查。因此，采用将测定值的零点修正为上升的背景值的对策。专利文献1中揭示了一种具备对气体泄漏显示的零点进行修正的操作开关的气体泄漏探测器。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利特开2013-83573号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]专利文献1中记载的专利技术中，无法进行使用了理论上的背景的测定值的修正。[解决问题的技术手段](1)本专利技术的优选的实施形态的氦气泄漏探测器经由夹具而连接于试验体。所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从界面部输入的关于分压的信息、从界面部输入的关于时间的信息及预先输入的夹具的基准透过饱和量，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。(2)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于分压的信息为大气压下的氦气浓度。(3)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于时间的信息为基于夹具暴露于氦气中的时间而决定的相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例。(4)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于时间的信息为夹具暴露于氦气中的时间，氦气泄漏探测器还包括存储饱和率信息的存储部，所述饱和率信息表示夹具暴露于氦气中的时间与相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例的对应，修正部基于输入至界面部的关于时间的信息、与存储部中存储的饱和率信息，算出相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例。(5)进而优选的实施形态中，氦气泄漏探测器的界面部还包括被输入夹具的基准透过饱和量的输入栏。[专利技术的效果]根据本专利技术，能够进行使用了理论上的背景的测定值的修正。附图说明图1是表示氦气泄漏探测器10的构成的方块图。图2是说明气体处理部19的构成及动作的图。图3(a)是表示氦气泄漏探测器10的外观的概略图，图3(b)是表示设定画面的图。图4是表示进行泄漏测试的状况的图。图5是表示暴露时间与氦气透过量的关系的一例的图。图6是表示用以获得暴露时间与氦气透过量的关系、及氦气透过量的基准值的预备试验的顺序的流程图。图7是表示变形例1的设定画面的图。图8是表示不应用本专利技术的情况下的、氦气浓度相对于真空排气的时间的经过的变化的图。图9是表示第2实施形态的氦气泄漏探测器10a的构成的方块图。图10是表示第2实施形态的设定画面的图。图11是表示各剖面形状下的饱和率特性C的图。图12是表示第2实施形态的变形例的设定画面的图。具体实施方式本专利技术在理论上算出背景，并从测定值中减去所述背景，由此无须进行所谓的零位复位(zeroreset)便可进行高精度的测定。以下，基于实施形态来进行详细说明。(第1实施形态)以下，参照图1～图6，对本专利技术的氦气泄漏探测器的第1实施形态进行说明。图1是表示氦气泄漏探测器10的构成的方块图。氦气泄漏探测器10包括：控制部11，进行与操作员之间的信息输入输出的界面部13，存储部14，包含泵或阀、分析管21的气体处理部19。控制部11具备中央处理器(CentralProcessingUnit，CPU)、只读存储器(ReadOnlyMemory，ROM)及随机访问存储器(RandomAccessMemory，RAM)，将ROM中保存的程序在RAM中展开而执行，由此进行后述的处理。ROM中也预先记录了后述的基准透过饱和量Qs。所述ROM为能够通过特别操作而电性地删除及写入记录内容的电子可擦可编程只读存储器(ElectricallyErasableProgrammableRead-OnlyMemory，EEPROM)。控制部11利用信号线而与界面部13、存储部14连接，发送信息的输入输出或动作指令。气体处理部19的几个构成要素均连接着，详细情况将在以后进行说明。控制部11通过后述的处理而在理论上算出测定时的背景，对气体处理部19的分析管21检出的泄漏量进行修正并输出至界面部13。界面部13具备输入按钮13a及显示画面13b。输入按钮13a包含多个按钮，通过操作员的按钮操作输入将各种指令输入至控制部11。显示画面13b例如为液晶面板，显示从控制部11输出的信息。存储部14例如为闪速存储器。经由界面部13，将操作员输入的后述的暴露时间饱和率RT及压力比率RP保存在存储部14中。(气体处理部)参照图2对气体处理部19的构成及动作进行说明。图2是表示气体处理部19的、即从氦气泄漏探测器10的气体的入口至分析管21为止的管路的图。气体处理部19包括分析管21、涡轮分子泵22、牵引泵(dragpump)23、油旋转泵24、及检出管路内的真空度的真空计PM1、真空计PM2。基于真空计PM1或真空计PM2的检出值控制各泵的起动、停止或后述的阀的开闭。气体处理部19包括将作为排气路径及氦气导入路径的氦气流通通路开闭的附有致动器的通路切替部即阀FV、阀BV、阀TV、阀LV、及端口(port)EXP。控制部11利用信号线而与分析管21、涡轮分子泵22、牵引泵23、油旋转泵24、真空计PM1、真空计PM2、及所有的阀连接，此处省略信号线。分析管21经由涡轮分子泵22、牵引泵23、阀FV而与油旋转泵24进行配管连接。连接端口EXP上经由后述的夹具80连接着试验体90。阀LV为排气阀(ventvalve)，若释放阀LV则管路内为大气压，能够更换与端口EXP连接的试验体。阀TV配管连接于涡轮分子泵22的排气口。阀FV设置于牵引泵23与油旋转泵24之间。阀BV设置于连接端口EXP与油旋转泵24之间。分析管21对氦气的检出例如按照以下的顺序来进行。当由操作员按下后述的测定开始按钮时，控制部11进行以下的控制。首先，打开阀FV并将其以外的阀全部关闭，使涡轮分子泵22、牵引泵23、及油旋转泵24运转，将分析管21真空排气。为了进行氦气泄漏探测器10的端口EXP管路内的粗抽，在关闭阀FV后打开阀BV，利用油旋转泵24进行真空排气。为了设为在真空计PM1检出的真空度成为规定的真空度以下时，进行粗检测试(grosstest)的构成，而打开阀FV。为了设为在真空计PM1检出的真空度成为另一规定的真空度以下时，进行精检测试(finetest)的构成，而打开阀TV并关闭阀BV，开始利用分析管21进行氦气的检出。(界面)参照图3对界面部13的构成进行说明。图3(a)是表示氦气泄漏探测器10的外观的概略图，图3(b)是表示设定画面的图。如图3(a)所示，在氦气泄漏探测器10的正面设置着输入按钮13a及显示画面13b。输入按钮13a例如包含条件设定按钮、0～9的数字按钮、确定按钮、计测开始按钮、停止按钮等。显示画面13b中，输出有控制部11根据氦气泄漏探测器10的状况而输出的信息。例如，图3(a)表示由操作员按下计测开始按钮而开始计测的状态(计测状态)下的显示例。计测状态下，气体处理部19的分析管21检出氦气浓度，并将其检出结果输出至控制部11。控制部11根据接收到的检本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氦气泄漏探测器，经由夹具而连接于试验体，所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于所述夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于所述夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从所述界面部输入的关于所述分压的信息、从所述界面部输入的关于所述时间的信息、及预先输入的所述夹具的基准透过饱和量，对所述氦气检出部检出的检出结果进行修正。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种氦气泄漏探测器，经由夹具而连接于试验体，所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于所述夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于所述夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从所述界面部输入的关于所述分压的信息、从所述界面部输入的关于所述时间的信息、及预先输入的所述夹具的基准透过饱和量，对所述氦气检出部检出的检出结果进行修正。2.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器，其中，输入至所述界面部的关于所述分压的信息为大气压下的氦气浓度。3.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器，其中，输入至所述界面部的关于所述时间的信息为基于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：井川秋夫，
申请(专利权)人：岛津EMIT株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP