一种MEMS麦克风测试系统技术方案

本发明专利技术涉及一种MEMS麦克风测试系统。是将芯片直接连接在电路板上，通过锡焊将PAD连接到电路中，可重复性差。本发明专利技术包括控制模块、电路模块、芯片模块。控制模块与电路模块连接，控制模块控制电路模块中电荷泵的放大级数，得到不同的输出电压；电路模块与芯片模块互连，为芯片提供稳定的偏置电压；芯片模块的输出信号再返回到电路模块。电路模块包括时钟产生电路、电荷泵电路、输入增益放大电路、输出增益放大电路、三个电容和两个电阻。芯片模块是在电路印刷版的中部开设芯片安装孔，正面设置有多个小尺寸的圆形焊盘，背面设置有多个大尺寸的矩形焊盘，通过电路印刷版盲孔技术连接。本发明专利技术具有可重复性强、成本低、方便检测的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风测试系统
本专利技术属于传感器
，具体涉及一种MEMS(微机电系统，Micro-Electro-MechanicalSystem)麦克风测试系统。
技术介绍
随着微电子技术的发展，MEMS传感器已经成为一个重大的研究领域，主要有，MEMS麦克风传感器、加速度传感器、压力传感器、微流量传感器、微流体传感器、气体传感器等等。作为一个封装好的传感器来说，它包括，传感器芯片以及ASIC电路。其中，随着消费类电子的不断发展，用于语音交互的产品不断增多，MEMS麦克风传感器的市场需求量不断增大，其性能要求也不断提高。MEMS麦克风的结构和MEMS麦克风接口电路的性能对整个麦克风的性能有着重大的影响。这对批量生产的芯片来说，这就需要一个方便、良好的测试系统。目前主要的测试方式有：第一种：使用NI公司生产的PXI板卡组成虚拟仪器，搭配LabVIEW可编程软件平台。通过模组化、自动化实现对芯片的测试。第二种：通过搭建特定的电路，将MEMS芯片安装在电路板上进行测试。第一种方法，虽然测试系统完备，测试全面，但是价格昂贵，维护成本高，操作较复杂。不适合实验室中研发使用。第二种方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS麦克风测试系统，包括控制模块(1)、电路模块(2)、芯片模块(3)，其特征在于：所述的控制模块(1)与电路模块(2)连接，控制模块(1)控制电路模块(2)中电荷泵的放大级数，得到不同的输出电压；电路模块(2)与芯片模块(3)互连，电路模块(2)中的电荷泵电路为芯片提供稳定的偏置电压；芯片模块(3)的输出信号再返回到电路模块(2)；所述的电路模块(2)包括时钟产生电路(2‑1)、电荷泵电路(2‑2)、输入增益放大电路(2‑3)、输出增益放大电路(2‑4)、三个电容和两个电阻；时钟产生电路(2‑1)的输出端与电荷泵电路(2‑2)的时钟输入端连接，电荷泵电路(2‑2)的电压输出端与第一电...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风测试系统，包括控制模块(1)、电路模块(2)、芯片模块(3)，其特征在于：所述的控制模块(1)与电路模块(2)连接，控制模块(1)控制电路模块(2)中电荷泵的放大级数，得到不同的输出电压；电路模块(2)与芯片模块(3)互连，电路模块(2)中的电荷泵电路为芯片提供稳定的偏置电压；芯片模块(3)的输出信号再返回到电路模块(2)；所述的电路模块(2)包括时钟产生电路(2-1)、电荷泵电路(2-2)、输入增益放大电路(2-3)、输出增益放大电路(2-4)、三个电容和两个电阻；时钟产生电路(2-1)的输出端与电荷泵电路(2-2)的时钟输入端连接，电荷泵电路(2-2)的电压输出端与第一电阻R1的一端连接，第一电阻R1的另一端通过第一电容C1接地，并与第二电容C2的一端相接，同时接芯片模块3的电压信号输入端；第一电阻R1与第一电容C1组成低通滤波器，用来滤去右端电路的高频噪音；输入增益放大电路(2-3)的信号输入端通过第二电阻R2接地，并通过第三电容C3接地，同时接芯片模块(3)的电压信号输出端；第二电容C2的另一端接输入增益放大电路(2-3)的信号输出端和输出增益放大电路(2-4)的信号输入端，输出增益放大电路(2-4)的信号输出端作为电压输出Vout；所述的芯片模块(3)包括电路印刷版(3-1)，电路印刷版(3-1)的中部开有与麦克风芯片(4)形状匹配的芯片安装孔(3-2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽翔，孙全胜，王高峰，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33