冷凝结构及减压干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种冷凝结构及包含该冷凝结构的减压干燥装置。所述冷凝结构包括冷凝板和冷凝管路，冷凝板上至少位于冷凝板中部的区域设有通气孔，冷凝板的一侧表面为冷凝面，冷凝面用于朝向对减压干燥装置内的样品台设置；冷凝管路设置在冷凝板上。将上述冷凝结构设在减压干燥装置内，不仅能够实现对样品的冷却，同时由于冷凝板上通气孔的设置，上述冷凝结构还能够使样品中的溶剂能够整体向上方挥发，并尽量避免出现基板边缘位置上的溶剂相比基板中心区域上的溶剂挥发快的情况，有效提高样品中溶剂挥发的均匀性，提高干燥成膜均匀性，进而提高产品的性能。

Condensing structure and depressurization and drying device

The utility model relates to a condensing structure and a decompression drying device comprising the condensing structure. The condensing structure includes the condensing plate and the condensing line. The condensing plate is at least in the middle of the condensing plate, and one side of the condensing plate is a condensing surface, and the condensing surface is used for setting the sample table in the vacuum drying device, and the condensing line is set on the condensing plate. The condensing structure is located in the vacuum drying device, not only can the sample be cooled, but the condensing structure can also volatilize the solvent in the sample as a whole, and avoid the dissolution of the solvent on the edge of the substrate as compared with the center of the substrate. When the agent volatilized rapidly, the uniformity of solvent evaporation can be effectively improved, the uniformity of drying film formation can be improved, and the performance of the product can be improved.

【技术实现步骤摘要】
冷凝结构及减压干燥装置
本技术涉及显示设备领域，特别是涉及一种冷凝结构及减压干燥装置。
技术介绍
在生产上，OLED可以采用喷墨打印工艺制作，其工艺流程步骤主要包括基板清洗、基板烘干、基板前处理、喷墨打印功能性材料墨水、减压干燥、烘烤、蒸镀及封装等。其中，减压干燥的原理是溶剂在低压的条件下，沸点降低，溶剂更容易挥发。OLED制作中采用此工艺的目的就是将功能性材料墨水等样品中的溶剂成分蒸发，保留功能性材料墨水中的固态成分，即保留功能性材料成分。在生产过程中，当功能性材料墨水的成分不同时，所需要的减压干燥的温度也不同，有些样品需要在低于室温的条件下进行。对于样品需要在室温情况下进行减压干燥的情况，可以在减压干燥装置内对应样品台位置附近设置如图1中所示的冷凝板10，以达到降低功能性材料墨水等样品的温度的作用。然而，由于冷凝板10为实心结构，在减压过程中，冷凝板具有使样品中的溶剂向冷凝板的外周方向流动的导流作用，进而使基板边缘位置上的样品中的溶剂相比基板中心区域上的样品中的溶剂蒸发快，从而使基板上成膜的膜质不均匀，继而影响产品的发光等性能。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够提高减压干燥过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冷凝结构，用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却，其特征在于，所述冷凝结构包括：冷凝板，所述冷凝板上至少位于所述冷凝板中部的区域设有通气孔，所述冷凝板的一侧表面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置；冷凝管路，所述冷凝管路设置在所述冷凝板上。

【技术特征摘要】
1.一种冷凝结构，用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却，其特征在于，所述冷凝结构包括：冷凝板，所述冷凝板上至少位于所述冷凝板中部的区域设有通气孔，所述冷凝板的一侧表面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置；冷凝管路，所述冷凝管路设置在所述冷凝板上。2.根据权利要求1所述的冷凝结构，其特征在于，所述通气孔有多个，多个所述通气孔阵列分布在所述冷凝板上。3.根据权利要求2所述的冷凝结构，其特征在于，所述冷凝板呈网格状镂空结构。4.根据权利要求2或3所述的冷凝结构，其特征在于，所述冷凝管路在所述冷凝板上呈弯折环状设置，且所述冷凝管路避让所述通气孔对应的区域。5.根据权利要求4所述的冷凝结构，其特征在于，所述冷凝管路设在所述冷凝板的另一侧表面上；或者所述冷凝板上设有卡位...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳开郎，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44