吹净装置、吹净储料器、以及吹净方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够与容器的种类对应而适当地进行吹净的吹净装置。吹净装置(4A)具备:种类检测部(41)，其对吹净对象的容器(F)的种类进行检测；吹净控制部(42)，其基于种类检测部的检测结果来决定对容器的吹净条件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】吹净装置、吹净储料器、以及吹净方法
本专利技术涉及吹净装置、吹净储料器、以及吹净方法。
技术介绍
吹净储料器对收容晶圆、标线片(reticule)等各种物品的容器进行保管。该容器为FOUP、SMIFPod、标线片Pod等。吹净储料器在保管时利用吹净装置向容器内填充清洁干燥空气或者氮气等吹净气体，抑制收容物的污染或者氧化等(例如，参照专利文献1)。关于上述容器，虽然以往存在标准化的规格，但是材质、密封构造、吹净气体的导入口的位置等并未被规定，因而根据容器的种类而不同。例如，与吹净装置的种类对应地使用专用的容器。近年来，容器与吹净装置的接口(例，吹净气体的供给口的位置)的一部分的规格化进一步被推进，能够利用一种吹净装置对多种容器进行吹净的事例正在增加。专利文献1：日本特开2010-182747号公报然而，吹净特性因容器的种类而不同，存在难以适当地进行吹净的情况。例如，在多种容器中最佳的气体流量不同的情况下，若将吹净气体的供给量与最佳流量较小的容器进行配合，则在最佳流量较大的容器中吹净气体不足，吹净的效果变得不充分。可是，若将吹净气体的供给量与最佳流量较大的容器进行配合，则在最佳流量较小的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吹净装置，其中，具备:种类检测部，其对吹净对象的容器的种类进行检测；以及吹净控制部，其基于所述种类检测部的检测结果来决定对所述容器的吹净条件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.25 JP 2015-1655211.一种吹净装置，其中，具备:种类检测部，其对吹净对象的容器的种类进行检测；以及吹净控制部，其基于所述种类检测部的检测结果来决定对所述容器的吹净条件。2.根据权利要求1所述的吹净装置，其中，所述吹净装置具备状态检测部，该状态检测部对所述容器的吹净状态进行检测，所述种类检测部基于所述状态检测部的检测结果来对所述容器的种类进行检测。3.根据权利要求2所述的吹净装置，其中，所述吹净装置具备流量控制装置，该流量控制装置对连接于所述容器的配管中的吹净气体的流量进行控制，所述状态检测部检测所述配管中的吹净气体的压力作为所述吹净状态，所述种类检测部基于以所述状态检测部检测出的压力为基础而得到的所述容器的吹净特性来检测所述容器的种类。4.根据权利要求3所述的吹净装置，其中，所述种类检测部基于将所述压力和所述容器的种类相关联而得到的特性信息、以及所述状态检测部的检测结果来判别所述容器的种类。5.根据权利要求1～4中任一项所述的吹净装置，其中，所述种类检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田正直，山路孝，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP