带电粒子束装置以及样品平台的对准调整方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带电粒子束装置以及样品平台的对准调整方法
本专利技术涉及扫描型电子显微镜等带电粒子束装置，特别涉及样品平台的对准调整。
技术介绍
在具备摄像机设备的带电粒子束装置中，利用摄像机设备取得载置于样品台的样品的光学像，能在该取得的样品的光学像上选择照射带电粒子束进行观察的样品上的位置或范围。为了高精度地选择位置或范围，需要高精度地调整挪动样品台的样品平台与光学像的对准。在JP特开2010-198998号公报(专利文献1)中，在由摄像机设备摄像并显示了样品台和样品的光学像的显示画面中，显示用于识别光学像中的样品台的大小的由与样品台相同的形状构成的样品台识别用的调整引导，在显示画面上进行该调整引导的放大/缩小/移动，使其与显示画面上的样品台的光学像一致，由此来识别光学像上的样品台的大小和中心位置。并且，根据该识别出的显示画面上的样品台的光学像的大小与预先积蓄的该样品台的实际的大小的对应，来运算由摄像机设备取得的光学像的放大倍率以及该光学像上的样品台的中心位置，调整样品平台与光学像的对准。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2010-198998号公报
技术实现思路
专利技术...
【技术保护点】
一种带电粒子束装置，具备：样品平台，其载置保持了样品的样品台，至少进行二维移动；照射光学系统，其对所述样品照射带电粒子束；检测器，其检测从所述样品放出的信息信号；显示装置，其显示基于所述信息信号形成的带电粒子像；光学显微镜，其拍摄所述样品台；以及存储部，其存储由所述光学显微镜拍摄的光图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备对准调整部，该对准调整部，将处理完毕光学像显示在所述显示装置，其中，该处理完毕光学像是通过数字处理对存储于所述存储部的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，在第1处理完毕光学像上显示样品台对准用指示器，能经由输入设备操作所述第1处理完毕光学像或所述样品台...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.21 JP 2015-1633211.一种带电粒子束装置，具备：样品平台，其载置保持了样品的样品台，至少进行二维移动；照射光学系统，其对所述样品照射带电粒子束；检测器，其检测从所述样品放出的信息信号；显示装置，其显示基于所述信息信号形成的带电粒子像；光学显微镜，其拍摄所述样品台；以及存储部，其存储由所述光学显微镜拍摄的光图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备对准调整部，该对准调整部，将处理完毕光学像显示在所述显示装置，其中，该处理完毕光学像是通过数字处理对存储于所述存储部的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，在第1处理完毕光学像上显示样品台对准用指示器，能经由输入设备操作所述第1处理完毕光学像或所述样品台对准用指示器来实施基于样品台对准的对准调整，在与所述第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像或带电粒子像上显示指针，能经由所述输入设备操作所述第2处理完毕光学像或所述带电粒子像或所述指针来实施基于对准点指定的对准调整。2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，在实施了基于样品台对准的对准调整后，将比第1处理完毕光学像更放大的第2处理完毕光学像显示在所述显示装置，能实施基于对准点指定的对准调整。3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述样品台对准用指示器是模仿载置于所述样品平台的样品台的轮廓的形状，或者是能输入显示于所述第1处理完毕光学像的样品台的轮廓点的坐标的指针。4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，在所述样品平台载置了多个样品台的情况下，所述对准调整部能对各样品台实施基于所述样品台对准的对准调整以及基于所述对准点指定的对准调整。5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，在经由输入设备选择了所述多个样品台当中的给定的样品台的情况下，所述样品平台基于对该样品台施加的对准调整至少进行二维移动。6.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述对准调整部基于某样品台的对准调整来辅助其他样品台的对准调整。7....
【专利技术属性】
技术研发人员：三上圭介，根崎俊明，千叶宽幸，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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