【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】碳分析方法
本专利技术涉及对含有具有水解性卤素的卤化金属化合物的原料中含有的碳量进行分析的方法。
技术介绍
在半导体领域中，元素的微细化日益进行，因此，对制造工序中使用的作为气体的原料的液体材料，要求进一步的高纯度化。迄今为止，对液体材料中含有的作为杂质的金属成分，被充分管理。但是，在专利文献1中，在通过使用具有特定结构的含硅化合物的气体和含金属化合物的气体的原子层沉积法而在基板上形成由金属硅酸盐构成的高电容率膜的方法中，当制造工序中使用的材料中含有较多的碳时，碳残留在高电容率膜上容易产生漏电流时，因而，作为抑制漏电流产生的手段，记载了使用规定了碳原子与硅原子的组成比的材料的方法。另外，在专利文献2中，公开了一种半导体用绝缘材料，其特征在于，为了得到漏电流少的层间绝缘膜，使用规定了碳原子与硅原子的组成比的材料。这样，有必要管理来自半导体的制造工序中使用的材料中含有的杂质等的碳量。另一方面，作为测定碳量的方法，在专利文献3中，作为附着残留在燃料电池用各种金属制部件和陶瓷制部件上的油分的分析方法，记载了使构成油分的烃类与氧反应，转换成一氧化碳或二氧化碳，再用红外线检测...
【技术保护点】
碳分析方法，其特征在于，使含有具有水解性的卤化金属化合物和有机成分的原料与水混合，使上述卤化金属化合物水解，形成水解物后，回收该水解物和上述有机成分的混合物，通过对该混合物进行碳分析，得到碳量。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.05 JP 2015-1550981.碳分析方法，其特征在于，使含有具有水解性的卤化金属化合物和有机成分的原料与水混合，使上述卤化金属化合物水解，形成水解物后，回收该水解物和上述有机成分的混合物，通过对该混合物进行碳分析，得到碳量。2.权利要求1所述的碳分析方法，其中，上述水为有机碳的总含量为500ppb以下的纯水。3.权利要求1或2所述的碳分析方法，其中，构成上述卤化金属化合物的金属原子为硅原子、锗原子或钨原子，上述卤原子为氯原子。4.权利要求1至3任一项所述的碳分析方法，其中，得到上述水解物时副产的卤化氢通过在30～180℃下加热而除去。5.权利要求1至4任一...
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