泄漏检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种泄漏检测系统，其包括当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态的传感器；操作地联接至传感器的通信装置；以及适于将泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域的附接元件，其中，附接元件是可移除的、可再利用的或两者均可。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泄漏检测系统
本公开涉及一种泄漏检测系统。
技术介绍
许多工业和商业应用涉及可以用于例如处理步骤、比如为掩模或刻蚀的制造功能或者温度控制中的流体的使用。一些流体可能是特别有害的或者由于有害环境或生物学影响而需要特定维护。其他流体可能是异常贵重的，比如，例如药用物质。许多行业继续需要有效地和准确地监控有害或贵重流体的泄漏的方法。附图说明实施例通过举例方式示出并且非旨在受限于附图。图1包括根据一个实施例的泄漏检测系统的透视图。图2包括布置在联结流体管道之间的流体界面上的多个泄漏检测系统的侧视图。图3包括根据一个实施例的传感器的示意性视图。图4包括根据一个实施例的传感器的横截面正视图。图5包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。图6包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。图7包括根据另一个实施例的传感器的示意性视图。图8包括根据一个实施例的权利要求7的传感器的横截面正视图。图9包括根据一个实施例的处于干燥状态的另一个传感器的示意性视图。图10包括根据一个实施例的处于潮湿状态的图9的传感器的示意性视图。图11包括根据一个实施例的处于干燥状态的另一个传感器的示意性视图。图12包括根据一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种泄漏检测系统，包括：传感器，所述传感器当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；通信装置，所述通信装置操作地联接至所述传感器；以及附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域，其中，所述附接元件是可移除的、可再利用的或者两者均可。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.30 US 62/1868531.一种泄漏检测系统，包括：传感器，所述传感器当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；通信装置，所述通信装置操作地联接至所述传感器；以及附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域，其中，所述附接元件是可移除的、可再利用的或者两者均可。2.一种泄漏检测阵列，包括：一段材料，所述一段材料具有多个泄漏检测系统，每个泄漏检测系统包括：传感器；以及通信装置，所述通信装置操作地联接至所述传感器，其中，所述一段材料能够被分成n个可分割部分，其中，n是所述泄漏检测阵列中的泄漏检测系统的数目。3.一种流体系统，包括：具有流体的设备；以及附接至所述设备的泄漏检测系统，所述泄漏检测系统包括：传感器，所述传感器当干燥时具有第一状态并且当潮湿时具有第二状态；通信装置，所述通信装置操作地联接至所述传感器并且适于当所述传感器感测到流体泄漏时向接收装置发送信号；以及附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至用于监控流体泄漏的区域。4.根据前述权利要求中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列或流体系统，其中，所述传感器包括：基板；以及检测元件，所述检测元件与所述基板通信，其中，所述基板适于响应于流体接触发生变化。5.根据权利要求4所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列或流体系统，其中，所述基板适于在当干燥时的第一尺寸与当潮湿时的第二尺寸之间变化，所述第一尺寸和所述第二尺寸彼此不同。6.根据权利要求4和5中的任一项所述的泄漏检测系统、泄漏检测阵列或流体系统，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·H·凌，J·L·丁，S·L·克拉克，P·布劳恩，
申请(专利权)人：美国圣戈班性能塑料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US