高压过滤器制造技术
High pressure filter
The invention provides a high pressure filter, comprising: a first shell and a two shell, its complementary tapered surface; washers on the tapered surface; filter elements, the center mounted in the shell; and the compression of the collar, the assembly in the second shell above and screwed into the first case. A method of making and using a high pressure filter is also provided.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高压过滤器相关申请案本申请案主张2015年7月8日提出申请的第62/190,100号美国临时申请案的权益。以上申请案的全部教示以引用方式并入本文中。
技术介绍
半导体制造操作需要没有杂质、污染物及颗粒的高纯度金属(例如锡)及高纯度气体(例如溴化氢)，所述杂质、污染物及颗粒可破坏过程且导致正生产的工件中的缺陷。熔融金属的过滤尤其需要在高温及高压下执行过滤。用于过滤熔融金属的过滤器必须在高温(举例来说，大于200℃的温度)及高压(举例来说，高达8000psig)下提供防漏密封。现有技术中教示的装置及方法未必满足半导体工业中的当今顾客的要求。持续需要在高温及高压下提供防漏性能以用于过滤熔融金属及气体的过滤器。
技术实现思路
本专利技术关于高压过滤器以及制成且使用高压过滤器的方法，所述高压过滤器用于移除可存在于熔融金属或气体中的杂质、污染物及颗粒。在本专利技术的版本中，一种高压过滤器包括第一壳体及第二壳体，所述壳体中的每一者具有在第一端上的渐缩表面及在第二端上的流体配件。所述第二壳体的所述渐缩表面与所述第一壳体的所述渐缩表面互补地渐缩，且垫圈位于所述第一壳体的所述渐缩表面与所述第二...
【技术保护点】
一种高压过滤器，其包括：第一壳体，其具有在第一端上的渐缩表面及在第二端上的流体配件，所述第一壳体的外部表面的至少一部分为带螺纹的；第二壳体，其具有在第一端上的渐缩表面及在第二端上的流体配件，所述第二壳体的所述渐缩表面与所述第一壳体的所述渐缩表面互补地渐缩；过滤器元件，其居中地安置于所述第一壳体及所述第二壳体内；垫圈，其位于所述第一壳体的所述渐缩表面与所述第二壳体的所述渐缩表面之间；及压缩轴环，其装配在所述第二壳体上方且旋拧到所述第一壳体上。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.08 US 62/190,1001.一种高压过滤器，其包括：第一壳体，其具有在第一端上的渐缩表面及在第二端上的流体配件，所述第一壳体的外部表面的至少一部分为带螺纹的；第二壳体，其具有在第一端上的渐缩表面及在第二端上的流体配件，所述第二壳体的所述渐缩表面与所述第一壳体的所述渐缩表面互补地渐缩；过滤器元件，其居中地安置于所述第一壳体及所述第二壳体内；垫圈，其位于所述第一壳体的所述渐缩表面与所述第二壳体的所述渐缩表面之间；及压缩轴环，其装配在所述第二壳体上方且旋拧到所述第一壳体上。2.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述第一壳体及所述第二壳体包括钼。3.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述第一壳体及所述第二壳体包括不锈钢或镍。4.根据权利要求1或2所述的高压过滤器，其中所述压缩轴环包括钼。5.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述压缩轴环包括不锈钢或镍。6.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述垫圈包括钽。7.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述垫圈包括钛、不锈钢或镍。8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述第一壳体的所述渐缩表面以不同于所述第二壳体的所述渐缩表面的角度渐缩。9.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述高压过滤器在操作期间于大约200℃到大约400℃的温度下为防漏的。10.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述高压过滤器在操作期间于大约250℃到大约300℃的温度下为防漏的。11.根据权利要求1到10中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述高压过滤器在操作期间于高达大约8000psig的压力下为防漏的。12.根据权利要求1到11中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述垫圈包含凸缘。13.根据权利要求1到12中任一权利要求所述的高压过滤器，其中所述过...
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