一种真空度测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空度测量装置，其包括本体，本体包括外壳和外壳包围的容纳腔，容纳腔的一端设有开口，另一端安装有密封端子，开口安装有密封连接件，容纳腔内安装有热细丝、支撑热细丝的第一支撑机构、固定第一支撑机构的绝缘固定件、第二支撑机构，第一支撑机构和第二支撑机构电连接，第二支撑机构穿过密封端子与外部控制电路电连接，外壳安装有温度传感器，温度传感器与外部控制电路连接。本发明专利技术的真空度测量装置通过设置第一支撑机构支撑热细丝，并通过绝缘固定件固定该第一支撑机构，再通过与外部控制电路连接的第二支撑件与该第一支撑机构连接，可以保证在振动时，该热细丝与第一支撑机构同步振动，防止热细丝被拉断。

A measuring device for vacuum degree

The invention discloses a vacuum measurement device, which comprises a main body, including body cavity surrounded by the shell and the shell, one end of the cavity is provided with an opening, the other end is provided with a sealed terminal, equipped with a sealed connector opening accommodating cavity is arranged in hot filament, support hot filament first supporting mechanism, fixed first support the insulation fixing piece, second supporting mechanism, the first supporting mechanism and the supporting mechanism is electrically connected with the second, second supporting mechanism through the sealing terminal and the external control circuit is electrically connected, shell provided with a temperature sensor, temperature sensor and external control circuit connection. Vacuum measurement device of the invention by setting the first support mechanism for supporting hot filaments, and through the insulation fixing parts of the first supporting mechanism, the external control circuit connected with the second supporting piece is connected with the first supporting mechanism, can ensure the vibration when the hot filament synchronous vibration and the first supporting mechanism, prevent hot filament pulled off.

【技术实现步骤摘要】
一种真空度测量装置
本专利技术涉及检验检测
，特别涉及一种真空度测量装置。
技术介绍
真空计又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。皮拉尼真空计也称电阻式真空规，其工作原理是：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。现有的皮拉尼真空计大多采用直线型热细丝，而在测量过程中，经常会有不可控的振动，会对真空计中的热细丝产生影响，导致其断裂，从而影响检测。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术目的在于提供一种可有效抵御外部振动，防止热细丝断裂的真空度测量装置。一种真空度测量装置，包括本体，所述本体包括外壳和所述外壳包围的容纳腔，所述容纳腔的一端设有开口，另一端安装有密封端子，所述开口安装有密封连接件，所述容纳腔内安装有热细丝、支撑所述热细丝的第一支撑机构、固定所述第一支撑机构的绝缘固定件、第二支撑机构，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构电连接，所述第二支撑机构穿过所述密封端子与外部控制电路电连接，所述外壳安装有温度传感器，所述温度传感器与所述外部控制电路连接。作为本专利技术的进一步改进，所述容纳腔内靠近所述开口处固定安装有空气过滤机构。作为本专利技术的进一步改进，所述空气过滤机构为烧结过滤器。作为本专利技术的进一步改进，所述第一支撑机构包括分别支撑所述热细丝两端的第一支撑件和第二支撑件，所述第二支撑机构包括与所述第一支撑件电连接的第三支撑件、与所述第二支撑件电连接的第四支撑件。作为本专利技术的进一步改进，所述第三支撑件和第四支撑件结构相同，均为弧形且对称设置。作为本专利技术的进一步改进，所述密封连接件为固定法兰。作为本专利技术的进一步改进，所述容纳腔为筒状。作为本专利技术的进一步改进，所述热细丝为螺旋形结构。本专利技术的有益效果：(1)本专利技术的真空度测量装置通过设置第一支撑机构支撑热细丝，并通过绝缘固定件固定该第一支撑机构，再通过与外部控制电路连接的第二支撑件与该第一支撑机构连接，可以保证在振动时，该热细丝与第一支撑机构同步振动，防止热细丝被拉断。(2)其次，热细丝为螺旋形结构，可以有效防止振动，避免被拉断，同时增加了接触面积，缩小了整个装置的长度，节约了成本。(3)同时，第二支撑机构设置为结构相同的两个弧形支撑件，弧形结构可以有效减震。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1是本专利技术实施例中真空度测量装置的结构示意图。标记说明：10、外壳；20、容纳腔；21、开口；22、密封端子；23、绝缘件；30、固定法兰；40、烧结过滤器；50、热细丝；61、第一支撑件；62、第二支撑件；70、绝缘固定件；81、第三支撑件；82、第四支撑件；91、控制电路；92、温度传感器。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定。如图1所示，为本专利技术的真空度测量装置，该装置包括外壳10和外壳10包围的容纳腔20，容纳腔20为筒状。容纳腔20的一端设有开口21，另一端安装有密封端子22，开口21安装有固定法兰30，用于与待测空间固定连接并起密封作用，容纳腔20内靠近开口21处固定安装有烧结过滤器40，用于防止待测空间内的污染物或反应物进入所述容纳腔20内，容纳腔20内安装有热细丝50、第一支撑件61、第二支撑件62、绝缘固定件70、第三支撑件81、第四支撑件82，第一支撑件61和第二支撑件62分别固定安装于热细丝50两端，用于将热细丝50支撑固定，第一支撑件61和第二支撑件62均与绝缘固定件70固定连接，第一支撑件61穿过绝缘固定件70与第三支撑件81固定连接，第二支撑件62穿过绝缘固定件70与第四支撑件82固定连接，第三支撑件81和第四支撑件82结构相同，均为弧形且对称设置，第三支撑件81和第四支撑件82穿过密封端子22且均与外部控制电路91电连接，第三支撑件81与密封端子22之间安装有绝缘件23，第四支撑件82与密封端子22之间也安装有绝缘件23。外壳10上安装有温度传感器92，温度传感器92与控制电路91电连接，在本实施例中，热细丝50为螺旋状。在测量时，通过固定法兰30将装置与待测空间固定连接，待测空间内的气体分子经过开口21，由烧结过滤器40过滤后进入容纳腔20，与热细丝50的表面碰撞，将热量从热细丝50表面导离，并与容纳腔20的内壁碰撞将热量传递至容纳腔20，温度传感器92检测到温度并将温度信息传递至控制电路91，控制电路91与外部电源连接，控制电路91以将热细丝50保持为恒定温度所需的电量来计算气压，并得到待测空间的真空度。本专利技术的有益效果：(1)本专利技术的真空度测量装置通过设置第一支撑机构支撑热细丝，并通过绝缘固定件固定该第一支撑机构，再通过与外部控制电路连接的第二支撑件与该第一支撑机构连接，可以保证在振动时，该热细丝与第一支撑机构同步振动，防止热细丝被拉断。(2)其次，热细丝为螺旋形结构，可以有效防止振动，避免被拉断，同时增加了接触面积，缩小了整个装置的长度，节约了成本。(3)同时，第二支撑机构设置为结构相同的两个弧形支撑件，弧形结构可以有效减震。以上实施例仅是为充分说明本专利技术而所举的较佳的实施例，本专利技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本专利技术基础上所作的等同替代或变换，均在本专利技术的保护范围之内。本专利技术的保护范围以权利要求书为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空度测量装置，其特征在于：包括本体，所述本体包括外壳和所述外壳包围的容纳腔，所述容纳腔的一端设有开口，另一端安装有密封端子，所述开口安装有密封连接件，所述容纳腔内安装有热细丝、支撑所述热细丝的第一支撑机构、固定所述第一支撑机构的绝缘固定件、第二支撑机构，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构电连接，所述第二支撑机构穿过所述密封端子与外部控制电路电连接，所述外壳安装有温度传感器，所述温度传感器与所述外部控制电路连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空度测量装置，其特征在于：包括本体，所述本体包括外壳和所述外壳包围的容纳腔，所述容纳腔的一端设有开口，另一端安装有密封端子，所述开口安装有密封连接件，所述容纳腔内安装有热细丝、支撑所述热细丝的第一支撑机构、固定所述第一支撑机构的绝缘固定件、第二支撑机构，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构电连接，所述第二支撑机构穿过所述密封端子与外部控制电路电连接，所述外壳安装有温度传感器，所述温度传感器与所述外部控制电路连接。2.如权利要求1所述的真空度测量装置，其特征在于，所述容纳腔内靠近所述开口处固定安装有空气过滤机构。3.如权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李涛，
申请(专利权)人：李涛，
类型：发明
国别省市：江苏,32