一种基于电流变液的微流控减振芯片制造技术
A microfluidic damping chip based on electrorheological fluid
The invention discloses a microfluidic chip based on current variable damping liquid, the overall structure of the sealing cavity is arranged inside the micro channel, chip flow channel, micro flow channels at both ends are respectively provided with a liquid inlet and a liquid outlet, turn the micro flow channel are respectively arranged on the four liquid storage chamber, from the liquid inlet to the outlet of the micro flow channel are arranged along the direction of the parallel plate electrode four. There is a vibration damping platform above the four liquid storage chambers. The structure of the invention is simple and reasonable, and the vibration produced by electrorheological fluid under the electric field can absorb the vibration of MEMS, so as to improve the stability of MEMS.
【技术实现步骤摘要】
一种基于电流变液的微流控减振芯片
本专利技术属于微流控芯片领域，尤其是一种基于电流变液的微流控减振芯片。
技术介绍
微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystems）指的是采用先进微细制造技术，将微小型驱动器、控制器和执行器等集成化在一个微尺度的系统中。作为微机电系统技术中重要的一个组成部分—微流体系统，其中芯片实验室是微机电系统中重要的一个分支。微流控芯片是以微尺度下的流体作为输送平台，通过对流体的操控，实现药物传输，流体混合等功能。电流变液（ElectrorheologicalFluids）通常是由微米级高介电常数微粒和弱电导或非电导基液混合而成的固液两相悬浮液。其流变特性可以通过应用外加电场来改变，从液体迅速转化到类似固体状态。而且这种转变在电场撤销后是可逆的。这些智能的特性使得电流变液成为微机电系统中的一种理想的材料。尽管微流控芯片尺寸微小，流体在通道中流动产生的振动微弱，但是产生的振动如果没有及时控制，仍然会给微机电系统带来一定的影响，降低微机电系统的稳定性。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种具有智能材料、阻尼...
【技术保护点】
一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，包括微流动通道，平行板电极，进液口，出液口，储液腔和减振平台；所述的微流控芯片为密封腔式结构，其内部设有微流动通道；所述的微流动通道的两端分别设有进液口，出液口；所述的平行板电极位于位于储液腔到出液口的微流动通道的两侧；所述的储液腔位于微流动通道的转弯处。
【技术特征摘要】
1.一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，包括微流动通道，平行板电极，进液口，出液口，储液腔和减振平台；所述的微流控芯片为密封腔式结构，其内部设有微流动通道；所述的微流动通道的两端分别设有进液口，出液口；所述的平行板电极位于位于储液腔到出液口的微流动通道的两侧；所述的储液腔位于微流动通道的转弯处。2.所述的减振平台位于储液腔的上方。3.根据权利要求1所述的一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，所述的进液口连接两条微流动通道，两条微流动通道分别连接两个储液腔，所述的出液口的上游方向连接两条储液腔的通道，所述的微流动通道为矩形通道。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱石沙，章岱，黄鹏程，周潇，罗奇，袁佳莹，
申请(专利权)人：湘潭大学，
类型：发明
国别省市：湖南,43
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