微纳光检测装置及光检测系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种微纳光检测装置及光检测系统，涉及光学检测技术领域。微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，传导组件设置于第一盖板和第二盖板之间，第一盖板及第二盖板用于防止通过传导组件传导的电磁波发生泄露，传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，第一波导和第二波导设置于共振腔相对的两侧，第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光，本实施例提供的微纳光检测装置，通过将光耦合到共振腔中产生法诺共振或洛伦兹共振，在特定波段的待检测光在第一波导一端通过共振腔耦合至第二波导的一端进行传播，可以用来检测是否有特定波长的光通过所述微纳光检测装置，以检测特定波长的透射情况。

【技术实现步骤摘要】
微纳光检测装置及光检测系统
本技术涉及光学检测
，具体而言，涉及一种微纳光检测装置及光检测系统。
技术介绍
传统光谱检测仪设备复杂，大多数时间不需要读出完全光谱，现有技术模块相对较大，达不到微纳尺度的器件尺寸，严重影响了产品的集成化和芯片化。在很多产品检测中，很多检测并不需要读出完全光谱数据，只需得到特定波长数据。相比于制备匹配液的光谱检测器，匹配液制备复杂，且利用率不高。利用纳米技术制备滤波器，虽然精度高，但是芯片尺度依然达到了几百微米量级。利用传统傅里叶检测方法制作的光谱设备，光路复制，需要大型仪器的支持，难以做到微小化。以上设备很难被用于微流体折射率检测，功能相对比较局限。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例的目的在于提供一种微纳检测器件，以解决现有技术模块较大，达不到微纳尺寸，用处单一的问题。本技术实施例的另一目的提供了一种光检测系统，以改善上述的问题。一种微纳光检测装置，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光。优选的，第一波导包括第一表面，所述第一表面开设有第一狭缝，所述第一狭缝的深度方向与所述第一表面垂直，所述第一狭缝的深度小于所述第一表面到所述共振腔的外壁的距离。优选的，所述第二波导包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面开设有第二狭缝，所述第二狭缝的深度方向与所述第二表面垂直，所述第二狭缝的深度小于所述第二表面到所述共振腔的外壁的距离。优选的，所述第一狭缝和所述第二狭缝相对于所述共振腔对称设置。优选的，所述共振腔为圆柱状，所述共振腔的高度方向与所述第一盖板和所述第二盖板均垂直。优选的，所述共振腔内设置有挡板，所述挡板与所述共振腔的内壁连接。优选的，所述第一盖板和所述第二盖板均开设有通孔，所述第一盖板的通孔用于向所述传导组件内部注入液体或气体，所述第二盖板的通孔用于所述液体或所述气体流出所述传导组件，以检测微纳光检测装置的共振腔内物质折射率的变化。优选的，所述第一盖板和所述第二盖板均为金属盖板。优选的，所述第一波导和所述第二波导均为MIM波导。一种光检测系统，所述光检测系统包括光强检测装置以及微纳光检测装置，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光，所述光检测装置用于检测从所述微纳光检测装置的传导组件传导射出的光的强度。相对现有技术，本技术具有以下有益效果：本技术提供的一种微纳光检测装置及光检测系统，微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光，本实施例提供的微纳光检测装置，通过将光耦合到共振腔中产生法诺共振或洛伦兹共振，在特定波段的待检测光在第一波导一端通过共振腔耦合至第二波导的一端进行传播，可以用来检测是否有特定波长的光通过所述微纳光检测装置，以检测特定波长的透射情况。为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1示出了本技术所提供的一种微纳光检测装置示意图。图2示出了本技术提供的微纳光检测装置的组装结构示意图。图3示出了传导组件的第一视角示意图。图4示出了传导组件的第二视角示意图。图5示出了第一实施例提供的光检测系统的示意图。图6示出了第二实施例提供的光检测系统的示意图。图7示出了第二实施例提供的微纳光检测装置的示意图。图标：100-微纳光检测装置；110-第一盖板；111-通孔；130-第二盖板；150-传导组件；151-第一波导；1511-第一表面；1513-第一狭缝；153-第二波导；1531-第二表面；1533-第二狭缝；155-共振腔；1551-挡板；200-光检测系统；210-光强检测装置；230-光谱分析装置。具体实施方式下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。在本技术的描述中，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微纳光检测装置，其特征在于，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光。

【技术特征摘要】
1.一种微纳光检测装置，其特征在于，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光。2.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一波导包括第一表面，所述第一表面开设有第一狭缝，所述第一狭缝的深度方向与所述第一表面垂直，所述第一狭缝的深度小于所述第一表面到所述共振腔的外壁的距离。3.如权利要求2所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第二波导包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面开设有第二狭缝，所述第二狭缝的深度方向与所述第二表面垂直，所述第二狭缝的深度小于所述第二表面到所述共振腔的外壁的距离。4.如权利要求3所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一狭缝和所述第二狭缝相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：程琳，周琪璋，李絮，
申请(专利权)人：兰州大学，
类型：新型
国别省市：甘肃,62