减压干燥系统和减压干燥方法技术方案

本发明专利技术提供能够提高通过量的减压干燥系统。该减压干燥系统包括：第一减压干燥装置，其包括：收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板的第一处理容器；在上述第一处理容器的内部保持上述基板的第一基板保持部；和将上述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，在气压比大气压低的减压气氛中使上述溶剂从上述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从上述第一减压干燥装置搬送来的上述基板的第二处理容器；在上述第二处理容器的内部保持上述基板的第二基板保持部；和将上述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，在气压比大气压低的减压气氛中使残留于上述涂敷层的上述溶剂蒸发。

Depressurization drying system and depressurization drying method

The present invention provides a pressure reducing drying system that can increase the amount of passing through. Including the vacuum drying system: first vacuum drying device, which comprises: forming a first storage container with a coating substrate processing including organic materials and solvents of the first substrate; keep the substrate inside the first processing container holding part; and the first internal pressure decompression decompression mechanism of the first processing container to ratio low air pressure, reducing atmosphere in atmospheric pressure than low in the solvent evaporation from the coating layer; and second vacuum drying device, which comprises: receiving second of the substrate from the container to move from the first vacuum drying device; keep in substrate second in the interior of the container holding the substrate second the second treatment and treatment; internal pressure vessel relief to second lower than the atmosphere pressure reducing mechanism in low atmospheric pressure ratio In the decompression atmosphere, the above solvent is evaporated by the above coating layer.

【技术实现步骤摘要】
减压干燥系统和减压干燥方法
本专利技术涉及减压干燥系统和减压干燥方法。
技术介绍
一直以来，已知作为利用有机EL(Electroluminescence)发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)。使用有机发光二极管的有机EL显示器具有薄型轻量且低电力消耗，并且响应速度、视野角、对比度比方面优异等优点。因此，近年来作为次世代的平板显示器(FPD)受到关注。有机发光二极管具有在基板上形成的阳极、以阳极为基准地设置在基板的相反侧的阴极和设置于阳极与阴极之间的有机层。有机层例如从阳极侧向阴极侧按下述顺序依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。空穴注入层、空穴输送层、发光层等的形成中使用喷墨方式的涂敷装置。涂敷装置通过将含有有机材料和溶剂的涂敷液涂敷在基板上而形成涂敷层。通过对该涂敷层进行减压干燥、烧制，形成空穴注入层等(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-77966号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题图1是表示现有例的减压干燥装置的处理容器的内部的气压的时间变化的图。当在时刻t0开始减压时，处理容器的内部的气压从大气压起急剧下降，之后，从时刻t1到时刻t2成为大致一定值。在从时刻t1到时刻t2的期间，包含于涂敷层的溶剂的大部分蒸发。之后，处理容器的内部的气压逐渐下降，从时刻t3起成为大致一定值。在时刻t3之前的期间，涂敷层的轮廓大致形成。接着，在长时间的期间中，处理容器的内部的气压维持得较低，残留于涂敷层的溶剂逐渐蒸发。从自减压开始起的经过时间到达设定时间的时刻t4到时刻t5，处理容器的内部的气压回到大气压。现有技术中，减压干燥的处理时间长，减压干燥成为制造线的瓶颈。本专利技术鉴于上述课题而提出，以提供能够提高通过量的减压干燥系统为主要目的。用于解决技术问题的技术方案为了解决上述课题，根据本专利技术的一个方式，提供一种减压干燥系统，其包括：第一减压干燥装置，其包括：第一处理容器，其收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在上述第一处理容器的内部保持上述基板的第一基板保持部；和将上述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，上述第一减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使上述溶剂从上述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从上述第一减压干燥装置搬送来的上述基板的第二处理容器；在上述第二处理容器的内部保持上述基板的第二基板保持部；和将上述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，上述第二减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使残留于上述涂敷层的上述溶剂蒸发。专利技术效果根据本专利技术的一个方式能够提供能够提高通过量的减压干燥系统。附图说明图1是表示现有例的减压干燥装置的处理容器的内部的气压的时间变化的图。图2是表示一实施方式的有机EL显示器的平面图。图3是表示一实施方式的有机EL显示器的主要部分的截面图。图4是表示一实施方式的有机发光二极管的制造方法的流程图。图5是表示一实施方式的形成有涂敷层的基板的截面图。图6是表示对图5的涂敷层进行了减压干燥的基板的截面图。图7是表示一实施方式的基板处理系统的平面图。图8是表示一实施方式的减压干燥系统的平面图。图9是表示图8的第一减压干燥装置的截面图。图10是表示图8的第二减压干燥装置的截面图。图11是表示第一变形例的减压干燥系统的平面图。图12是表示第二变形例的减压干燥系统的平面图。图13是表示图12的第二减压干燥装置的截面图。附图标记说明10基板13有机发光二极管21阳极22阴极23有机层100基板处理系统123c减压干燥系统150第一减压干燥装置151第一处理容器152第一工作台155第一减压机构160第二减压干燥装置161第二处理容器162第二工作台165第二减压机构167加热源170基板搬送装置180装载锁定装置181第一基板搬送装置182第二基板搬送装置。具体实施方式以下参照附图说明用于实施本专利技术的方式。在各附图中，对于相同或对应的结构，标注相同或对应的附图标记并省略说明。<有机EL显示器>图2是表示一实施方式的有机EL显示器的平面图。图2中，放大表示一个单位电路11的电路。有机EL显示器包括基板10、在基板10上排列的多个单位电路11、设置在基板10上的扫描线驱动电路14和设置在基板10上的数据线驱动电路15。在由与扫描线驱动电路14连接的多个扫描线16和与数据线驱动电路15连接的多个数据线17包围的区域设置有单位电路11。单位电路11包括TFT层12和有机发光二极管13。TFT层12具有多个TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)。一个TFT具有作为开关元件的功能，另一个TFT具有作为控制在有机发光二极管13流动的电流量的电流控制用元件的功能。TFT层12利用扫描线驱动电路14和数据线驱动电路15动作，对有机发光二极管13供给电流。TFT层12按每个单位电路11设置，多个单位电路11独立控制。另外，TFT层12只要是一般的结构即可，并不限定于图2所示的结构。另外，有机EL显示器的驱动方式在本实施方式中是有源矩阵方式，但也可以是无源矩阵方式。图3是表示一实施方式的有机EL显示器的主要部分的截面图。作为基板10，使用玻璃基板、树脂基板等透明基板。在基板10上形成有TFT层12。在TFT层12上形成有使由TFT层12形成的阶差平坦化的平坦化层18。平坦化层18具有绝缘性。在贯通平坦化层18的接触孔形成有连接插塞19。连接插塞19将在平坦化层18的平坦面形成的作为像素电极的阳极21和TFT层12电连接。连接插塞19可以由与阳极21相同的材料同时形成。有机发光二极管13形成在平坦化层18的平坦面上。有机发光二极管13包括：作为像素电极的阳极21；以像素电极为基准地设置在基板10的相反侧的作为相对电极的阴极22；和在阳极21与阴极22间形成的有机层23。通过使TFT层12动作，对阳极21与阴极22之间施加电压，有机层23发光。阳极21例如由ITO(IndiumTinOxide，氧化铟锡)等形成，使来自有机层23的光透过。透过阳极21的光透过基板10，取出到外部。阳极21按每个单位电路11设置。阴极22例如由铝等形成，使来自有机层23的光向有机层23反射。由阴极22反射的光，透过有机层23、阳极21、基板10，取出到外部。阴极22在多个单位电路11中共用。有机层23例如从阳极21侧到阴极22侧按下述顺序形成有空穴注入层24、空穴输送层25、发光层26、电子输送层27和电子注入层28。当电压施加于阳极21与阴极22间时，空穴从阳极21注入空穴注入层24，并且电子从阴极22注入电子注入层28。注重入到空穴注入层24的空穴由空穴输送层25向发光层26输送。此外，注入到电子注入层28的电子由电子输送层27向发光层26输送。于是，在发光层26内空穴和电子再结合，发光层26的发光材料被激励，发光层26发光。作为发光层26，例如形成有红色发光层、绿色发光层和蓝色发光层。红色发光层由发出红色光的红色发光材料形成，绿色发光层由发出绿色光的绿色发光材料形成，蓝色发光层由发出蓝色光的蓝色发光材料形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥系统，其特征在于，包括：第一减压干燥装置，其包括：第一处理容器，其收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在所述第一处理容器的内部保持所述基板的第一基板保持部；和将所述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，所述第一减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使所述溶剂从所述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从所述第一减压干燥装置搬送来的所述基板的第二处理容器；在所述第二处理容器的内部保持所述基板的第二基板保持部；和将所述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，所述第二减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发。

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1861941.一种减压干燥系统，其特征在于，包括：第一减压干燥装置，其包括：第一处理容器，其收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在所述第一处理容器的内部保持所述基板的第一基板保持部；和将所述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，所述第一减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使所述溶剂从所述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从所述第一减压干燥装置搬送来的所述基板的第二处理容器；在所述第二处理容器的内部保持所述基板的第二基板保持部；和将所述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，所述第二减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发。2.如权利要求1所述的减压干燥系统，其特征在于：所述第二减压干燥装置还包括对由所述第二基板保持部保持的所述基板进行加热的加热源，在比所述第一减压干燥装置高的温度下使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发。3.如权利要求2所述的减压干燥系统，其特征在于：所述第二减压干燥装置在对多个所述基板依次进行干燥的期间，将所述第二基板保持部的温度保持为比所述第一基板保持部的温度高的温度。4.如权利要求1所述的减压干燥系统，其特征在于：所述第二减压干燥装置在室温下使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发。5.如权利要求1～4中任一项所述的减压干燥系统，其特征在于：所述第二基板保持部将从所述第一减压干燥装置依次搬送来的多个所述基板同时保持在所述第二处理容器的内部。6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐田彻也，那须俊文，植田稔彦，岛村明典，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP