减压干燥装置和减压干燥方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够减轻基板的面内的涂敷层的减压干燥速度的不均的减压干燥装置。本发明专利技术的减压干燥装置，包括：处理容器，其收纳形成有包含有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在上述处理容器的内部从下方保持上述基板的基板保持部；与上述处理容器的排气口连接，将上述处理容器的内部减压的减压机构；和对从由上述基板保持部保持的上述基板的上表面附近向上述处理容器的排气口去的气流进行限制的气流限制部，上述气流限制部包括：在由上述基板保持部保持的上述基板的侧方遮挡气流的侧壁部；和在由上述基板保持部保持的上述基板的上方遮挡气流的顶部。

Depressurization drying device and depressurization drying method

The present invention provides an uneven decompression drying device capable of reducing the pressure and drying speed of the coating layer in the surface of the substrate. Vacuum drying device of the invention comprises: processing, storage containers, the formation of a substrate coating layer including organic materials and solvents; inside the processing container from below the substrate holding the substrate holder; and the exhaust treatment container port, the decompression mechanism of internal decompression of the processing container; air flow limiting part and an air exhaust of the container from the upper surface of the substrate near the holding unit holds the substrate to the processing of export to limit, the airflow limitation portion includes a side wall portion of the substrate by shielding airflow in the substrate of the keep holding on the lateral side; and at the top of the substrate keep the upper portion of the substrate to keep the block flow.

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置和减压干燥方法
本专利技术涉及减压干燥装置和减压干燥方法。
技术介绍
在现有技术中，已知作为利用有机EL(Electroluminescence：电致发光)发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)。使用有机发光二极管的有机EL显示器具有薄型轻量且低电力消耗，并且响应速度、视野角、对比度比方面优异等优点。因此，近年来作为次世代的平板显示器(FPD)受到关注。有机发光二极管具有形成在基板上的阳极、以阳极为基准地设置在基板的相反侧的阴极和设置于它们之间的有机层。有机层例如从阳极侧向阴极侧按下述顺序依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。空穴注入层、空穴输送层、发光层等的形成中使用喷墨方式的涂敷装置。涂敷装置通过将含有有机材料和溶剂的涂敷液涂敷在基板上而形成涂敷层。通过对该涂敷层进行减压干燥、烧制，形成空穴注入层等(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-77966号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题在现有技术中，在基板的面内，涂敷层的减压干燥速度存在不均。本专本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥装置，其特征在于，包括：处理容器，其收纳形成有包含有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在所述处理容器的内部从下方保持所述基板的基板保持部；与所述处理容器的排气口连接，对所述处理容器的内部进行减压的减压机构；和限制从由所述基板保持部保持的所述基板的上表面附近向所述处理容器的排气口去的气流的气流限制部，所述气流限制部包括：在由所述基板保持部保持的所述基板的侧方遮挡气流的侧壁部；和在由所述基板保持部保持的所述基板的上方遮挡气流的顶部。

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1861951.一种减压干燥装置，其特征在于，包括：处理容器，其收纳形成有包含有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在所述处理容器的内部从下方保持所述基板的基板保持部；与所述处理容器的排气口连接，对所述处理容器的内部进行减压的减压机构；和限制从由所述基板保持部保持的所述基板的上表面附近向所述处理容器的排气口去的气流的气流限制部，所述气流限制部包括：在由所述基板保持部保持的所述基板的侧方遮挡气流的侧壁部；和在由所述基板保持部保持的所述基板的上方遮挡气流的顶部。2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：所述顶部包括供从由所述基板保持部保持的所述基板的上表面附近向上方去的气流通过的开口部。3.如权利要求2所述的减压干燥装置，其特征在于：所述侧壁部和所述顶部形成向下开放的箱状的罩，所述罩在内部收纳由所述基板保持部保持的所述基板。4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于：所述气流限制部还包括在由所述基板保持部保持的所述基板的上方将所述罩的内部分隔的分隔部。5.如权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括：间隔调整部，其对由所述基板保持部保持的所述基板与所述分隔部在...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐田彻也，那须俊文，植田稔彦，岛村明典，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP