回收配管清洗方法以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能防止或抑制清洗液进入到药液回收配管，并能降低清洗用药液的消耗量的回收配管清洗方法及基板处理装置。该方法为清洗回收配管的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯引导至回收配管，回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，包括：配管清洗工序，通过对回收配管供应清洗液并且将被引导至回收配管的液体引导至与药液回收配管不同的排液配管，从而用清洗液清洗所述回收配管内；清洗用药液供应工序，配管清洗工序后，为了将回收配管内存在的清洗液替换为与药液同种的清洗用药液，将被引导至回收配管的液体引导至所述排液配管，并且对回收配管供应来自与回收配管相连的清洗用药液供应配管的清洗用药液。

Recovery pipe cleaning method and substrate treatment device

The invention provides a recovery pipe cleaning method and a substrate processing device, which can prevent or inhibit the entry of cleaning liquid into the liquid recovery pipe and reduce the consumption of cleaning liquid. The method for cleaning method of recycling piping, liquid used in substrate processing in the process to guide the cup recovery piping, liquid recovery will lead to the recovery of piping piping to liquor recycling piping preset guide, including: cleaning process piping, piping and guide to liquor recycling different drainage piping through the recovery the cleaning liquid supply piping and piping will be directed to the recovery of liquid, thereby cleaning liquid for cleaning the cleaning liquid recovery piping; drug supply process, piping cleaning process, in order to replace the same liquid cleaning and cleaning fluid in the pipe with liquid recovery exist, will be led to the recovery of liquid guide pipe to the drainage piping, and the use of medical supplies from the recovery of piping and cleaning cleaning liquid recycling medication is the supply piping piping.

【技术实现步骤摘要】
回收配管清洗方法以及基板处理装置
本专利技术涉及对用于引导被处理杯接收的药液的回收配管进行清洗的回收配管清洗方法以及实施这种回收配管清洗方法的基板处理装置。在作为处理对象的基板中，例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示用基板、FED(FieldEmissionDisplay：场致发射显示装置)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。
技术介绍
在现有的美国公开专利No.2008/142051A1公报中，公开了一种对基板一张一张地进行处理的单张式基板处理装置。基板处理装置的处理单元包括：旋转卡盘，其水平地保持基板并使其进行旋转；药液喷嘴，其向被旋转卡盘保持的基板的上表面喷出药液；筒状处理杯，其包围旋转卡盘。另外，为了降低药液的消耗量，处理单元能够回收在基板处理中使用过的药液，并且在之后的处理中再次利用该回收的药液。具体而言，基板处理装置还包括：药液罐，其用于贮存向药液喷嘴供应的药液；回收配管，其用于引导被处理杯接收的药液；药液回收配管，其用于将药液从回收配管引导至药液罐。在美国公开专利No.2008/142051A1公报中提出了：为了防止或抑制在处理杯的内壁、回收配管的内壁结晶了的药液供应到药液罐，在预先设定的时刻，用清洗液对处理杯的内壁进行清洗(杯清洗)，从而去除附着在该内壁的附着物。但是，在该杯清洗中，若清洗液混入到药液罐中贮存的药液中，则药液会被稀释，因此会存在基板处理时的处理速率降低的问题。为了避免这种问题，美国公开专利No.2008/142051A1公报中采用了：在进行杯清洗后，通过向处于旋转状态的模型(dummy)基板供应药液来向处理杯的内壁供应药液，由此将附着于处理杯内壁的清洗液和附着于回收配管内壁的清洗液分别替换为与药液相同种类的清洗用药液的方法。
技术实现思路
然而，在美国公开专利No.2008/142051A1公报所记载的方法中，为了向处理杯供应清洗用药液，由于向基板等(基板或者模型基板)供应清洗用药液，并且清洗用药液从基板的边缘部飞散，因此清洗用药液针对处理杯的供应效率低。而且，本申请的专利技术人认为，即使不用清洗用药液替换附着于处理杯内壁的清洗液，只要仅仅将存在于回收配管内的清洗液替换为清洗用药液，也能得到抑制上述的处理速率低下的效果。因此，在美国公开专利No.2008/142051A1公报所记载的方法中，有可能会增加清洗用药液的消耗量。寻求降低清洗用药液(即，药液)的消耗量。另外，寻求降低清洗用药液消耗量，并且使清洗用药液遍布在回收配管的宽范围内。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够防止或抑制清洗液进入到药液回收配管，并且能够降低清洗用药液的消耗量的回收配管清洗方法以及基板处理装置。而且，本专利技术的其他目的在于，提供一种能够降低药液的消耗量，并且使药液遍布于回收配管的宽范围的基板处理装置。本专利技术的第一方面提供一种回收配管清洗方法，其为对回收配管进行清洗的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯被引导至所述回收配管，所述回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，所述回收配管清洗方法包括：配管清洗工序，通过向所述回收配管供应清洗液，并且将引导至所述回收配管的液体向与所述药液回收配管不同的排液配管引导，来用清洗液对所述回收配管内进行清洗；清洗用药液供应工序，在所述配管清洗工序后，为了将存在于所述回收配管内的清洗液替换为与所述药液相同种类的清洗用药液，将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，并且向所述回收配管供应来自与所述回收配管相连接的清洗用药液供应配管的清洗用药液。根据该方法，在配管清洗工序中，在回收配管内的清洗中所使用的清洗液从回收配管引导至排液配管并被排出。在配管清洗工序后，来自清洗用药液供应配管的清洗用药液供应到回收配管，由此存在于回收配管内的清洗液被清洗用药液替换。包含清洗液的清洗用药液被引导至排液配管。由此，通过在回收配管内的清洗中所使用的清洗液来能够防止或抑制清洗液进入到药液回收配管。另外，由于将来自清洗用药液供应配管的清洗用药液直接供应到回收配管，因此与将来自药液供应单元的药液作为清洗用药液经由基板等(基板或者模型基板)和处理杯而供应到回收配管的情况相比，能够提高清洗用药液的针对回收配管的供应效率，其结果，能够降低为替换成清洗用药液所需的清洗用药液的量。由此，能够提供一种能够防止或抑制清洗液进入到药液回收配管，并且能够降低清洗用药液的消耗量的回收配管清洗方法。本专利技术的第二方面提供一种基板处理装置，该基板处理装置包括：药液供应单元，其用于向基板供应基板处理中所使用的药液；处理杯，其接收供应到基板的药液；回收配管，其用于引导被所述处理杯接收的药液；药液回收配管，其用于回收引导至所述回收配管的药液；排液配管，其用于排出引导至所述回收配管的液体；切换单元，其用于将引导至所述回收配管的液体选择地向所述药液回收配管和所述排液配管引导；清洗液供应单元，其用于供应用于对所述回收配管内进行清洗的清洗液；清洗用药液供应单元，其具有清洗用药液供应配管，所述清洗用药液供应配管与所述回收配管相连接，并且向所述回收配管供应与需经由回收配管回收的所述药液相同种类的清洗用药液；控制装置，其用于控制所述药液供应单元、所述清洗用药液供应单元、所述切换单元以及所述清洗液供应单元。所述控制装置执行：配管清洗工序，通过向所述回收配管供应清洗液，并且将引导至所述回收配管的液体向上述排液配管引导，来用清洗液对所述回收配管内进行清洗；清洗用药液供应工序，在所述配管清洗工序后，为了将存在于所述回收配管内的清洗液替换为清洗用药液，将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，并且向所述回收配管供应来自所述清洗用药液供应配管的清洗用药液。根据该结构，在配管清洗工序中，在回收配管内的清洗中所使用的清洗液从回收配管引导至排液配管并被排出。在配管清洗工序后，来自清洗用药液供应配管的清洗用药液供应到回收配管，由此存在于回收配管内的清洗液被清洗用药液替换。包含清洗液的清洗用药液引导至排液配管。由此，通过在回收配管内的清洗中所使用的清洗液，来能够防止或抑制清洗液进入到药液回收配管。另外，由于将来自清洗用药液供应配管的清洗用药液直接供应到回收配管，因此与将来自药液供应单元的药液作为清洗用药液并经由基板等(基板或者模型基板)和处理杯而供应到回收配管的情况相比，能够提高清洗用药液的针对回收配管的的供应效率，其结果，能够降低为替换成清洗用药液所需的清洗用药液的量。由此，能够提供一种能够防止或抑制清洗液进入到药液回收配管，并且能够降低清洗用药液的消耗量的基板处理装置。本专利技术的一个实施方式中，所述回收配管也可以具有：上下方向部，其与所述处理杯相连接，并且沿上下方向延伸；横向部，其与所述上下方向部的下端相连接，并且沿横向延伸。在该情况下，所述清洗用药液供应配管也可以与所述横向部相连接。所述清洗用药液供应单元用于向上述横向部供应清洗用药液。在该结构中，存在于上下方向部内的液体被其自身重量向横向部移动。因此，在结束配管清洗工序开始经过了规定时间后，存在于回收配管内的大部分清洗液存在于横向部，而在上下方向部中几乎不会存在有清洗液。根据该结构，来自清洗用药液供应配管的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种回收配管清洗方法，其为对回收配管进行清洗的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯被引导至所述回收配管，所述回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，该回收配管清洗方法包括：配管清洗工序，通过向所述回收配管供应清洗液，并且将引导至所述回收配管的液体向与所述药液回收配管不同的排液配管引导，来用清洗液对所述回收配管内进行清洗，清洗用药液供应工序，在所述配管清洗工序后，为了将存在于所述回收配管内的清洗液替换为与所述药液相同种类的清洗用药液，将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，并且向所述回收配管供应来自与所述回收配管相连接的清洗用药液供应配管的清洗用药液。

【技术特征摘要】
2016.09.26 JP 2016-1871391.一种回收配管清洗方法，其为对回收配管进行清洗的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯被引导至所述回收配管，所述回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，该回收配管清洗方法包括：配管清洗工序，通过向所述回收配管供应清洗液，并且将引导至所述回收配管的液体向与所述药液回收配管不同的排液配管引导，来用清洗液对所述回收配管内进行清洗，清洗用药液供应工序，在所述配管清洗工序后，为了将存在于所述回收配管内的清洗液替换为与所述药液相同种类的清洗用药液，将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，并且向所述回收配管供应来自与所述回收配管相连接的清洗用药液供应配管的清洗用药液。2.一种基板处理装置，其包括：药液供应单元，用于向基板供应基板处理中所使用的药液；处理杯，接收供应到基板的药液；回收配管，引导被所述处理杯接收的药液；药液回收配管，用于回收引导至所述回收配管的药液；排液配管，用于排出引导至所述回收配管的液体；切换单元，用于将引导至所述回收配管的液体选择地向所述药液回收配管和所述排液配管引导；清洗液供应单元，供应用于对所述回收配管内清洗的清洗液；清洗用药液供应单元，具有清洗用药液供应配管，所述清洗用药液供应配管与所述回收配管相连接，并且向所述回收配管供应与需经由回收配管回收的所述药液相同种类的清洗用药液；控制装置，控制所述药液供应单元、所述清洗用药液供应单元、所述切换单元以及所述清洗液供应单元，其中，所述控制装置执行：配管清洗工序，通过向所述回收配管供应清洗液，并且将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，来用清洗液对所述回收配管内进行清洗；清洗用药液供应工序，在所述配管清洗工序后，为了将存在于所述回收配管内的清洗液替换为清洗用药液，将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，并且向所述回收配管供应来自所述清洗用药液供应配管的清洗用药液。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述回收配管具有：上下方向部，与所述处理杯相连接，并且沿上下方向延伸；...

【专利技术属性】
技术研发人员：土桥裕也，三浦淳靖，辻川裕贵，藤田和宏，池田昌秀，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP