喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施方式提供了喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置，需要通过保护膜绝缘电极，以使电极不与油墨接触。喷墨头包括：基板；喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；压电体，具有倾斜面和多个槽，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面；导电膜，端部从所述第一面以及所述倾斜面离开，且形成在所述压电体的槽的内面；以及绝缘膜，覆盖所述导电膜。

The manufacturing method of the inkjet head, the inkjet head and the inkjet recording device

The embodiment of the invention provides a manufacturing method of inkjet head, inkjet head and inkjet recording device. It needs to protect the film insulating electrode, so that the electrode does not touch with the ink. The inkjet head includes a substrate; a nozzle plate, the nozzle has ejected ink; piezoelectric body with inclined plane and a plurality of grooves, the inclined plane is arranged between the substrate and the nozzle plate, the first surface has a first width in a first direction, opposite to the first side surface in the first second direction is the second width of the first width is wide and the inclined plane of the connection from the first face side to the second side, a plurality of the groove is formed in a first direction, crossing the inclined plane; the conductive film, the end of the inclined plane from the first side and the left inner surface and the formation of the piezoelectric body in the groove; and the insulating film covering the conductive film.

【技术实现步骤摘要】
喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置
本专利技术的实施方式涉及喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置。
技术介绍
已知使墨滴附着在纸等的介质形成图像或文字的喷墨打印机。喷墨打印机包括根据图像信号喷出墨滴的喷墨头。喷墨头包括：喷嘴，喷出墨滴；油墨压力室，连通于喷嘴；以及压力产生元件，产生使压力室内的油墨从喷嘴喷出的压力。利用压电体作为压力产生元件。通过压电体动作的压电元件(Piezo元件)是将电压转换为力的电机械转换元件。利用压电元件的变形，使压力室内的油墨产生压力。通过油墨中产生的压力，从喷嘴喷出油墨。作为代表性的压电元件，使用锆钛酸铅(PZT)。已知使用压电体的剪切变形的喷墨头。该喷墨头包括：压电体，形成有成为油墨流路的槽；电极，形成在槽内面；喷嘴板，形成有喷出油墨的喷嘴；以及保护膜，覆盖电极。以喷嘴对应于形成在压电体的槽的方式，喷嘴板抵接于压电体上表面。电极构成为没有延伸到压电体的上表面。通过不使电极延伸到压电体上表面，抑制抵接于压电体的喷嘴板的变形。在上述喷墨头的构成中，覆盖电极的保护膜的绝缘性不充分。在现有的喷墨头中，形成在油墨流路内的电极保护膜的绝缘性有时会在压电体的端部降低。保护膜在压电体端部容易变薄。因此，绝缘性降低。喷出水性油墨的喷墨头需要通过保护膜绝缘电极，以使电极不接触油墨。若保护膜的绝缘性降低，则由于使压电体动作的电场，油墨引起电分解。为了防止油墨的电分解，压电体端部的电极需要绝缘性。
技术实现思路
实施方式涉及的喷墨头的制造方法包括：将具有第一面和与第一面相对的第二面的压电体的第二面固定于基板的工序；以形成比所述第一面宽的第二面的方式，在所述压电体上制作跨所述第一面和所述第二面的倾斜面的工序；形成横穿所述压电体的倾斜面的槽的工序；在所述槽的内面形成导电膜的工序；以所述导电膜的端部从所述槽的所述第一面以及所述倾斜面的边离开的方式，除去所述导电膜的工序；以及在所述导电膜上形成绝缘膜的工序。实施方式涉及的喷墨头包括：基板；喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；压电体，具有倾斜面和多个槽，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面；以及导电膜，端部从所述第一面以及所述倾斜面离开，且形成在所述压电体的槽的内面；以及绝缘膜，覆盖所述导电膜。实施方式涉及的喷墨头记录装置包括上述喷墨头。附图说明图1是概要性示出第一实施方式的喷墨打印机的侧视图。图2是示出第一实施方式的喷墨头的外观的立体图，图2的(2-A)是A-A截面图。图3是示出第一实施方式的喷墨头的构成的分解立体图。图4是示出第一实施方式的喷墨头的压电驱动器的构成的图。图5的(5-A)～(5-K)是示出第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。图6的(6-A)～(6-E)是示出第一实施方式的喷墨头的驱动方法的图。图7是作为参考例示出保护膜的构成的图。图8的(8-A)～(8-G)是示出第二实施方式的喷墨头的制造工序的图。具体实施方式下面，参照附图，对实施方式进行说明。在附图中，相同符号示出相同构成。记录介质S是素色的纸张、铜版纸、涂料纸等。油墨是将作为着色剂的染料或者颜料溶解或分散在溶剂中的液体。作为油墨溶剂，有水性、油性溶剂等。(第一实施方式)图1示出承载了实施方式的喷墨头(1A、1B、1C、1D)的喷墨打印机100的截面。喷墨头1A至1D(印刷部109)喷出青、品红、黄、黑的油墨，基于从喷墨打印机100的外部输入的图像信号，在记录介质S(纸张)上记录图像。喷墨打印机100具有箱型的箱体101。在箱体101的内部，从Y轴方向下部向上部，包括供纸盒102、上游输送路径104a、保持鼓105、印刷部109、下游输送路径104b、排纸托盘103。供纸盒102容纳用于在喷墨打印机100打印的纸张S。印刷部109包括四个青色用喷墨头1A、品红用喷墨头1B、黄色用喷墨头1C、黑色用喷墨头1D。喷墨头1A-1D是向被保持在保持鼓105上的纸张S喷出墨滴，记录图像的部分。供纸盒102容纳纸张S，设置在箱体101的下部。供纸辊106从供纸盒102逐张向上游输送路径104a输送纸张S。上游输送路径104a由输送辊对115a、115b和限制纸张S的输送方向的纸张引导板116构成。纸张S通过输送辊对115a、115b的旋转而被输送，通过输送辊对115b后，由纸张引导板116向保持鼓105的外周面输送。图1中的虚线箭头示出纸张S的引导路径。保持鼓105是在表面具有薄树脂制的绝缘层105a的铝制的圆筒。圆筒的周长比记录图像的纸张S的纵方向长度长，圆筒的轴方向长度长于纸张S的横方向的长度。通过电机118以一定的圆周速度在箭头R方向旋转。保持鼓105的绝缘层105a通过静电保持纸张S并旋转，将纸张S向印刷部109输送。沿绝缘层105a配置有使绝缘层105a带静电的带电辊108。带电辊108具有金属制的旋转轴，在旋转轴周围具有导电橡胶层。带电辊108连接于高电压产生电路114。导电橡胶层表面与保持鼓105的绝缘层105a接触，以带电辊108的圆周速度与保持鼓105相同的圆周速度旋转的方式通过电机驱动带电辊108。保持鼓105的绝缘层105a和带电辊108的导电橡胶层接触，形成夹持部(nip)。纸张S通过输送辊对115b以及纸张引导板116输送到夹持部。在即将向夹持部输送纸张S前，向带电辊108的金属轴施加高电压产生电路114产生的高电压。绝缘层105a因高电压而带电，被输送到夹持部的纸张S也带电，被静电吸附在保持鼓105的外周面上。被静电吸附的纸张S通过保持鼓105的旋转，被输送到印刷部109。印刷部109的喷墨头1A-1D的墨喷出面从保持鼓105的外周面离开1mm，固定于喷墨打印机100。各喷墨头1A-1D构成为在保持鼓105的轴方向(主扫描方向)长，在旋转方向(副扫描方向)短，在保持鼓105的圆周方向隔开间隔配置。喷墨头1A-1D为了形成图像而从喷嘴喷出被供给的油墨的一部分，将剩余的油墨排出至喷墨头外。回收排出的油墨，油墨再次被供给喷墨头。形成所谓的循环型喷墨头。将在后文叙述喷墨头1A-1D的详细结构。墨罐113是存储青油墨(油墨)的油墨容器。在墨罐113和喷墨头1A之间配置油墨循环装置120。油墨循环装置120由墨供给泵121、供给用墨罐122、第一压力调整部123、回收用墨罐124、第二压力调整部125、墨回收泵126构成。根据图像信号，从喷墨头1A喷出油墨。墨供给泵121将相当于喷出的油墨量的油墨从墨罐113供给到供给用墨罐122。供给用墨罐122存储油墨，穿过流路127供给到喷墨头1A。并且，墨罐122具备第一压力调整部123。回收用墨罐124存储从喷墨头1A通过流路128排出的油墨。并且，回收用墨罐124具备第二压力调整部125。墨回收泵126将回收用墨罐124存储的油墨输送给供给用墨罐122。喷墨头1A在重力方向(-Y方向)喷出墨滴。因此，待机时为了不使油墨从喷墨头1A漏出，需要将喷墨头1A的喷嘴内维持在相对于大气压为负压。第一压力调整部123和第二压力调整部125将油墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨头的制造方法，其特征在于，包括：将具有第一面和与第一面相对的第二面的压电体的第二面固定于基板的工序；以形成比所述第一面宽的第二面的方式，在所述压电体上制作跨所述第一面和所述第二面的倾斜面的工序；形成横穿所述压电体的倾斜面的槽的工序；在所述槽的内面形成导电膜的工序；以所述导电膜的端部从所述槽的所述第一面以及所述倾斜面的边离开的方式，除去所述导电膜的工序；以及在所述导电膜上形成绝缘膜的工序。

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1851191.一种喷墨头的制造方法，其特征在于，包括：将具有第一面和与第一面相对的第二面的压电体的第二面固定于基板的工序；以形成比所述第一面宽的第二面的方式，在所述压电体上制作跨所述第一面和所述第二面的倾斜面的工序；形成横穿所述压电体的倾斜面的槽的工序；在所述槽的内面形成导电膜的工序；以所述导电膜的端部从所述槽的所述第一面以及所述倾斜面的边离开的方式，除去所述导电膜的工序；以及在所述导电膜上形成绝缘膜的工序。2.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，通过倾斜面和多个槽形成所述压电体，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面。3.根据权利要求2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述压电体是第一压电体和第二压电体的层叠体，所述第一压电体在与所述第一方向正交的第二方向上分极，所述第二压电体在与所述第一压电体的分极方向的相反方向上分极。4.根据权利要求2或3所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，通过多个绝缘层形成所述绝缘膜。5.一种喷墨头，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：户塚贵之，
申请(专利权)人：东芝泰格有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP