一种全自动水平区熔车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种全自动水平区熔车，包括机架及设置在所述的机架上方的2个相互平行的支架，在2个所述的支架之间设置有石英管，在所述的石英管内侧设置有用于放置物料的石墨舟，在所述的机架上端面上设置有2个平行于石英管的导轨，在所述的机架上设置有能够沿着所述的导轨移动的AGV小车，在所述的支架之间设置有与所述的AGV小车相配合的馈电系统，在所述的支架上设置有与所述的AGV小车相配合的导引反射器，在所述的石英管外侧设置有区熔线圈，在所述的AGV小车上设置有用于固定所述的区熔线圈的立架。本实用新型专利技术能够用于改善现有的水平区熔炉区熔小车不方便控制的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动水平区熔车
本技术涉及金属提纯设备领域，具体来说，是指一种全自动水平区熔车。
技术介绍
区熔法又称Fz法，即悬浮区熔法。区熔法是利用热能在半导体棒料的一端产生一熔区，再熔接单晶籽晶。调节温度使熔区缓慢地向棒的另一端移动，通过整根棒料，生长成一根单晶，晶向与籽晶的相同。水平区熔法主要用于锗、GaAs等材料的提纯和单晶生长。由于一次区熔之后，材料的纯度仍然达不到半导体器件的纯度要求，所以要进行多次区熔，使杂质尽可能的集中到锭条两头，现有的区熔炉中，为了方便实现多次区熔，将区熔线圈安装在区熔小车上，使小车移动过程中，实现多次区熔，现有的区熔小车结构相对简单，不方便实现自动化操作。
技术实现思路
本技术的目的在于：提供一种全自动水平区熔车，用于改善现有的水平区熔炉区熔小车不方便自动控制的问题。本技术采用的技术方案如下：一种全自动水平区熔车，包括机架及设置在所述的机架上方的2个相互平行的支架，在2个所述的支架之间设置有石英管，在所述的石英管内侧设置有用于放置物料的石墨舟，在所述的机架上端面上设置有2个平行于石英管的导轨，在所述的机架上设置有能够沿着所述的导轨移动的AGV小车，在所述的支架之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动水平区熔车，包括机架(101)及设置在所述的机架(101)上方的2个相互平行的支架(102)，在2个所述的支架(102)之间设置有石英管(103)，在所述的石英管(103)内侧设置有用于放置物料的石墨舟，其特征在于：在所述的机架(101)上端面上设置有2个平行于石英管(103)的导轨(104)，在所述的机架(101)上设置有能够沿着所述的导轨(104)移动的AGV小车(105)，在所述的支架(102)之间设置有与所述的AGV小车(105)相配合的馈电系统(106)，在所述的支架(102)上设置有与所述的AGV小车(105)相配合的导引反射器(107)，在所述的石英管(103)外侧设置...

【技术特征摘要】
1.一种全自动水平区熔车，包括机架(101)及设置在所述的机架(101)上方的2个相互平行的支架(102)，在2个所述的支架(102)之间设置有石英管(103)，在所述的石英管(103)内侧设置有用于放置物料的石墨舟，其特征在于：在所述的机架(101)上端面上设置有2个平行于石英管(103)的导轨(104)，在所述的机架(101)上设置有能够沿着所述的导轨(104)移动的AGV小车(105)，在所述的支架(102)之间设置有与所述的AGV小车(105)相配合的馈电系统(106)，在所述的支架(102)上设置有与所述的AGV小车(105)相配合的导引反射器(107)，在所述的石英管(103)外侧设置有区熔线圈(108)，在所述的AGV小车(105)上设置有用于固定所述的区熔线圈(108)的立架(109)。2.根据权利要求1所述的一种全自动水平区熔车，其特征在于：所述的AGV小车(105)包括底盘(501)及设置在所述的底盘(501)下方的滚轮(502)，在所述的底盘(501)上设置有控...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小刚，
申请(专利权)人：峨眉山市元素新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51