一种高空间分辨的泵浦‑探测微区测量装置、系统及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高空间分辨的泵浦‑探测微区测量装置、系统及方法，装置包括：激光器、分光器、泵浦激光调节组件、探测激光调节组件、合束器、微区测量组件和光强探测组件；泵浦激光调节组件用于对两束激光中的一束进行调节，得到泵浦激光；探测激光调节组件用于对两束激光中的另一束进行调节，得到探测激光；合束器用于对泵浦激光和探测激光合进行合束；微区测量组件用于在测量前通过显微方式定位待测样品的测量位置，并聚焦泵浦激光和探测激光，对待测样品进行探测；光强探测组件用于探测探测激光的光强和待测样品的透射激光的光强。可提供高空间分辨率的待测样品微区光学图像和探测图像，具有良好的成像效果和线性效果等优点。

A pump high spatial resolution detection micro area measuring apparatus, system and method

The invention discloses a pump with high spatial resolution to detect micro area measuring apparatus, system and method, device includes a laser, optical splitter, laser adjusting component and a probe laser beam combiner, adjusting components, micro measurement component and light intensity detection module; pumped laser adjustment assembly for the two laser beams a bunch of adjust, get pumped laser; laser detection for adjusting component to another beam in two laser beams is adjusted, by detecting laser; beam combiner for pumping laser and detection of laser beam; micro measurement component used by measuring the position of micro positioning of measured samples before measurement and focused pump laser and probe laser, sample detection treatment; intensity detector assembly for the detection of light intensity of laser intensity and sample transmission laser. It can provide high spatial resolution of the sample microarea optical image and detection image, which has the advantages of good imaging effect and linear effect.

【技术实现步骤摘要】
一种高空间分辨的泵浦-探测微区测量装置、系统及方法
本专利技术涉及泵浦-探测领域，尤其涉及一种高空间分辨的泵浦-探测微区测量装置及系统，其被用在半导体材料及光学材料参数计量，光谱，相移色散计量和材料工程中，在半导体材料，特别是半导体材料的载流子输运特征可视化探测研究中。
技术介绍
瞬态光谱可以为我们提供稳态光谱所不能提供的材料载流子激发与弛豫过程信息。许多中间态的产生与湮灭必须借助瞬态光谱信息进行表征与确定。对半导体材料与光学材料而言，在泵浦激光的激励下，光生载流子的输运过程往往是超快的动力学过程，普通的稳态光谱方法难以捕捉，只能使用瞬态光谱的方式进行研究。具有优秀载流子输运特征的半导体材料被广泛运用于制造场效应晶体管（FET）、激光器、发光二极管（LED）等器件。随着激光锁模技术的发展，激光脉冲被压缩至飞秒量级。使用飞秒量级的超短脉冲激光，我们可以探测许多未知的物质内部变化的超快动力学过程。基于超短脉冲激光的瞬态吸收光谱的泵浦-探测技术为我们提供了研究物质内部变化的瞬态信息的强大工具，有助于帮助我们了解微观世界的更详细信息。4f系统是一种特殊的光学系统，当输入两束相干偏振光时，经过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高空间分辨的泵浦—探测微区测量装置，其特征在于，包括：激光器（1）、分光器（2）、泵浦激光调节组件、探测激光调节组件、合束器（13）、微区测量组件（14）和光强探测组件；所述激光器（1）用于产生激光；所述分光器（2）用于将所述激光分为两束；所述泵浦激光调节组件用于对所述两束激光中的一束进行调节，得到泵浦激光；所述探测激光调节组件用于对所述两束激光中的另一束进行调节，得到探测激光；所述合束器（13）用于对所述泵浦激光和探测激光合进行合束；所述微区测量组件（14）用于在测量前通过显微方式定位待测样品的测量位置，并聚焦所述泵浦激光和探测激光，对所述待测样品进行探测；所述光强探测组件用于探测所述探...

【技术特征摘要】
1.一种高空间分辨的泵浦—探测微区测量装置，其特征在于，包括：激光器（1）、分光器（2）、泵浦激光调节组件、探测激光调节组件、合束器（13）、微区测量组件（14）和光强探测组件；所述激光器（1）用于产生激光；所述分光器（2）用于将所述激光分为两束；所述泵浦激光调节组件用于对所述两束激光中的一束进行调节，得到泵浦激光；所述探测激光调节组件用于对所述两束激光中的另一束进行调节，得到探测激光；所述合束器（13）用于对所述泵浦激光和探测激光合进行合束；所述微区测量组件（14）用于在测量前通过显微方式定位待测样品的测量位置，并聚焦所述泵浦激光和探测激光，对所述待测样品进行探测；所述光强探测组件用于探测所述探测激光的光强和待测样品的透射激光的光强。2.根据权利要求1所述的高空间分辨的泵浦—探测微区测量装置，其特征在于：所述微区测量组件（14）包括4f系统（15）、电动载物台（16）和显微光学图像采集装置（17）；所述4f系统（15）用于在测量时对激光进行聚焦；所述电动载物台（16）用于安放待测样品，可在计算机（21）的控制下调节所述待测样品在测量光路上的位置；所述显微光学图像采集装置（17）用于在测量前对待测样品进行显微观测，以定位待测样品的测量区域。3.根据权利要求2所述的高空间分辨的泵浦—探测微区测量装置，其特征在于：所述泵浦激光调节组件包括依次设置在光路上的泵浦光频率调节组件、泵浦光脉冲频率调节组件；所述泵浦光频率调节组件用于将激光调节为具有特定波长的单色激光；所述泵浦光脉冲频率调节组件用于将激光调节为具有特定脉冲频率的激光。4.根据权利要求3所述的高空间分辨的泵浦—探测微区测量装置，其特征在于：所述泵浦光频率调节组件包括倍频晶体（3）、衰减片（4）和滤波片（5）。5.根据权利要求3所述的高空间分辨的泵浦—探测微区测量装置，其特征在于：所述探测激光调节组件包括依次设置在光路上的探测光频率调节组件、光程调节组件（9）和探测光扫描组件（10）；所述探测光频率调节组件用于将激光调节为具有特定波长的单色激光；所述光程调节组件（9）用于调节激光的光程；所述探测光扫描组件（...

【专利技术属性】
技术研发人员：江天，郝昊，韦可，李汉，沈超，郑鑫，程湘爱，许中杰，陈润泽，刘煜，阳东升，武庆雄，杨澜，张峻，赵杰，周军虎，王义之，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：湖南,43