制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件技术

本发明专利技术公开了制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件。具体的，本发明专利技术提出了一种制备柔性电化学器件的方法，包括：提供基底；在所述基底上形成柔性衬底；在所述柔性衬底上形成电极层；在所述电极层上形成多个液体微珠，多个所述液体微珠分散排列在所述电极层上；在多个所述液体微珠之间的间隙处形成柔性表层；去除所述液体微珠；去除所述基底，以便形成所述柔性电化学器件。由此，利用该方法可以通过简单的工艺制备所述柔性电化学器件，避免了人工操作对器件的影响，同时，该方法加工效率高且制备的柔性电化学器件表面形貌度高，性能优良。

Flexible electrochemical devices and flexible electrochemical devices

【技术实现步骤摘要】
制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件
本专利技术涉及微制造
，具体地，涉及制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件。
技术介绍
目前，柔性电化学器件因体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点被广泛应用于电子、医学、汽车和航空航天系统。例如，基于利用微细驻留气泡制备的柔性MEMS(MicroElectromechanicalSystem，微机电系统)蒙皮，可以贴附于航行体流线型曲面的表面，用于航行体减阻。其减阻原理是，通过微细电化学反应，电解水产生气泡，该气泡在航行体表面产生一层气膜，从而将液-固界面变为液-气-固界面，大大减小了航行体表面的摩擦阻力作用。然而，目前制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件仍有待改进。
技术实现思路
本申请是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识作出的：专利技术人发现，目前制备柔性MEMS减阻蒙皮的方法普遍比较复杂并且不利于大规模制造。最初制备柔性MEMS减阻蒙皮的方法中，微凹坑阵列是通过光刻和刻蚀形成的，这就要求制备柔性表层的材料能够拥有合适的刻蚀方法，而目前可选用的材料和刻蚀方法十分有限，且能够通过光刻、刻蚀工艺获得所述微凹坑阵列的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备柔性电化学器件的方法，其特征在于，包括：提供基底；在所述基底上形成柔性衬底；在所述柔性衬底上形成电极层；在所述电极层上形成多个液体微珠，多个所述液体微珠分散排列在所述电极层上；在多个所述液体微珠之间的间隙处形成柔性表层；去除所述液体微珠；去除所述基底，以便形成所述柔性电化学器件。

【技术特征摘要】
1.一种制备柔性电化学器件的方法，其特征在于，包括：提供基底；在所述基底上形成柔性衬底；在所述柔性衬底上形成电极层；在所述电极层上形成多个液体微珠，多个所述液体微珠分散排列在所述电极层上；在多个所述液体微珠之间的间隙处形成柔性表层；去除所述液体微珠；去除所述基底，以便形成所述柔性电化学器件。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述电极层上形成多个所述液体微珠是通过超声波震荡的方法实现的。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述液体微珠是由聚合物形成，所述聚合物与所述电极层的接触角大于90度。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔全存，刘桂礼，李东，樊夏辉，刘金，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：北京,11