【技术实现步骤摘要】
一种电子背散射衍射仪样品台
本技术涉及金属材料分析测试领域,尤其涉及一种电子背散射衍射仪样品台。
技术介绍
电子背散射衍射技术(EBSD)是针对晶体材料大面积区域进行逐点的晶体学取向信息的快速标定技术,能够重构统计微观组织结构和微织构等信息,因而在晶体材料研究领域得到了广泛应用。EBSD是以扫描电子显微镜为载体,由一个用以成像的荧光磷屏和一台用来摄取衍射图像的高灵敏度CCD数字相机组成。实验过程中,需将精细抛光后电解抛光或离子轰击的样品放置在70°预倾斜样品台上,进一步靠近BSE探头和EBSD探头至实验距离,之后采用高能电子束轰击呈70°样品表面,之后将轰击产生的衍射图像传输至终端计算机,从而确定晶体类型、取向、晶体间的夹角(位向差)、晶体粒度、晶界类型以及重位点阵晶界分布等特征。实验坐标系分为样品坐标系CS0(RD-TD-ND)和样品台坐标系CSm(Xm-Ym-Zm)。实验过程中要求样品坐标系要与样品台坐标系重合,X、Y方向稍有偏差就会导致测试数据Euler角出现误差,每个晶格绝对取向数据出现误差,即样品的RD方向取向数据和TD方向取向数据出现误差,会导致后续的微织构分析、面指数分析等等产生错误的结论。因此实验过程中对于样品的控制极为关键。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电子背散射衍射仪样品台,能够满足X、Y方向需同时精确测试的样品进行有标样的测试需求。本技术的技术方案是:一种电子背散射衍射仪样品台,包括底座、固定台、真空电机和旋转台;其中:所述固定台由所述底座进行支撑,固定台上设有固定面,所述固定面与底座呈70°夹角;所述固定台的固定面上开有凹槽,凹槽 ...
【技术保护点】
一种电子背散射衍射仪样品台,其特征在于:该样品台包括底座、固定台、真空电机和旋转台;其中:所述固定台由所述底座进行支撑,固定台上设有固定面,所述固定面与底座呈70°夹角;所述固定台的固定面上开有凹槽,凹槽用于安装并固定真空电机;所述真空电机上连接圆形旋转台,旋转台表面带有定位孔和基准线。
【技术特征摘要】
1.一种电子背散射衍射仪样品台,其特征在于:该样品台包括底座、固定台、真空电机和旋转台;其中:所述固定台由所述底座进行支撑,固定台上设有固定面,所述固定面与底座呈70°夹角;所述固定台的固定面上开有凹槽,凹槽用于安装并固定真空电机;所述真空电机上连接圆形旋转台,旋转台表面带有定位孔和基准线。2.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台,其特征在于:所述真空电机上的旋转台与所述固定面相平行。3.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台,其特征在于:所述真空电机与外部控制器相连接,外部控制器能够控制旋转台在所在平面进行0-360°旋转;通过外部控制器能够实现旋转台上的样品进行纵向和...
【专利技术属性】
技术研发人员:马广财,张重远,
申请(专利权)人:中国科学院金属研究所,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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