一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构制造技术
A sealing structure of a multi lacquer wire through high pressure electric furnace cover
The utility model discloses a sealing structure of a plurality of enameled wire through high pressure electric furnace cover, high pressure furnace cover is provided with a through hole, a coaxial stainless steel sleeve installation through hole, the outer wall of the sleeve closely matched with the inner wall of the through hole, a plurality of enameled wire through the sleeve, the sleeve between the inner cavity and a plurality of enameled wire use resin sealant. Enameled wire is coated with resin sealant has been removed as part of the film to avoid the bare wire at high temperature and high pressure gas leakage leads to the emergence of small gap between film and bare.
【技术实现步骤摘要】
一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构
本技术涉及一种密封结构，尤其涉及一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构。
技术介绍
在化合物半导体的研究和生产中，往往需要使用高气压电炉，其中电源和温度控制、测量的导线都必须由炉外引入。穿越高气压电炉盖的导线既要相互绝缘，又必须承受高达40kg/cm2的气压不漏气。目前，在压差不大、要求不严的场合，使用漆包线作为导线，用树脂密封可以达到要求，但是在高达4MPa以上的高气压电炉上，不能有丝毫漏气的情况下，现有技术还不能实现多根漆包线穿越高气压电炉盖。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构。实现本专利技术目的的技术方案是：一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构，高气压电炉盖设有通孔，通孔中安装有同轴不锈钢套筒，套筒外壁与通孔内壁紧密配合，多根漆包线从套筒中穿过，套筒内腔及多根漆包线之间使用树脂密封胶密封。漆包线被树脂密封胶包覆的部分为已经去掉漆膜的裸线。套筒外壁与通孔内壁之间设有若干道O型密封圈，套筒轴向一侧设有挡圈，挡圈直径大于套筒直径，挡圈压盖在高气压电炉盖外侧。树脂密封胶为环氧树脂密封胶，均对紫铜和不锈钢同时结合非常紧密，可选以下型号中的任意一种：JL-6605、JL-498，JL-812、JL-330、JL-114、JL-109AB、JL-6118、JL-6103、JL-767C、JL-767B、JL-767A、JL-528。本专利与现有技术相比具有的有益效果是：漆包线被树脂密封胶包覆部分为已经去掉漆膜的裸线，避免了在高温高压条件下，漆膜与裸线之间出现微小缝...
【技术保护点】
一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构，高气压电炉盖设有通孔，通孔中安装有同轴套筒，套筒外壁与通孔内壁紧密配合，多根漆包线从套筒中穿过，其特征在于，套筒内腔及多根漆包线之间使用树脂密封胶密封。
【技术特征摘要】
1.一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构，高气压电炉盖设有通孔，通孔中安装有同轴套筒，套筒外壁与通孔内壁紧密配合，多根漆包线从套筒中穿过，其特征在于，套筒内腔及多根漆包线之间使用树脂密封胶密封。2.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，套筒外壁与通孔内壁之间设有若干道密封圈。3.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，密封圈为O型密封圈。4.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，套筒材质为不锈钢。5.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，漆包线被树脂密封胶包覆的部分为已经去掉漆膜的裸线...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔印彬，
申请(专利权)人：南京金美镓业有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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