有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

公开了一种有机发光显示装置及其制造方法。所述有机发光显示装置包括：有机发光二极管，包括阳极和阴极；驱动晶体管，包括第一半导体层，其中，驱动晶体管电连接到有机发光二极管的阳极；控制晶体管，包括包含与第一半导体层不同的材料的第二半导体层，并被构造为控制驱动晶体管。第一半导体层包括第一沟道部以及第一接触部和第二接触部，第二半导体层包括第二沟道部以及第三接触部和第四接触部。第一接触部和第二接触部中的一个与第三接触部和第四接触部中的一个直接接触。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置及其制造方法本申请要求于2016年8月29日提交的第10-2016-0110171号韩国专利申请的优先权，通过引用将该韩国专利申请的公开内容全部包含于此。
在此公开的本专利技术构思涉及一种显示装置及其制造方法，更具体地，涉及一种在像素中使用两种类型的晶体管的有机发光装置及制造该有机发光装置的方法。
技术介绍
有机发光显示装置包括多个像素。每个像素包括有机发光二极管及用于控制有机发光二极管的电路单元。有机发光二极管包括阳极、阴极和设置在阳极与阴极之间的有机发光层。当对有机发光层施加比阈值电压大的电压时，有机发光二极管发光。换言之，有机发光层响应于电流来发光。电路单元至少包括控制晶体管、驱动晶体管和存储电容器。驱动晶体管和控制晶体管中的每个将半导体材料用作沟道层。例如，驱动晶体管和控制晶体管中的每个由相同的半导体材料形成。
技术实现思路
专利技术构思的示例性实施例提供了一种有机发光显示装置，所述有机发光显示装置包括：有机发光二极管，包括阳极和阴极；驱动晶体管，包括第一半导体层，其中，驱动晶体管电连接到有机发光二极管的阳极；控制晶体管，包括包含与第一半导体层不同的材料的第二半导体层，并被构造为控制驱动晶体管，其中，第一半导体层包括第一沟道部以及第一接触部和第二接触部，第二半导体层包括第二沟道部以及第三接触部和第四接触部，第一接触部和第二接触部中的一个与第三接触部和第四接触部中的一个直接接触。在专利技术构思的示例性实施例中，第一半导体层和第二半导体层设置在彼此不同的层上。在专利技术构思的示例性实施例中，有机发光显示装置还包括设置在第一半导体层和第二半导体层之间的层间绝缘层，其中，使第一接触部和第二接触部中的一个的一部分暴露的接触孔设置在层间绝缘层中，第三接触部和第四接触部中的一个通过接触孔与第一接触部和第二接触部中的一个直接接触。在专利技术构思的示例性实施例中，驱动晶体管包括第一控制电极、连接到第一接触部的第一输入电极和连接到第二接触部的第一输出电极，控制晶体管包括多个晶体管；所述多个晶体管中的至少一个晶体管包括第二控制电极、连接到第三接触部的输入电极和连接到第四接触部的输出电极。在专利技术构思的示例性实施例中，驱动晶体管的第一控制电极与第一半导体层叠置，所述多个晶体管中的第一晶体管的第二控制电极与第二半导体层叠置。在专利技术构思的示例性实施例中，有机发光显示装置还包括连接到驱动晶体管的存储电容器，其中，存储电容器包括第一电极和设置成面对第一电极的第二电极，其中，存储电容器的第一电极为驱动晶体管的第一控制电极。在专利技术构思的示例性实施例中，第二半导体层设置在层间绝缘层上，所述多个晶体管中的第一晶体管的第二控制电极设置成面对第二半导体层的第二沟道部。在专利技术构思的示例性实施例中，第一半导体层包括低温多晶硅，第二半导体层包括氧化物半导体。在专利技术构思的示例性实施例中，控制晶体管包括作为第二半导体层的氧化物半导体。在专利技术构思的示例性实施例中，驱动晶体管包括作为第一半导体层的多晶硅，驱动晶体管为P型晶体管或N型晶体管。在专利技术构思的示例性实施例中，有机发光显示装置还包括：数据线，被构造为接收数据信号；电源线，被构造为接收电源电压；扫描线，被构造为接收扫描信号；第一发光线，被构造为接收第一发光控制信号；第二发光线，被构造为接收第二发光控制信号；初始化线，被构造为接收初始化电压。在专利技术构思的示例性实施例中，控制晶体管包括第二晶体管、第三晶体管、第四晶体管、第五晶体管和第六晶体管。在专利技术构思的示例性实施例中，第二晶体管包括连接到扫描线的第二控制电极、在第一节点处连接到驱动晶体管的第一输入电极的第二输出电极以及在第三节点处连接到驱动晶体管的第一控制电极的第二输入电极；第三晶体管包括连接到第一发光线的第三控制电极、被构造为接收电源电压的第三输入电极以及在第一节点处连接到驱动晶体管的第一输入电极的第三输出电极；第四晶体管包括连接到扫描线的第四控制电极、连接到数据线的第四输入电极以及连接到第四节点的第四输出电极；第五晶体管包括连接到第二发光线的第五控制电极、连接到第四节点的第五输入电极以及连接到第二节点的第五输出电极；第六晶体管包括连接到扫描线的第六控制电极、连接到初始化线的第六输入电极以及连接到有机发光二极管的阳极的第六输出电极。在专利技术构思的示例性实施例中，有机发光显示装置还包括设置在第三节点和第四节点之间的存储电容器。在专利技术构思的示例性实施例中，驱动晶体管的第一接触部与第二晶体管和第三晶体管中的一个的第四接触部直接接触。在专利技术构思的示例性实施例中，驱动晶体管的第二接触部与第五晶体管和第六晶体管中的一个的第四接触部直接接触。在专利技术构思的示例性实施例中，第一半导体层的一部分与第二半导体层的一部分叠置。专利技术构思的示例性实施例提供了一种制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括：在基底上形成包括第一沟道部以及第一接触部和第二接触部的第一半导体层；在第一半导体层上形成层间绝缘层；在层间绝缘层上形成使第一接触部和第二接触部中的一个的一部分暴露的第一接触孔；在层间绝缘层上形成第二半导体层和第一控制电极，其中，第二半导体层包括第二沟道部以及第三接触部和第四接触部；在第二半导体层和第一控制电极上形成第一绝缘层；在第一绝缘层上形成第二控制电极；在第二控制电极上形成第二绝缘层；形成暴露第一接触部的一部分的第二接触孔和暴露第二接触部的一部分的第三接触孔并且形成暴露第三接触部的一部分的第四接触孔和暴露第四接触部的一部分的第五接触孔；在第二绝缘层上通过第二接触孔形成第一输入电极并且通过第三接触孔形成第一输出电极，其中，第一输入电极与第一接触部接触，第一输出电极与第二接触部接触；通过第四接触孔形成第二输入电极并且通过第五接触孔形成第二输出电极，其中，第二输入电极连接到第三接触部，第二输出电极连接到第四接触部。在专利技术构思的示例性实施例中，第一半导体层包括低温多晶硅，第二半导体层包括氧化物半导体。在专利技术构思的示例性实施例中，第一接触部至第四接触部包括n+杂质或p+杂质。在专利技术构思的示例性实施例中，所述方法还包括：形成存储电容器，存储电容器包括第一电极和设置成面对第一电极的第二电极，其中，第一控制电极用作存储电容器的第一电极。专利技术构思的示例性实施例提供了一种显示装置，所述显示装置包括：发光元件，包括第一端子和第二端子；第一晶体管，包括第一半导体层，其中，第一晶体管电连接到发光元件的第一端子；第二晶体管，包括包含与第一半导体层不同的材料的第二半导体层，并被构造为控制第一晶体管，其中，第一半导体层的第一接触部与第二半导体层的第二接触部直接接触。在专利技术构思的示例性实施例中，第一晶体管的输出端子通过第一接触部和第二接触部的直接连接电连接到第二晶体管的输出端子。在专利技术构思的示例性实施例中，发光元件为有机发光二极管。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解专利技术构思的示例性实施例，在附图中：图1是根据专利技术构思的示例性实施例的有机发光显示装置的框图；图2是根据专利技术构思的示例性实施例的像素的电路图；图3是示出根据专利技术构思的示例性实施例的图2中示出的像素的布局的平面图；图4A、图4B、图4C和图4D是示出根据专利技术构思的示例性实施例的图3中示出的第(k×i)个像素的制造顺序的平面图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光显示装置，所述有机发光显示装置包括：有机发光二极管，包括阳极和阴极；驱动晶体管，包括第一半导体层，其中，所述驱动晶体管电连接到所述有机发光二极管的所述阳极；控制晶体管，包括包含与所述第一半导体层不同的材料的第二半导体层，并被构造为控制所述驱动晶体管，其中，所述第一半导体层包括第一沟道部以及第一接触部和第二接触部，所述第二半导体层包括第二沟道部以及第三接触部和第四接触部，所述第一接触部和所述第二接触部中的一个与所述第三接触部和所述第四接触部中的一个直接接触。

【技术特征摘要】
2016.08.29 KR 10-2016-01101711.一种有机发光显示装置，所述有机发光显示装置包括：有机发光二极管，包括阳极和阴极；驱动晶体管，包括第一半导体层，其中，所述驱动晶体管电连接到所述有机发光二极管的所述阳极；控制晶体管，包括包含与所述第一半导体层不同的材料的第二半导体层，并被构造为控制所述驱动晶体管，其中，所述第一半导体层包括第一沟道部以及第一接触部和第二接触部，所述第二半导体层包括第二沟道部以及第三接触部和第四接触部，所述第一接触部和所述第二接触部中的一个与所述第三接触部和所述第四接触部中的一个直接接触。2.如权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述第一半导体层和所述第二半导体层设置在彼此不同的层上。3.如权利要求2所述的有机发光显示装置，所述有机发光显示装置还包括设置在所述第一半导体层和所述第二半导体层之间的层间绝缘层，其中，使所述第一接触部和所述第二接触部中的一个的一部分暴露的接触孔设置在所述层间绝缘层中，所述第三接触部和所述第四接触部中的一个通过所述接触孔与所述第一接触部和所述第二接触部中的一个直接接触。4.如权利要求3所述的有机发光显示装置，其中，所述驱动晶体管包括第一控制电极、连接到所述第一接触部的第一输入电极和连接到所述第二接触部的第一输出电极，所述控制晶体管包括多个晶体管；所述多个晶体管中的至少一个晶体管包括第二控制电极、连接到所述第三接触部的输入电极和连接到所述第四接触部的输出电极。5.如权利要求4所述的有机发光显示装置，其中，所述驱动晶体管的所述第一控制电极与所述第一半导体层叠置，所述多个晶体管中的第一晶体管的所述第二控制电极与所述第二半导体层叠置。6.如权利要求5所述的有机发光显示装置，所述有机发光显示装置还包括连接到所述驱动晶体管的存储电容器，其中，所述存储电容器包括第一电极和设置成面对所述第一电极的第二电极，其中，所述存...

【专利技术属性】
技术研发人员：金成焕，朴埈贤，申暻周，李安洙，田昺槿，蔡锺哲，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR