多头转向吸嘴装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多头转向吸嘴装置，其包含一机架、多个吸嘴模块、一驱动模块及一移动模块，吸嘴模块设于机架，每一吸嘴模块包含一壳体及一设于壳体中的吸嘴组件，驱动模块及移动模块设于机架，吸嘴模块连接受控于驱动模块，移动模块可选择性地组接并排列吸嘴模块，多头转向吸嘴装置用于半导体检测设备，吸嘴组件能吸取半导体芯片，特定位置的吸嘴模块的吸嘴组件能被驱动升降，使每二相邻吸嘴模块所吸取的半导体芯片间形成高低差，驱动模块能驱动吸嘴组件转向，使吸嘴模块分别吸取的半导体芯片能依序进行检测，进而提高半导体芯片的检测效率。

Multi head steering suction device

The invention discloses a multi nozzle steering device, which comprises a frame, a plurality of suction nozzle module, a drive module and a mobile module, suction nozzle module arranged on the machine frame, each suction nozzle module comprises a shell and a nozzle assembly is arranged in the shell body, drive module and mobile module are arranged on the machine frame, suction nozzle the connection module is controlled by the driving module and the mobile module can be selectively assembled and arranged in the suction nozzle module, multi steering nozzle device used for semiconductor testing equipment, semiconductor chip can absorb the nozzle assembly, suction nozzle module specific position of the nozzle assembly can be driven lifting, the semiconductor chip every two adjacent modules from the suction nozzle the height difference is formed between the drive module, can drive the nozzle assembly to the semiconductor chip module respectively from the suction nozzle can detect sequentially, and then improve the detection of semiconductor chip Efficiency.

【技术实现步骤摘要】
多头转向吸嘴装置
本专利技术涉及一种多头转向吸嘴装置，尤指一种应用于半导体检测设备中，用以吸取半导体芯片以进行外形检测的多头转向吸嘴装置。
技术介绍
半导体芯片的品质检测，会使用一半导体检测设备进行半导体芯片的检测，其中，该半导体检测设备包含一机台、一吸嘴装置及一摄像装置，该吸嘴装置可移动地设置于该机台上，该吸嘴装置包含一可被驱动垂直升降的吸嘴，该摄像装置设置于该检测设备的机台一侧，该摄像装置包含四个摄像件，该些摄像件圈围形成一四方形的检测空间，且该些摄像件皆面向该检测空间。当在进行所述半导体芯片的品质检测时，该吸嘴装置的吸嘴会被驱动移动至所述半导体芯片的上方，并会将所述半导体芯片吸起，并移动至该摄像装置的上方，接着所述吸嘴装置会将吸嘴向下移动，并使所述半导体芯片进入该检测空间，此时该些摄像件会撷取所述半导体芯片的影像，并搭配检测统检测该半导体芯片的外形是否符合标准。然而，目前应用于半导体芯片检测的半导体检测设备中，每次仅能检测一片半导体芯片，进而导致在进行大量的半导体芯片检测时，所需的检测时间冗长的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一多头转向吸嘴装置，其目的在于改善现今半导体检测设备每一次仅能对单一片半导体芯片进行检测，无法半导体芯片批量检测，而导致检测时间冗长的问题。为达成前述目的，本专利技术提供一种多头转向吸嘴装置，其包含：一机架，其界定有三维空间中相互垂直的X轴、Y轴及Z轴，该机架的底部具有一沿着X轴方向延伸的导轨部；多个吸嘴模块，其可沿着X轴移动地依序设置于该机架的导轨部上，每一吸嘴模块包含一壳体、一转向件及一吸嘴组件，该壳体内部形成一Z轴向延伸的组设空间以及一抽气通道，该壳体的后方形成一组接部，该抽气通道自壳体外表面朝内延伸而连通该组设空间，该转向件设置于该壳体上方，该吸嘴组件可沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，该吸嘴组件包含一吸气杆及一弹性件，该吸气杆可沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，并位于该组设空间内，该吸气杆的顶端伸出壳体顶部且连接受控于该转向件，该吸气杆内有吸气通道且底端具有一吸嘴，且该吸气杆中段具有一分隔部，该分隔部气密地连接组设空间的侧壁，且将该组设空间区隔出一第一气密空间及一第二气密空间，该第一气密空间位于该第二气密空间的上方，所述抽气通道连通该第一气密空间，且该吸气杆的吸嘴通过吸气杆内的吸气通道连通该第一气密空间，该弹性件设置于该壳体内，并位于该第一气密空间，该弹性件向下推抵该吸气杆，该些吸嘴模块区分为多个第一吸嘴模块及多个第二吸嘴模块，所述第一吸嘴模块及所述第二吸嘴模块呈交替排列，每一第二吸嘴模块的壳体内还形成一进气通道，该进气通道连通该第二吸嘴模块的第二气密空间，且该吸气杆的分隔部位于该抽气通道及该进气通道之间；一驱动模块，其设置于该机架上，该驱动模块包含一驱动组件及一平移杆，该驱动组件设置于该机架的一端，该平移杆可朝Y轴方向移动地设置于该机架的一侧，该平移杆连接受控于该驱动组件，该些吸嘴模块的转向件可滑移地连接受控于该平移杆，并控制所述吸气杆的转向；以及一移动模块，其设置于该机架上，并位于该导轨部后方，该移动模块包含一螺杆及一移动组件，该螺杆沿X轴方向枢设于该机架的导轨部后方，该移动组件可沿X轴方向移动地螺设于该螺杆上，该移动组件包含一外壳及一定位部，该外壳可移动地螺设于该螺杆上，该定位部设置于该外壳内，且该定位部可选择性组接于该些吸嘴模块的组接部。本专利技术多头转向吸嘴装置应用于一检测设备中，且连接于该检测设备的驱动机构上，所述检测设备包含一机台、一气压装置及一驱动装置及一摄像装置，该气压装置及驱动装置设置于该机台上，该气压装置包含一抽气模块及一进气模块，所述摄像装置包含二个摄像件，该二摄像件相对设置于机台中，并于该二摄像件的形成一检测空间，本专利技术多头转向吸嘴装置将其抽气通道连接该抽气模块，该多头转向吸嘴装置的进气通道及移动模块的移动组件皆连接进气模块，且该螺杆受控外接机台的驱动装置。当在进行半导体芯片的检测时，该多头转向吸嘴装置被驱动机构带动至预备位置，使该移动模块的螺杆连接该检测设备的机台上的驱动装置驱动，通过该移动组件可被驱动于该螺杆上移动，以定位部依序与该些吸嘴模块的组接部连接及脱离，并进行排列，使该些吸嘴模块之间形成间距，接着该些吸嘴模块可通过该气压装置对该抽气通道进行抽气，使该些吸嘴吸取半导体芯片后，再通过外部连接的气压装置分别通过该些第二吸嘴模块的进气通道对组设空间输入加压气体，使该些吸嘴组件的吸气杆向上移动，进而使该些第二吸嘴模块所吸取的半导体芯片与该些第一吸嘴模块所吸取的半导体芯片形成高低差。接着该检测设备会移动该多头转向吸嘴装置，使该些吸嘴模块所吸取的半导体芯片进入该摄像装置的检测空间内，以进行检测，该些吸嘴模块的吸气杆可通过该驱动模块驱动转向，该些半导体芯片会与该些吸气杆同步转向，使该摄像装置的该二摄像件可进行该些半导体芯片四侧面的检测。上述中，在进行半导体芯片的侧面的检测时，可通过该多头转向吸嘴装置同时进行多个半导体芯片的检测，其中，该移动模块可排列该些吸嘴模块，并通过在该些第二吸嘴模块的进气通道进气，使该些第二吸嘴模块与该些第一吸嘴模块所吸取的半导体芯片形成高低差，进而使驱动装置带动该些吸气杆转动时，该些半导体芯片不会相互干涉，可依序进行多个半导体芯片的检测作业，进而提高检测效率。优选地，该机架的导轨部包含一第一导轨及多个第二导轨，该第一导轨及所述第二导轨相互平行，所述吸嘴模块皆设置于该第一导轨及所述第二导轨上，该第一导轨具有一抵靠面，该抵靠面面向所述移动模块，每一吸嘴模块的组接部形成多个定位孔，且该组接部上枢设一定位单元，该定位单元的一端设有一止挡块，该止挡块抵靠该第一导轨的抵靠面，该定位单元相对该止挡块的另一端形成一按压端，且该定位单元与该组接部之间设有一弹力件，该弹力件位于该定位单元相对于该止挡块的另一端，该移动模块的定位部包含一推杆及多个定位杆，该推杆设置于该外壳内，并可选择性地对应所述吸嘴模块的定位单元的按压端，所述定位杆设置于该外壳内，并可选择性地对应所述吸嘴模块的所述定位孔，该推杆与该外壳之间，以及所述定位杆与该外壳之间皆设有一复位件。优选地，每一吸嘴模块的转向件具有一第一齿条，且每一吸嘴模块的吸气杆的顶端具有一转向齿轮，所述转向齿轮啮合于对应的转向件的第一齿条。优选地，每一吸嘴模块的转向件具有一第一齿条，且每一吸嘴模块的吸气杆的顶端具有一转向齿轮，所述转向齿轮啮合于对应的转向件的第一齿条。优选地，该驱动组件包含一驱动件、一驱动杆及二第二齿条，该驱动件设置于该机架的一侧，该驱动杆沿着X轴方向且可转动地设置于该机架的导轨部上，该驱动杆的二端分别设有一驱动齿轮，该驱动杆连接受控于该驱动件，该二第二齿条分别能够沿Y轴方向移动地设置于该机架的导轨部上，并分别啮合于该驱动杆的驱动齿轮上方，该二第二齿条的末端分别连接该平移杆的二端。附图说明图1：为本专利技术多头转向吸嘴装置的一种较佳实施例的立体外观示意图。图2：为本专利技术多头转向吸嘴装置的一种较佳实施例的另一视角的立体外观示意图。图3：为本专利技术多头转向吸嘴装置的一种较佳实施例的侧视平面示意图。图4：为本专利技术多头转向吸嘴装置的一种较佳实施例的第一吸嘴模块的剖面示意图。图5：为本专利技术多头转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多头转向吸嘴装置，其包含：一机架，其界定有三维空间中相互垂直的X轴、Y轴及Z轴，该机架的底部具有一沿着X轴方向延伸的导轨部；多个吸嘴模块，其能够沿着X轴移动地依序设置于该机架的导轨部上，每一吸嘴模块包含一壳体、一转向件及一吸嘴组件，该壳体内部形成一Z轴向延伸的组设空间以及一抽气通道，该壳体的后方形成一组接部，该抽气通道自壳体外表面朝内延伸而连通该组设空间，该转向件设置于该壳体上方，该吸嘴组件能够沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，该吸嘴组件包含一吸气杆及一弹性件，该吸气杆能够沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，并位于该组设空间内，该吸气杆的顶端伸出壳体顶部且连接受控于该转向件，该吸气杆内有吸气通道且底端具有一吸嘴，且该吸气杆中段具有一分隔部，该分隔部气密地连接组设空间的侧壁，且将该组设空间区隔出一第一气密空间及一第二气密空间，该第一气密空间位于该第二气密空间的上方，所述抽气通道连通该第一气密空间，且该吸气杆的吸嘴通过吸气杆内的吸气通道连通该第一气密空间，该弹性件设置于该壳体内，并位于该第一气密空间，该弹性件向下推抵该吸气杆，所述吸嘴模块区分为多个第一吸嘴模块及多个第二吸嘴模块，所述第一吸嘴模块及所述第二吸嘴模块呈交替排列，每一第二吸嘴模块的壳体内还形成一进气通道，该进气通道连通该第二吸嘴模块的第二气密空间，且该吸气杆的分隔部位于该抽气通道及该进气通道之间；一驱动模块，其设置于该机架上，该驱动模块包含一驱动组件及一平移杆，该驱动组件设置于该机架的一端，该平移杆能够朝Y轴方向移动地设置于该机架的一侧，该平移杆连接受控于该驱动组件，所述吸嘴模块的转向件可滑移地连接受控于该平移杆，并控制所述吸气杆的转向；以及一移动模块，其设置于该机架上，并位于该导轨部后方，该移动模块包含一螺杆及一移动组件，该螺杆沿X轴方向枢设于该机架的导轨部后方，该移动组件能够沿X轴方向移动地螺设于该螺杆上，该移动组件包含一外壳及一定位部，该外壳可移动地螺设于该螺杆上，该定位部设置于该外壳内，且该定位部能够选择性组接于所述吸嘴模块的组接部。...

【技术特征摘要】
2016.09.06 TW 1051287171.一种多头转向吸嘴装置，其包含：一机架，其界定有三维空间中相互垂直的X轴、Y轴及Z轴，该机架的底部具有一沿着X轴方向延伸的导轨部；多个吸嘴模块，其能够沿着X轴移动地依序设置于该机架的导轨部上，每一吸嘴模块包含一壳体、一转向件及一吸嘴组件，该壳体内部形成一Z轴向延伸的组设空间以及一抽气通道，该壳体的后方形成一组接部，该抽气通道自壳体外表面朝内延伸而连通该组设空间，该转向件设置于该壳体上方，该吸嘴组件能够沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，该吸嘴组件包含一吸气杆及一弹性件，该吸气杆能够沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，并位于该组设空间内，该吸气杆的顶端伸出壳体顶部且连接受控于该转向件，该吸气杆内有吸气通道且底端具有一吸嘴，且该吸气杆中段具有一分隔部，该分隔部气密地连接组设空间的侧壁，且将该组设空间区隔出一第一气密空间及一第二气密空间，该第一气密空间位于该第二气密空间的上方，所述抽气通道连通该第一气密空间，且该吸气杆的吸嘴通过吸气杆内的吸气通道连通该第一气密空间，该弹性件设置于该壳体内，并位于该第一气密空间，该弹性件向下推抵该吸气杆，所述吸嘴模块区分为多个第一吸嘴模块及多个第二吸嘴模块，所述第一吸嘴模块及所述第二吸嘴模块呈交替排列，每一第二吸嘴模块的壳体内还形成一进气通道，该进气通道连通该第二吸嘴模块的第二气密空间，且该吸气杆的分隔部位于该抽气通道及该进气通道之间；一驱动模块，其设置于该机架上，该驱动模块包含一驱动组件及一平移杆，该驱动组件设置于该机架的一端，该平移杆能够朝Y轴方向移动地设置于该机架的一侧，该平移杆连接受控于该驱动组件，所述吸嘴模块的转向件可滑移地连接受控于该平移杆，并控制所述吸气杆的转向；以及一移动模块，其设置于该机架上，并位于该导轨部后方，该移动模块包含一螺杆及一移动组件，该螺杆沿X轴方向枢设于该机架...

【专利技术属性】
技术研发人员：王裕贤，
申请(专利权)人：竑腾科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71