玻璃合成用流体供给装置制造方法及图纸

提供一种玻璃合成用流体供给装置，其在从停电等异常时进行恢复供电时等在使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。具有对反应容器(11)供给腐蚀性流体的腐蚀性流体供给线(L1)和在腐蚀性流体供给线(L1)设置的MFC(15)，在流过MFC(15)的腐蚀性流体的路径中，在比MFC(15)上游侧的腐蚀性流体供给线(L1)和比MFC(15)下游侧的腐蚀性流体供给线(L1)分别设置有通过电磁阀(16a、16c)进行操作的空气式操作阀(17a、17c)，空气式操作阀(17a、17c)全部是常闭型，在比MFC(15)下游侧设置的空气式操作阀(17c)的工作压力高于在比MFC(15)上游侧设置的空气式操作阀(17a)的工作压力。

Fluid supply device for glass synthesis

A liquid supply device for glass synthesis is provided, which can restore power supply when the power outage is abnormal and so on. When the air pressure of the air operated valve is lower than the appropriate range, it can also inhibit the deterioration of the piping or flow control device. With the reaction vessel (11) corrosive fluid supply line for corrosive fluids (L1) and in corrosive fluid supply line (L1) is MFC (15), MFC (15) in the flow path of the corrosive fluid, MFC (15) than in the corrosive fluid supply line upstream the ratio (L1) and MFC (15) corrosive fluid supply line downstream (L1) are respectively arranged by the electromagnetic valve (16a, 16c) air operated valve operation (17a, 17c), the air operated valve (17a, 17c) are normally closed, in the ratio of MFC (15) the air operated valve downstream side set (17c) of the working pressure is higher than MFC (15) than in the air operated valve upstream of the set (17a) working pressure.

【技术实现步骤摘要】
玻璃合成用流体供给装置
本专利技术涉及一种玻璃合成用流体供给装置。
技术介绍
已知一种玻璃合成用流体供给装置，其将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体、吹扫气体供给至玻璃合成装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2014－131946号公报例如，专利文献1中记载的玻璃合成用流体供给装置，在将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体、吹扫气体供给至玻璃合成装置的路径中设置有空气式操作阀。空气式操作阀根据所供给的空气压力进行阀的开闭，在空气压力大于或等于工作压力的情况下打开，在空气压力小于工作压力的情况下关闭。该空气式操作阀是常闭型(如果不作用空气压力，则维持关闭状态)。另外，常闭型的空气式操作阀在所供给的空气压力与工作压力是同等程度的情况下，由于空气式操作阀的个体差异等原因，有可能存在多个空气式操作阀中的仅一部分的常闭型的空气式操作阀成为打开状态。因此，在所供给的空气压力成为低状态的情况下，一部分的常闭型的空气式操作阀有时不打开。例如，如果与流量控制装置相比设置在下游的空气式操作阀打开、设置于上游的空气式操作阀关闭，则反应容器内、除害装置内的气体有可能向配管上游侧逆流，发生扩散。另一方面，对空气式操作阀的空气压力的供给是通过在空气压力供给路径中设置的电磁阀的开闭进行控制的。电磁阀的开闭被电气地控制，具有下述类型，即，在停电等没有电源供给的情况下，维持关闭状态的常闭型和维持打开状态的常开型。通常，在玻璃合成用流体供给装置中，关于在各路径中设置的对空气式操作阀进行控制的电磁阀，适当配置常闭型和常开型，在由于发生停电等异常而电源供给被切断的情况下，使得在流量控制装置前后的配管、流量控制装置中流动吹扫气体。但是，在从停电等异常时恢复供电时，有时使空气式操作阀工作的空气压力成为低于适当范围的状态，此时例如如上述所示，有可能发生反应容器内、除害装置内的气体向配管上游侧逆流、扩散等现象，配管或者流量控制装置的劣化防止变得不充分。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种玻璃合成用流体供给装置，该玻璃合成用流体供给装置即使在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。本专利技术的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。另外，本专利技术的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体；以及流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。另外，本专利技术的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其供给腐蚀性流体；吹扫气体供给线，其供给吹扫气体；汇流线，其是所述吹扫气体供给线和所述腐蚀性流体供给线汇流而成的；流量控制装置，其设置于所述汇流线；反应容器线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向反应容器；以及排放气体线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向除害装置，在所述腐蚀性流体供给线、所述吹扫气体供给线、所述反应容器线和所述排放气体线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常开型，设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常闭型，设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力，设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。专利技术的效果根据上述专利技术，即使在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置的概略结构的框图。标号的说明1玻璃合成用流体供给装置11反应容器12除害装置13腐蚀性流体供给部14吹扫气体供给部15流量控制装置(MFC)16a～16d电磁阀17a～17d空气式操作阀18流量节流阀L1腐蚀性流体供给线L2吹扫气体供给线L3汇流线L4反应容器线L5排放气体线具体实施方式(本专利技术的实施方式的说明)首先，列举本专利技术的实施方式而进行说明。本专利技术的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，(1)其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。根据上述结构，设置在与流量控制装置相比下游侧的空气式操作阀，具有比设置在与流量控制装置相比上游侧的空气式操作阀的工作压力高的工作压力，因此在使空气式操作阀工作的空气压力从低于适当范围的状态起逐渐增高的情况下，上游侧的空气式操作阀先打开，下游侧的空气式操作阀后打开。由此，能够防止在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，反应容器内的气体向配管上游侧逆流，发生扩散，因此能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。另外，本专利技术的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，(2)其具有：吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体；以及流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。根据上述结构，设置在与流量控制装置相比下游侧的空气式操作阀，具有比设置在与流量控制装置相比上游侧的空气式操作阀的工作压力高的工作压力，因此在使空气式操作阀工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。

【技术特征摘要】
2016.09.05 JP 2016-1726131.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。2.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体；以及流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操...

【专利技术属性】
技术研发人员：高城充，幅崎利已，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP