一种自由可调整式微纳米机加工平台制造技术

本发明专利技术公开了一种自由可调整式微纳米机加工平台，适用于微纳米平台的加工位置调整，属于机械结构设计技术领域。三根立柱沿周向竖直均匀布置在底座上，底层平台与滑块座通过支撑连杆连接，驱动电机的输出转轴与楔形齿轮连接；顶层平台与底层平台平行布置，顶层平台的底部设有环向齿条，环向齿条与楔形齿轮相啮合。本装置能够实现多自由度调节，保证顶层平台上的微纳米机加工试样多角度自由调节。本装置采用主动调节的方式，滑块座能够绕立柱进行一定范围内的周向和竖向调节，保证调整支撑连杆与底层平台之间的调节；驱动电机驱动楔形齿轮，楔形齿轮的渐变保证顶层平台的位置进行有效调整。本装置自动化程度高，调节过程平稳、高效。

A free adjustable micro nanoscale machining platform

The invention discloses a free adjustable micro nano machine processing platform, which is suitable for machining position adjustment of micro nano platform, and belongs to the technical field of mechanical structure design. The three columns along the circumferential direction is vertically and evenly disposed on the base, the bottom platform and a slider seat connected by a supporting rod, drive output shaft of motor is connected with the wedge gear; top platform and the bottom platform is arranged in parallel, the top platform is arranged at the bottom of the ring to the ring to the rack, rack and gear meshing wedge. The device can adjust the multi degree of freedom and ensure the multi angle free adjustment of the micro nanometers on the top level platform. The device adopts the active regulation, the sliding block can rotate around the column within a certain range of circumferential and vertical adjustment, ensure the adjusting between the support rod and the bottom platform; the drive motor drives the gear gear of the tapered wedge wedge, ensure the effective adjustment of the position of the top platform. This device has a high degree of automation, stable and efficient adjustment process.

【技术实现步骤摘要】
一种自由可调整式微纳米机加工平台
本专利技术涉及一种自由可调整式微纳米机加工平台，适用于微纳米平台的加工位置调整，属于机械结构设计

技术介绍
微纳米加工平台是一种提供微纳加工技术工艺，包括光刻、纳米压印、电子束蒸镀、湿法腐蚀、干法腐蚀、表面形貌测量，以及精细雕刻和简单的小型机加工等。现有的微纳米加工平台大多是固定的结构，当加工对象需要进行调整时候，往往采用在加工平台表面添加垫块或者调平结构进行二次调整，无形中是操作过程复杂化且不易保证加工质量；另外，在微纳米加工平台工作的时候，加工对象一般偏软，进行额外的加工位置调整容易导致加工对象出现不必要的破坏，加工质量得不到保证。因此，设计一种能够进行三维方向稳定调整的微纳米机加工平台非常必要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于设计了一种自由可调整式微纳米机加工平台，主要解决了微纳米机加工平台在加工过程中遇到加工位置的调整，通过该平台实现微纳米加工对象的位置合理调整。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为一种自由可调整式微纳米机加工平台，该微纳米机加工平台包括底座1、立柱2、滑块座3、支撑连杆4、底层平台5、顶层平台6、中心连接支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自由可调整式微纳米机加工平台，其特征在于：该微纳米机加工平台包括底座(1)、立柱(2)、滑块座(3)、支撑连杆(4)、底层平台(5)、顶层平台(6)、中心连接支撑柱(7)、驱动电机(8)、楔形齿轮(9)和环向齿条(10)；三根立柱(2)沿周向竖直均匀布置在底座(1)上，每根立柱(2)上套设有一个滑块座(3)；滑块座(3)能够沿立柱(2)进行竖直方向移动以及周向转动，底层平台(5)与滑块座(3)通过支撑连杆(4)连接；三根支撑连杆(4)沿周向对底层平台(5)进行支撑，三个驱动电机(8)均布在底层平台(5)上，驱动电机(8)的输出转轴与楔形齿轮(9)连接；顶层平台(6)与底层平台(5)平行布置...

【技术特征摘要】
1.一种自由可调整式微纳米机加工平台，其特征在于：该微纳米机加工平台包括底座(1)、立柱(2)、滑块座(3)、支撑连杆(4)、底层平台(5)、顶层平台(6)、中心连接支撑柱(7)、驱动电机(8)、楔形齿轮(9)和环向齿条(10)；三根立柱(2)沿周向竖直均匀布置在底座(1)上，每根立柱(2)上套设有一个滑块座(3)；滑块座(3)能够沿立柱(2)进行竖直方向移动以及周向转动，底层平台(5)与滑块座(3)通过支撑连杆(4)连接；三根支撑连杆(4)沿周向对底层平台(5)进行支撑，三个驱动电机(8)均布在底层平台(5)上，驱动电机(8)的输出转轴与楔形齿轮(9)连接；顶层平台(6)与底层平台(5)平行布置，顶层平台(6)与底层平台(5)中间设有中心连接支撑柱(7)；中心连接支撑柱(7)与顶层平台(6)固定，中心连接支撑柱(7)与底层平台(5)之间为滑动配合；顶层...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵小英，金志远，
申请(专利权)人：贵州理工学院，
类型：发明
国别省市：贵州,52