The invention relates to a coating machine, can prolong the service life of the vacuum pump comprises a base, wherein the base is provided with a rotary motor, are arranged on the rotating shaft, the rotating shaft is arranged in the vacuum pump, the vacuum pump is arranged on the upper end of the vacuum suction plate, vacuum suction slot is arranged on the upper end of the tray, the tray is through the shaft is connected with the thread tray, the tray cover is arranged on the upper part of the inner side of the upper end of the tray, the tray cover is provided with a clamping groove, a detachable cover tray, and the tray cover are connected through the card slot is arranged inside the storage tray and tray; hose, inclined baffle device comprises a storage tube, inclined baffle staggered up and down arrangement and gap, inclined baffle and air gap together form a curved channel. The invention can effectively avoid the rubber drops thrown off to the edge of the substrate and is sucked into the vacuum suction port, thereby blocking the vacuum suction port, causing the suction of the vacuum suction port to be insufficient, resulting in the phenomenon of flying flyer or the uniformity of the film.
【技术实现步骤摘要】
一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机
本专利技术涉及一种设备,属于匀胶
,更具体的说,本专利技术涉及一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机。
技术介绍
匀胶机又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们的原理是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上。但现有匀胶机托盘无法有效的阻挡胶液在甩动过程中渗入真空吸片口中,现有技术中基片与真空吸片口直接接触,匀胶机在高速旋转过程中,胶液受旋转离心力和表面张力的联合作用,被展开成一层薄膜,其中甩动过程中被甩出至基片边缘的胶滴,由于基片边缘与真空吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用,部分基片边缘的胶滴会沿着硅片的背面被吸入真空吸片口中,从而堵塞真空吸片口,造成真空吸片口吸力不足,从而造成“飞片”现象或造成胶液薄膜的均匀性变差。
技术实现思路
基于以上技术问题,本专利技术提供了一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,从而解决了以往胶液进入真空吸片口堵塞真空吸片口,造成真空吸片口吸力不足,从而造成“飞片”现象或胶液薄膜均匀性变差的技术问题。为解决以上技术问题,本专利技术采用的技术方案如下:一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,包括底座,所述底座中设有转动电机,底座上设有转轴,转轴内设有真空泵,真空泵上端设有真空吸片口,真空吸片口上端设有托盘,托盘下端通过螺纹与转轴连接,托盘上部设有托盘盖,托盘内部设有多个储胶管,每个储胶管内沿长度方向设有多个倾斜挡片,倾斜挡片上下交错排列并留有缺口,所述储胶管内通过倾斜挡片形成 ...
【技术保护点】
一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)中设有转动电机(2),底座(1)上设有转轴(4),转轴(4)内设有真空泵(3),真空泵(3)上端设有真空吸片口(11),真空吸片口(11)上端设有托盘(6),托盘(6)下端通过螺纹(5)与转轴(4)连接,托盘(6)上部设有托盘盖(8),托盘(6)内部设有多个储胶管(9),每个储胶管(9)内沿长度方向设有多个倾斜挡片(10),倾斜挡片(10)上下交错排列并留有缺口,所述储胶管(9)内通过倾斜挡片(10)形成曲线形的空气通道a(12);所述托盘(6)上端内侧设有卡槽(7),托盘盖(8)为可拆卸的盖体,且托盘盖(8)通过卡槽(7)与托盘(6)进行连接。
【技术特征摘要】
1.一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)中设有转动电机(2),底座(1)上设有转轴(4),转轴(4)内设有真空泵(3),真空泵(3)上端设有真空吸片口(11),真空吸片口(11)上端设有托盘(6),托盘(6)下端通过螺纹(5)与转轴(4)连接,托盘(6)上部设有托盘盖(8),托盘(6)内部设有多个储胶管(9),每个储胶管(9)内沿长度方向设有多个倾斜挡片(10),倾斜挡片(10)上下交错排列并留有缺口,所述储胶管(9)内通过倾斜挡片(10)形成曲线形的空气通道a(12);所述托盘(6)上端内侧设有卡槽(7),托盘盖(8)为...
【专利技术属性】
技术研发人员:章显红,
申请(专利权)人:成都融创智谷科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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