一种石墨烯基气体传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种新颖的基于石墨烯的气体传感器，形成一层复合石墨烯层，所述复合石墨烯层接触金属层的一侧形成有氧化锡颗粒层，所述复合石墨烯层不接触金属层的一侧形成金纳米颗粒，通过氧化锡颗粒和金纳米颗粒同时对石墨烯进行改性，并调整其电学性能，使其满足气体传感器的要求，进一步提升了传感器的灵敏度，另外多层结构更能充分利用接触待检测气体，使得传感器的稳定性得到了很大的提升。

A graphene based gas sensor

The present invention provides a novel gas sensor based on graphene, forming a layer of graphene composite layer, the composite graphene layer side contact metal layer formed with tin oxide particles, the composite graphene layer does not contact the side metal layer formed by gold nanoparticles, gold and tin oxide particles at the same time, graphene nano particles were modified, and adjust its electrical properties, which can meet the requirements of the gas sensor, further enhance the sensitivity of the sensor, the multilayer structure can make full use of the contact detecting gas, so that the sensor stability has been greatly improved.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯基气体传感器
本专利技术涉及一种传感器，具体涉及一种石墨烯基气体传感器。
技术介绍
气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置！气体传感器一般被归为化学传感器的一类，尽管这种归类不一定科学。“气体传感器”包括：半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器、固体电解质气体传感器等。石墨烯是一种由碳原子形成的蜂窝状平面薄膜，是一种只有一个原子层厚度的准二维材料，所以又叫做单原子层石墨。它的厚度大约为0.335μm，根据制备方式的不同而存在不同的起伏，通常在垂直方向的高度大约1μm左右，是除金刚石以外所有碳晶体的基本结构单元。石墨烯目前最有潜力的应用是成为硅的替代品，制造超微型晶体管，用来生产未来的超级计算机。用石墨烯取代硅，计算机处理器的运行速度将会快数百倍。另外，石墨烯几乎是完全透明的，只吸收2.3％的光。另一方面，它非常致密，即使是最小的气体分子也无法穿透。这些特征使得它非常适合作为透明电子产品的原料。目前石墨烯在气体传感器上的应用已经被广泛研究，但其中的潜力并没有被完全挖掘出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨烯基气体传感器，其特征在于，包含：硅基板；所述硅基板上形成一层二氧化硅绝缘层；所述二氧化硅绝缘层上形成一金属层，所述金属层包括金属柱阵列以及位于所述金属柱阵列两边的接触电极；在所述金属层形成一层复合石墨烯层，所述复合石墨烯层接触金属层的一侧形成有氧化锡颗粒层，所述复合石墨烯层不接触金属层的一侧形成金纳米颗粒；所述石墨烯复合层全部覆盖所述金属柱阵列并且至少部分覆盖两边的接触电极。

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯基气体传感器，其特征在于，包含：硅基板；所述硅基板上形成一层二氧化硅绝缘层；所述二氧化硅绝缘层上形成一金属层，所述金属层包括金属柱阵列以及位于所述金属柱阵列两边的接触电极；在所述金属层形成一层复合石墨烯层，所述复合石墨烯层接触金属层的一侧形成有氧化锡颗粒层，所述复合石墨烯层不接触金属层的一侧形成金纳米颗粒；所述石墨烯复合层全部覆盖所述金属柱阵列并且至少部分覆盖两边的接触电极。2.如权利要求1所述的石墨烯基气体传感器，其特征在于，所述复合石墨烯层制备方法是在铜基底上形成石墨烯层后通过蒸镀形成氧化锡颗粒层，然后将氧化锡颗粒层朝下转移到所述金属层上，再在石墨烯层上形成金纳米颗粒。3.如权利要求2所述的石墨烯基气体传感器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓敏，
申请(专利权)人：黄晓敏，
类型：发明
国别省市：广东,44