The utility model relates to a substrate cleaning field, including cleaning device, provided: the transmission assembly comprises a plurality of drive shaft juxtaposed in a first direction, for transmission to be cleaned; a spray assembly, at least two, are arranged in the upper part and the lower part of the transmission assembly; air knife assembly, at least two. Is opposite in the upper and lower part of the transmission assembly; the sealing component sealing bearing of the drive shaft, the upper surface of the seal assembly for slope. Through seal assembly, the bearing seal of supporting shaft is effectively prevented from polluting the lotion on the bearing, and the upper surface of the sealing component is inclined surface, and the washing liquid on the upper surface will drip automatically, which further ensures the sealing performance of the bearing. In addition, through the spray assembly and air knife assembly is arranged in a cleaning device, the parts needing to be cleaned in lotion after cleaning, remove the surface residual air dry lotion, ensure the cleaning effect of the parts to be cleaned.
【技术实现步骤摘要】
一种清洁装置
本技术涉及显示
,具体涉及在制造过程中涉及到的一种清洁装置。
技术介绍
在显示
,平板显示器具有完全平面化、轻、薄、省电等特点,符合未来图像显示器发展的必然趋势。目前主要的平板显示器包括:PDP(Plasmadisplaypanel)、LCD(Liquidcrystaldisplays)、FED(Fieldemissiondisplays)、OLED(Organiclight-emittingdiodedisplays)等,特别是OLED具有体积小、功耗低、制造成本相对较低和无辐射等特点,在当前的平板显示器市场已经占据了主导地位。在平板显示器的制备工艺中,基板的清洁度决定了显示器的光学性能以及加载在基板上的元件的性能与质量。清洗是一种去除工艺中的基板污染或微粒以提高产品良率的工艺技术,通过对基板的有效清洗,可以提高膜层间的粘附力。因此,对基板进行清洗的步骤决定了产品的良品率。现有技术中的清洗装置如图1所示,清洗装置包括箱体、两个喷淋结构1、以及传动轴2,该传动轴2用于实现基板3的传输。但是,该技术方案存在两方面的问题:(1)由于传动轴的轴承内有润滑油,喷淋液流经轴承时存在润滑油污染喷淋液的状况,而且轴承易被腐蚀损坏;(2)由于基板清洗后直接进入下一工序,基板表面存留的洗液,影响下一工序的质量。为解决上述第一个技术问题,现有技术中一般采用不锈钢轴与聚氯乙烯基座相对转动的解决方案。即聚氯乙烯基座设有不锈钢轴的安装孔,且基座孔内表面光滑,靠不锈钢轴与基座的转动,避免轴承出现污染清洗液的问题。但是,该技术方案存在传动可靠性、稳定性差,成本 ...
【技术保护点】
一种清洁装置,其特征在于,包括:传动组件,包括在第一方向上并排设置的若干传动轴,用于传输待清洗件;喷淋组件,至少为两个,分别相对设置在所述传动组件的上部和下部;风刀组件,至少为两个,分别相对设置在所述传动组件的上部和下部;支撑所述传动轴的轴承通过密封组件密封,所述密封组件的上表面为斜面。
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置,其特征在于,包括:传动组件,包括在第一方向上并排设置的若干传动轴,用于传输待清洗件;喷淋组件,至少为两个,分别相对设置在所述传动组件的上部和下部;风刀组件,至少为两个,分别相对设置在所述传动组件的上部和下部;支撑所述传动轴的轴承通过密封组件密封,所述密封组件的上表面为斜面。2.根据权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述喷淋组件包括:喷淋本体,平行所述传动轴设置的中空杆体,其至少一端部具有开口,所述喷淋本体靠近所述传动轴的一侧开设有若干通孔;喷头,通过所述通孔与所述喷淋本体连通。3.根据权利要求2所述的清洁装置,其特征在于,所述喷头倾斜设置在所述喷淋本体上,所述喷头与所述喷淋本体轴向之间的夹角为75°至85°。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:毛成飞,洪耀,沈艰,张民井,曹瑞丰,李晓波,
申请(专利权)人:枣庄维信诺电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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