The utility model relates to a connection verification tool for verifying a solid connection between two fluid processing components of a fluid processing system. A connection verification tool can include a measuring instrument part, which is fixed to the upper part of the first fluid processing component connected to the second fluid processing component to verify the solid connection between the two components. If the first fluid handling component is not firmly connected to the second fluid handling components which need extra torque to complete between the two components of the connection, the connection part of the measuring instrument verification tools will not fit in the above coupled to the second component of the first component.
【技术实现步骤摘要】
连接验证工具
本技术大体来说涉及用于流体处理系统的配件,且更特定来说涉及用于验证此类配件的连接的工具。
技术介绍
用于半导体应用的流体处理系统必须满足数个规范。其必须可与高度腐蚀性化学物质兼容,且其还必须能够维持在所述流体系统内流动的化学品的高纯度。流体处理系统中的各种流体处理组件之间的牢固连接对于避免流体处理系统中的泄漏是重要的。示范性流体处理组件可包含配件主体、螺母、盖、插入件及验证环。已认识到对于验证流体处理组件之间的牢固连接的需要。
技术实现思路
本技术针对于用于流体处理系统的配件,且更特定来说针对于用于验证此类配件的连接的工具。根据一些实施例,一种工具可包含测量仪部分,其包含第一臂、第二臂及横梁部件,所述横梁部件在所述第一臂与所述第二臂之间延伸且具有经定尺寸以对应于耦合到配件主体的配件部件的尺寸的宽度,使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时,所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方。根据另一实施例,一种验证连接的方法包含:至少部分地基于包含连接到配件主体的配件部件的配件的大小而选择连接验证工具,所述连接验证工具包含测量仪部分,所述测量仪部分具有第一臂、第二臂及在所述第一臂与所述第二臂之间延伸的横梁部件,其中在所述第一臂与所述第二臂之间界定间隙,所述间隙经定尺寸以对应于耦合到所述配件主体的所述配件部件的尺寸,使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时,所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方;将所述测量仪部分放置于连接到所述配件主体的所述配件部件上方;及当所述验证工具的所述测量仪部分配合于连接到所述配件主体的所述 ...
【技术保护点】
一种工具,其特征在于:测量仪部分,其包含第一臂、第二臂及横梁部件,所述横梁部件在所述第一臂与所述第二臂之间延伸且具有经定尺寸以对应于耦合到配件主体的配件部件的尺寸的宽度,使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时,所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方。
【技术特征摘要】
2016.06.22 US 62/353,2951.一种工具,其特征在于:测量仪部分,其包含第一臂、第二臂及横梁部件,所述横梁部件在所述第一臂与所述第二臂之间延伸且具有经定尺寸以对应于耦合到配件主体的配件部件的尺寸的宽度,使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时,所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方。2.根据权利要求1所述的工具,其特征在于所述第一臂及所述第二臂中的至少一者包含凹入部分。3.根据权利要求2所述的工具,其特征在于所述凹入部分是大体U形的。4.根据权利要求2所述的工具,其特征在于所述凹入部分是大体V形的。5.根据权利要求1所述的工具,其特征在于进一步包括耦合到所述测量仪部分的手柄。6....
【专利技术属性】
技术研发人员:迈克尔·施莱克尔,约翰·利斯,
申请(专利权)人:恩特格里斯公司,
类型:新型
国别省市:美国,US
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