具有活性钎焊的压力传感器制造技术
Pressure sensor with active brazing
\u672c\u53d1\u660e\u6d89\u53ca\u4e00\u79cd\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u5176\u5305\u62ec\u7ecf\u7531\u6d3b\u6027\u948e\u710a\u63a5\u5408\u90e8(7)\u8fde\u63a5\u5728\u4e00\u8d77\u7684\u4e24\u4e2a\u4e3b\u4f53\uff0c\u8be5\u6d3b\u6027\u948e\u710a\u63a5\u5408\u90e8(7)\u901a\u8fc7\u5bf9\u6d3b\u6027\u786c\u710a\u6599\u8fdb\u884c\u6d3b\u6027\u948e\u710a\u6765\u751f\u4ea7\uff0c\u8be5\u4e24\u4e2a\u4e3b\u4f53\u7279\u522b\u662f\u6d4b\u91cf\u819c(1)\uff0c\u5c24\u5176\u662f\u9676\u74f7\u6d4b\u91cf\u819c(1)\uff0c\u548c\u57fa\u7840\u4e3b\u4f53(3)\uff0c\u7279\u522b\u662f\u9676\u74f7\u57fa\u7840\u4e3b\u4f53(3)\uff0c\u6240\u8ff0\u6d4b\u91cf\u819c\u901a\u8fc7\u65bd\u52a0\u538b\u529b\u4e14\u7ecf\u53d7\u538b\u529b(p)\u800c\u53ef\u5f39\u6027\u53d8\u5f62\uff0c\u8be5\u6d4b\u91cf\u819c(1)\u548c\u57fa\u7840\u4e3b\u4f53(3)\u901a\u8fc7\u8fde\u63a5\u6d4b\u91cf\u819c(1)\u7684\u5916\u8fb9\u7f18(\u5305\u542b\u538b\u529b\u5ba4(5))\u4e0e\u57fa\u7840\u4e3b\u4f53(3)\u7684\u9762\u5411\u6d4b\u91cf\u819c(1)\u7684\u524d\u4fa7\u7684\u5916\u8fb9\u7f18\u7684\u6d3b\u6027\u948e\u710a\u63a5\u5408\u90e8(7)\u8fde\u63a5\uff0c\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\u7684\u6d4b\u91cf\u7279\u6027\u88ab\u6539\u8fdb\u5728\u4e8e\uff0c\u6d3b\u6027\u948e\u710a\u63a5\u5408\u90e8(7)\u5177\u6709\u53d6\u51b3\u4e8e\u6d3b\u6027\u948e\u710a\u63a5\u5408\u90e8(7)\u7684\u5ea6\u91cf\u548c\u4e3b\u4f53\u7684\u6750\u6599\uff0c\u5e76\u4e14\u9002\u914d\u4e8e\u81f3\u5c11\u4e00\u4e2a\u4e3b\u4f53\uff0c In particular, the thermal expansion coefficient of the thermal expansion coefficient of the membrane (1) is measured.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有活性钎焊的压力传感器本专利技术涉及一种压力传感器，该压力传感器具有经由活性钎焊接合部彼此连接的两个部件，该活性钎焊接合部通过利用活性硬焊料或钎焊料进行的活性硬焊或钎焊制造，本专利技术尤其是涉及具有可压力接触的、依赖于压力地可弹性变形的测量膜(尤其是陶瓷测量膜)和平台(尤其是陶瓷平台)的压力传感器，该测量膜和平台通过连接测量膜(其覆盖压力室)的外边缘与平台的端部的面向测量膜的外边缘的活性硬焊料或钎焊料的接合部而被连接。本专利技术还涉及用于制造这种压力传感器的方法。作为绝对压力传感器、相对压力传感器和压差传感器实现的压力传感器广泛地应用于工业测量技术的几乎所有部分中。EP490807A1描述了一种陶瓷压力传感器，其具有：-与压力可接触的依赖于压力地可弹性变形的陶瓷测量膜，-陶瓷平台，以及-将测量膜(其覆盖压力室)的外边缘与平台的端部的面向测量膜的外边缘连接的活性钎焊接合部。为了减少压力传感器内的热机械应力，尤其是在测量膜的区域中的热机械应力，对于活性钎焊接合部，优选地应用了具有与平台和测量膜的陶瓷的热膨胀系数匹配的热膨胀系数的活性硬焊料或钎焊料。为此，对于氧化铝陶瓷...
【技术保护点】
一种压力传感器，包括：‑经由活性钎焊接合部(7)彼此连接的两个部件，所述活性钎焊接合部(7)通过利用活性硬焊料或钎焊料进行的活性硬焊或钎焊制造，所述两个部件尤其是可接触压力(p)的、依赖于压力地可弹性变形的测量膜(1)，尤其是陶瓷测量膜(1)，和平台(3)，尤其是陶瓷平台(3)，所述测量膜(1)和所述平台(3)通过将覆盖压力室(5)的所述测量膜(1)的外边缘与所述平台(3)的端部的面向所述测量膜(1)的外边缘连接的活性钎焊接合部(7)连接，‑其中，所述活性钎焊接合部(7)具有取决于所述活性钎焊接合部(7)的尺寸和所述部件的材料并且与所述部件中的至少一个，尤其是所述测量膜(1...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.08 DE 102015108950.51.一种压力传感器，包括：-经由活性钎焊接合部(7)彼此连接的两个部件，所述活性钎焊接合部(7)通过利用活性硬焊料或钎焊料进行的活性硬焊或钎焊制造，所述两个部件尤其是可接触压力(p)的、依赖于压力地可弹性变形的测量膜(1)，尤其是陶瓷测量膜(1)，和平台(3)，尤其是陶瓷平台(3)，所述测量膜(1)和所述平台(3)通过将覆盖压力室(5)的所述测量膜(1)的外边缘与所述平台(3)的端部的面向所述测量膜(1)的外边缘连接的活性钎焊接合部(7)连接，-其中，所述活性钎焊接合部(7)具有取决于所述活性钎焊接合部(7)的尺寸和所述部件的材料并且与所述部件中的至少一个，尤其是所述测量膜(1)的热膨胀系数匹配的热膨胀系数。2.根据权利要求1所述的压力传感器，在该情形中，所述活性钎焊接合部(7)的热膨胀系数和匹配的部件，尤其是所述测量膜(1)的热膨胀系数之间的差异具有小于所述活性硬焊料或钎焊料的热膨胀系数与所述部件的热膨胀系数之间的差异的绝对值。3.根据权利要求1所述的压力传感器，其中-所述部件中的至少一个，尤其是所述测量膜(1)，或尤其是所述测量膜(1)和所述平台(3)，由氧化物陶瓷，尤其是氧化铝构成，并且-所述活性硬焊料或钎焊料包含锆、镍和钛。4.根据权利要求3所述的压力传感器，其中所述活性硬焊料或钎焊料包含铜和/或铝。5.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述活性钎焊接合部由具有组成Zr63Ni22Ti15、Zr60Ni8Ti2Cu20Al10、Zr54.5Ni8Ti7.5Cu20Al10、Zr47Ni35Ti18、Zr58Ni23Ti9Cu10、Zr52.5Ni14.6Ti5Cu17.9Al10、Zr43Ni33Ti24或Zr11Ni8Ti34Cu47的活性硬焊料或钎焊料生产。6.一种用于测量根据权利要求1所述的压力传感器的活性钎焊接合部(7)的热膨胀系数的装置，包括：-两个测量主体(19)，尤其是由所述压力传感器的匹配部件的材料构成的两个测量主体，--所述两个测量主体(19)经由活性钎焊接合部(7’)彼此连接，所述活性钎焊接合部(7’)由相同的活性硬焊料或钎焊料生产，具有待测量的膨胀系数的活性钎焊接合部(7)也由该相同的活性硬焊料或钎焊料生产，并且所述活性钎焊接合部(7’)具有与所述活性钎焊接合部(7)相同的尺寸，--所述两个测量主体(19)在相互面向的端部上具有电极(21)，其中所述电极(21)形成具有取决于其电极间隔的电容的电容器，所述电极间隔取决于所述活性钎焊接合部(7’)的依赖于温度的高度(h)，-加热装置(23)，以及-测量电路(25)，所述测量电路(25)连接到所述电极(21)，所述测量电路(25)测量在所述活性钎焊接合部(7’)的至少两个不同的温度下所述电容器的电容，并且基于其对所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)的依赖性，尤其是基于其对所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)的依赖性和测量的电容(C(T)、C(T0))的温度依赖性，尤其是取决于所述电极(21)的电极面积(A(T))的温度依赖性的测量的电容(C(T)、C(T0))的温度依赖性，确定所述活性钎焊接合部(7’)的热膨胀系数。7.根据权利要求6所述的装置，其中-所述电极(21)具有相同的构造其是圆盘形的，并且-所述电极(21)的电极面积(A(T))的温度依赖性基于所述电极(21)的依赖于温度的直径(d(T))被考虑，所述电极(21)的依赖于温度的直径(d(T))根据电极膨胀系数(αE)随温度近似线性地升高，--其中，所述电极膨胀系数(αE)尤其是基于利用根据权利要求6所述的两个装置执行的电容测量确定的电极膨胀系数(αE)，所述两个装置仅它们的电极(21)的直径不同。8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述电极(21)是盘形的并且具有与所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)相比小的盘厚度，尤其是比所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)小102的数量级的盘厚度。9.一种用于制造根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈亚斯·罗斯贝格，埃尔克·施密特，马库斯·雷滕迈尔，彼得·西格蒙德，乌塔·库恩，西蒙·保利，尼尔斯·波纳特，
申请(专利权)人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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