玻璃板的制造方法及其制造装置制造方法及图纸

在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。

Manufacturing method of glass plate and its manufacturing device

In the air inlet (26) and with the exhaust port (30) in the lower part of the structure (11) on the surface (14) and the upper structure (10) of the surface (13) arranged opposite formed on opposite the upper surface and the lower surface of the two sides (13, 14) treatment the space between each other (15), from the air inlet (16) and was ejected exhaust gas inhalation treatment (30) (5) to the glass plate for moving along the horizontal direction (3) of the surface (3a) etching process is performed, and the air inlet and outlet (26) (30) on the glass plate (3) is located in the direction of the moving position. Moreover, in the upper surface (14) of the lower structure (11), the highest surface level (22a) of the area from the exhaust port (30) to the gas supply port (26) is higher than the highest level upper surface part (18ab) of the downstream side area of the processing gas flow direction in the exhaust port (30).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃板的制造方法及其制造装置
本专利技术涉及具有使用氟化氢等处理气体来对玻璃板实施蚀刻处理的工序的玻璃板的制造方法及其制造装置。
技术介绍
众所周知，在平板显示器(FPD)、智能手机、平板型PC等移动设备、其他的各种电子器件等中组装有各种板厚、尺寸的玻璃板，其中，平板显示器以液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场发射显示器等为代表。在用于对作为这种最终产品的玻璃板进行制作的基础的玻璃板的制造工序中，可能产生因带静电而引起的问题。例如，在作业台上载置玻璃板而实施规定的处理时，可能产生因带静电而引起玻璃板贴附于作业面的状况。因此，在使完成规定的处理的玻璃板从作业台剥离时，可能导致该玻璃板的破损。作为上述问题的对策，正在推进如下的尝试：将氟化氢等处理气体喷涂于玻璃板而实施蚀刻处理，使该玻璃板的表面粗糙化，由此来解决上述的因带静电而引起的问题。作为该具体例，根据专利文献1，公开了如下的方案：在沿着一定的搬运路径搬运的玻璃板通过处理空间时，利用从喷嘴的喷出口喷出并被吸嘴的吸入口吸入的处理气体来对该玻璃板的下表面实施蚀刻处理。详细地说，在该文献公开的蚀刻装置中，在上部结构体(上侧的结构部)的下表面与下部结构体(下侧的结构部)的上表面彼此之间形成有用于对搬运中的玻璃板的下表面实施蚀刻处理的处理空间。在该情况下，上部结构体仅由顶板形成。另一方面，下部结构体通过将配置于玻璃板的搬运方向后侧(搬运路径的上游侧)的喷嘴、配置于玻璃板的搬运方向前侧(搬运路径的下游侧)的吸嘴、以及夹设于该两个喷嘴间的底板一体化而形成。而且，作为下部结构体的喷嘴、底板以及吸嘴的各上表面成为共面状态。因此，在下部结构体的不具有高低差的上表面形成有向处理空间喷出处理气体的喷出口和从处理空间吸入处理气体的吸入口。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2011/105331号
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在专利文献1公开的蚀刻装置中，下部结构体的上表面整个区域为不具有高低差的平面，因此，在处理空间中对玻璃板实施蚀刻处理时，产生以下所示的问题。即，在处理气体在处理空间中沿着玻璃板的下表面流动时，空气从处理气体的流动方向的上游侧和下游侧朝向下部结构体的上表面上的排气口流入。而且，来自上游侧的空气的流动方向与处理气体的流动方向相同，因此，来自上游侧的空气与处理气体汇合而沿着玻璃板的下表面流动。与此相对，来自下游侧的空气的流动方向与处理气体的流动方向相反，在处理空间中的处理气体的流动方向的下游端附近与处理气体一起被向排气口吸入。在该情况下，当下部结构体的上表面整个区域是不具有高低差的平面时，对来自上游侧的空气的流动施加的流通阻力(通路阻力)非常小。因此，大量的空气从上游侧向处理空间流入，使沿着玻璃板的下表面流动的处理气体稀化。其结果是，处理气体对玻璃板的下表面的粗糙化能力不足，难以实现符合要求的玻璃板的下表面的粗糙化，可能导致粗糙化处理发生不均匀等问题。需要说明的是，对于这样的问题，考虑增加处理气体的流量，但在这种单纯的方法中，绕到玻璃板的上表面侧的处理气体的流量不当地增加，可能发生玻璃板的上表面产生蚀刻缺陷等致命问题。根据以上的观点，本专利技术的课题在于，不使绕到玻璃板的上表面侧的处理气体的流量不当地增加，就能够提高处理气体对玻璃板的下表面的粗糙化能力。用于解决课题的方案为了解决上述课题而创造的本专利技术的方法是一种玻璃板的制造方法，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从供气口喷出并向排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使供气口与排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，该玻璃板的制造方法的特征在于，在下部结构体的上表面中，使从排气口至供气口为止的区域中的最高位的上表面部高于排气口的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部。在此，“沿着水平方向搬运的玻璃板”不仅包括玻璃板沿着非倾斜方向即水平方向搬运的情况，还包括玻璃板沿着相对于水平面以上下30°以下的角度倾斜的方向搬运的情况(以下相同)。另外，这些情况下的玻璃板的姿态不仅包括玻璃板相对于搬运方向的两侧方成为非倾斜状态的姿态，还包括玻璃板从搬运方向的一侧方相对于另一侧方以30°以下的角度成为倾斜状态的姿态(以下相同)。另外，“最高位的上表面部”是指在相应的区域中存在于最高的位置的上表面部(以下相同)。根据这样的结构，从供气口的处理气体流动方向上游侧被向排气口吸入的空气(简称为来自上游侧的空气)由从供气口至排气口为止的区域中的最高位的上表面部施加相对大的流通阻力(通路阻力)。与此相对，从排气口的处理气体流动方向下游侧被向排气口吸入的空气(简称为来自下游侧的空气)只是被施加相对小的流通阻力。在该情况下，来自上游侧的空气从供气口朝向上方喷出并沿着玻璃板的下表面流通而与被向排气口吸入的处理气体的流动汇合。该来自上游侧的空气的流量与下部结构体的上表面整个区域为平面的情况相比而减少，并且，远少于来自下游侧的空气的流量。因此，沿着玻璃板的下表面流动的处理气体不容易被与其汇合的来自上游侧的空气稀化。其结果是，处理气体对玻璃板的下表面的粗糙化能力提高，实现了符合要求的玻璃板的下表面的粗糙化，避免了粗糙化处理中产生不均匀等问题。而且，无需为了提高粗糙化能力而增加处理气体的流量，因此，绕到玻璃板的上表面侧的处理气体也不会增加流量。因此，能够避免玻璃板的上表面产生蚀刻缺陷的状况，并提高针对玻璃板的下表面的粗糙化能力。在上述的方法中也可以是，在下部结构体的上表面中，供气口的处理气体流动方向上游侧的区域中的最高位的上表面部高于排气口的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部。这样，来自上游侧的空气由从供气口至排气口为止的区域和供气口的上游侧的区域这两个区域中的最高位的上表面部施加相对大的流通阻力(通路阻力)。而且，能够使这两个区域中的最高位的上表面部彼此之间的间隙成为实质上的供气口，该实质上的供气口接近玻璃板的下表面。由此，也不用增加处理气体的流量，就能够得到提高处理气体对玻璃板的下表面的粗糙化能力这样的效果，因此，通过与已述的作用叠加的作用而使该效果倍增。在该情况下的方法中也可以是，在下部结构体的上表面中，使从排气口至供气口为止的区域中的最高位的上表面部与供气口的处理气体流动方向上游侧的区域中的最高位的上表面部为同一高度。这样，上述的两个区域中的最高位的上表面部为同一高度，因此，这两者的上表面部彼此之间的间隙即实质上的供气口有效地接近玻璃板的下表面。因此，能够有效地得到已述的叠加效果。另一方面，在上述的方法中也可以是，在下部结构体的上表面中，使从排气口至供气口为止的区域中的最高位的上表面部高于供气口的处理气体流动方向上游侧的区域中的最高位的上表面部。这样，由来自上游侧的空气与处理气体的流动汇合的区域中的最高位的上表面部不浪费地对来自上游侧的空气施加相对大的流通阻力(通路阻力)。因此，能够不浪费地得到与上述的方法所带来的效果实质上同等的效果。在该情况下的方法中也可以是，在下部结构体的上表面中，使排气口的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部与供气口的处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃板的制造方法，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从所述供气口喷出并向所述排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使所述供气口与所述排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，所述玻璃板的制造方法的特征在于，在所述下部结构体的上表面中，使从所述排气口至所述供气口为止的区域中的最高位的上表面部高于所述排气口的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.11 JP 2015-1797331.一种玻璃板的制造方法，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从所述供气口喷出并向所述排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使所述供气口与所述排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，所述玻璃板的制造方法的特征在于，在所述下部结构体的上表面中，使从所述排气口至所述供气口为止的区域中的最高位的上表面部高于所述排气口的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部。2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，在所述下部结构体的上表面中，使所述供气口的处理气体流动方向上游侧的区域中的最高位的上表面部高于所述排气口的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部。3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，在所述下部结构体的上表面中，使从所述排气口至所述供气口为止的区域中的最高位的上表面部与所述供气口的处理气体流动方向上游侧的区域中的最高位的上表面部为同一高度。4.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，在所述下部结构体...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥祐之，大野和宏，中塚弘树，岩田正和，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP