一种监测激光烧蚀效率的声学装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种监测激光烧蚀效率的声学装置，包括激光器、全反镜、示波器、麦克风、容器、聚焦镜和衰减片，所述全反镜倾斜安装于激光器的正前方，且激光器的光源发射口与全反镜的中部处于同一水平位置；所述衰减片安装有全反镜的正下方，且全反镜的中部与衰减片的中部处于同一垂线上；所述聚焦镜和容器从上到下依次设置在衰减片的正下方，且容器的内腔底部设置有烧蚀靶材；所述烧蚀靶材的中部与聚焦镜的中部处于同一垂线上；本实用新型专利技术监测激光烧蚀效率的声学装置，采用麦克风直接采集激光烧蚀产生的声音信号来实时监测烧蚀过程中产生的烧蚀压力，以及激光烧蚀效率。该方法操作简单，数据可靠，而且实现了实时监测。

An acoustic device for monitoring laser ablation efficiency

The utility model discloses a device for monitoring acoustic laser ablation efficiency, including laser, mirror, oscilloscope, microphone, container, a focusing mirror and a damping sheet the mirror tilt front mounted on the laser and the laser light source, the central emission port and a mirror at the same level position; the attenuation sheet is installed just below the mirror, the middle of the mirror and attenuation of the piece in the middle of the same vertical line; the focusing mirror and the container from top to bottom is arranged under the bottom of the inner cavity of the attenuator, and the container is arranged in central central ablation; and the focusing mirror the ablation target in the same vertical line; the acoustic device of the utility model monitoring laser ablation efficiency, using audio signal acquisition microphone directly produced by laser ablation to real-time monitoring in the ablation process The resulting ablative pressure and laser ablation efficiency. The method is simple in operation, reliable in data and real-time monitoring.

【技术实现步骤摘要】
一种监测激光烧蚀效率的声学装置
本技术涉及激光烧蚀测量
，具体为一种监测激光烧蚀效率的声学装置。
技术介绍
激光诱导液体物质产生击穿的物理过程是伴随着声、光、热、机械效应等一些列现象的复杂物理过程。当高功率激光聚焦于液体中时，若作用激光的能量密度超过液体的击穿阈值，则在聚焦区域内将首先发生光学击穿，随着产生高温高压等离子体，该等离子体吸收后续激光能量对外膨胀，形成初期以超音速传播的冲击波，这一冲击波在传播一段距离后，约有大半的冲击波能量就耗散到周围液体中，直至最终衰减为声波。作为一种新的激发声波的方法，其具有远程激发、声源级别高、声脉冲窄、频谱宽等优点，在水下目标探测方面有极高的时间、空间分辨率，具有广泛的工程应用前景。激光烧蚀液体覆盖的固体衬底材料的相关研究在表明处理、微处理、材料构造等材料领域受到很大的关注。研究表明在液体覆盖情况下，激光脉冲的烧蚀效率能大幅度提高。但在工业中，首先面临的问题是如何实时监测激光的烧蚀效率问题。在本工作中，在实验上测量了激光烧蚀水层覆盖下的烧蚀压力和烧蚀耦合系数。通过声学监测方法实现了激光烧蚀效率的实时监测，建立了声学信号大小与烧蚀效率间的关系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种监测激光烧蚀效率的声学装置，包括激光器（1）、全反镜（2）、示波器（3）、麦克风（4）、容器（5）、聚焦镜（6）和衰减片（7），其特征在于：所述全反镜（2）倾斜安装于激光器（1）的正前方，且激光器（1）的光源发射口与全反镜（2）的中部处于同一水平位置；所述衰减片（7）安装有全反镜（2）的正下方，且全反镜（2）的中部与衰减片（7）的中部处于同一垂线上；所述聚焦镜（6）和容器（5）从上到下依次设置在衰减片（7）的正下方，且容器（5）的内腔底部设置有烧蚀靶材（8）；所述烧蚀靶材（8）的中部与聚焦镜（6）的中部处于同一垂线上；所述麦克风（4）设置在容器（5）开口的边缘处，且麦克风（4）通过导线（9...

【技术特征摘要】
1.一种监测激光烧蚀效率的声学装置，包括激光器（1）、全反镜（2）、示波器（3）、麦克风（4）、容器（5）、聚焦镜（6）和衰减片（7），其特征在于：所述全反镜（2）倾斜安装于激光器（1）的正前方，且激光器（1）的光源发射口与全反镜（2）的中部处于同一水平位置；所述衰减片（7）安装有全反镜（2）的正下方，且全反镜（2）的中部与衰减片（7）的中部处于同一垂线上；所述聚焦镜（6）和容器（5）从上到下依次设置在衰减片（7）的正下方，且容器（5）的内腔底部设置有烧蚀靶材（8）；所述烧蚀靶材（8）的中部...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐婧，张思齐，汤伟冲，
申请(专利权)人：中国地质大学北京，
类型：新型
国别省市：北京,11