像素界定层及其制备方法和应用技术

技术编号:17266917 阅读:47 留言:0更新日期:2018-02-14 15:01
本发明专利技术一种像素界定层及其制备方法和应用,包括如下步骤:S1、获取基板,所述基板具有图形化像素电极;S2、于所述基板上沉积一层负性光阻薄膜;S3、获取光照掩板,所述光照掩板与所述负性光阻薄膜之间设有间隔,所述间隔为50‑200μm;S4、利用所述光照掩板对所述负性光阻薄膜进行曝光,曝光剂量为100‑300mj/cm

Pixel definition layer and its preparation method and Application

The invention relates to a pixel defining layer and a preparation method and application thereof, which comprises the following steps: S1, get the substrate, the substrate has a pixel electrode S2 graphic; on the substrate, depositing a layer of negative photoresist film; S3, get the light mask, the interval is arranged between the light mask plate and the negative photoresist film, the interval is 50 200 m; S4, using the light mask on the negative photoresist film exposure, exposure dose of 100 300mj/cm

【技术实现步骤摘要】
像素界定层及其制备方法和应用
本专利技术涉及发光器件
,特别是涉及一种像素界定层及其制备方法和应用。
技术介绍
在信息社会的当代,作为可视信息传输媒介的显示器的重要性在进一步加强,为了在未来占据主导地位,显示器正朝着更轻、更薄、更低能耗、更低成本以及更好图像质量的趋势发展。有机电致发光二极管(OLED)由于其具有自发光、反应快、视角广、亮度高、轻薄等优点;量子点发光二极管(QLED)由于其光色纯度高、发光量子效率高、发光颜色易调等优点,成为了目前显示领域发展的两个主要方向。目前,不论是OLED还是QLED,用作显示面板的发光像素单元时,都需要在像素单元制作像素界定层(bank),定义发光区以及沉积各功能薄膜。对于蒸镀工艺或者湿法工艺制作OLED或QLED,像素bank一般要求具有小角度tape角,有利于后期膜层的沉积。像素bank一般采用光阻材料制备,负性光阻材料由于其成本相对于正性光阻材料要低,从降低成本的角度考虑,一般会采用负性光阻来制作像素bank,然而采用负性光阻制作像素bank时,容易形成倒角,如图1所示,因为负性光阻曝光时,由于上层薄膜接受的曝光量相对要大于下层薄膜本文档来自技高网...
像素界定层及其制备方法和应用

【技术保护点】
一种像素界定层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、获取基板,所述基板具有图形化像素电极;S2、于所述基板上沉积一层负性光阻薄膜;S3、获取光照掩板,所述光照掩板设有遮蔽区域和光照区域,所述光照掩板与所述负性光阻薄膜之间设有间隔,所述间隔为50‑200μm;S4、利用所述光照掩板对所述负性光阻薄膜进行曝光,曝光剂量为100‑300mj/cm

【技术特征摘要】
1.一种像素界定层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、获取基板,所述基板具有图形化像素电极;S2、于所述基板上沉积一层负性光阻薄膜;S3、获取光照掩板,所述光照掩板设有遮蔽区域和光照区域,所述光照掩板与所述负性光阻薄膜之间设有间隔,所述间隔为50-200μm;S4、利用所述光照掩板对所述负性光阻薄膜进行曝光,曝光剂量为100-300mj/cm2;S5、对曝光后的所述负性光阻薄膜进行显影操作,去除未曝光的所述负性光阻薄膜,形成所述像素界定层。2.根据权利要求1所述的像素界定层的制备方法,其特征在于,所述光照掩板与所述负性光阻薄膜之间的间隔为80-120μm。3.根据权利要求1所述的像素界定层的制备方法,其特征在于,步骤S2中,所述负性光阻薄膜还进行了低温预烘,温度为...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈亚文
申请(专利权)人:广东聚华印刷显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1