The invention discloses a constant rate heating oven, including air-conditioning cabinet, cabinet and cabinet, the cabinet is located between the air curing cabinet, air conditioning cabinet is provided with a connected forced fan, air filtration group, heat exchange group, within the cabinet is provided with a control system, the upper baking work cabinet with exhaust the air system, the middle part is provided with a circulating fan and a heating system, the lower baking work area, side exhaust system through the heat exchange pipes connected to the exhaust system of the group, the other side is connected with the air inlet pipe, the middle and the end of the air inlet pipe of the baking cabinet in the baking work in a connected workspace sense the thermostat, the air inlet pipe is provided with an air inlet temperature sensor, throttle position exhaust system with throttle positioner, working temperature sensor, intake air temperature sensor, throttle positioner sense and exhaust system of driving motor Connect to the control system. The invention can achieve high stable equal rate heating and cooling, and improve the baking quality.
【技术实现步骤摘要】
等速率升降温烘箱
本专利技术涉及烘烤设备领域,尤其涉及一种等速率升降温烘箱。
技术介绍
传统的半导体行业中晶圆油墨涂布后固化,液晶显示屏玻璃清洗烘干、线路烤固等精密制程所使用的烘烤设备的工作区、进风区和排风区均未设置感温装置,从而不能稳定的等速升温、降温,导致烘烤质量不高。
技术实现思路
本专利技术的目的是,提供一种等速率升降温烘箱,可实现高稳定的等速率升温和降温,等速率数值可自动调整,升温和降温等速率智能自动控制,提高烘烤质量。为实现该目的,提供了一种等速率升降温烘箱,包括冷气柜、电控柜和位于冷气柜、电控柜之间的烘烤工作柜,冷气柜内设有依次连接的强制进风机、空气过滤组、热交换组,电控柜内设有控制系统,烘烤工作柜内的上部设有排风系统、中部设有循环风机和加热系统、下部为烘烤工作区,排风系统一侧通过管道连接至热交换组,排风系统的另一侧连接有进风管,进风管的末端与烘烤工作柜内的中部连通,所述烘烤工作区内设有工作区感温器,进风管内设有进气感温器,排风系统的风门处设有风门定位器,工作区感温器、进气感温器、风门定位器、排风系统的风门驱动马达均连接至控制系统。优选地,所述热交换组还连接有冰水进出口。优选地,所述热交换组上设有冷却水循环比例阀,冷却水循环比例阀连接至控制系统。本专利技术与现有技术相比,其有益效果在于:本专利技术可实现高稳定的等速率升温和降温,等速率数值可自动调整,升温和降温等速率智能自动控制,提高烘烤质量。附图说明图1为本专利技术的等速率升降温烘箱的立体示意图。图2为本专利技术的等速率升降温烘箱的内部示意图。图3为本专利技术的排风系统的示意图。具体实施方式下面 ...
【技术保护点】
一种等速率升降温烘箱,包括冷气柜、电控柜和位于冷气柜、电控柜之间的烘烤工作柜,冷气柜内设有依次连接的强制进风机、空气过滤组、热交换组,电控柜内设有控制系统,烘烤工作柜内的上部设有排风系统、中部设有循环风机和加热系统、下部为烘烤工作区,排风系统一侧通过管道连接至热交换组,排风系统的另一侧连接有进风管,进风管的末端与烘烤工作柜内的中部连通,其特征在于:所述烘烤工作区内设有工作区感温器,进风管内设有进气感温器,排风系统的风门处设有风门定位器,工作区感温器、进气感温器、风门定位器、排风系统的风门驱动马达均连接至控制系统。
【技术特征摘要】
1.一种等速率升降温烘箱,包括冷气柜、电控柜和位于冷气柜、电控柜之间的烘烤工作柜,冷气柜内设有依次连接的强制进风机、空气过滤组、热交换组,电控柜内设有控制系统,烘烤工作柜内的上部设有排风系统、中部设有循环风机和加热系统、下部为烘烤工作区,排风系统一侧通过管道连接至热交换组,排风系统的另一侧连接有进风管,进风管的末端与烘烤工作柜内的中部连通,其特征在于:所述烘烤工作区...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈奕超,马忠奎,
申请(专利权)人:志圣科技广州有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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