内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪制造技术

本发明专利技术公开内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪，包括半球谐振壳，半球谐振壳外表面上方设有外层曲面立体电极，半球谐振壳内表面下方设有内层曲面立体电极，外层曲面立体电极与内层曲面立体电极的平面基底之间通过密封垫密封连接；外层曲面立体电极顶部还设有盖帽，盖帽上设有一组与外层曲面立体电极一一对应的引线孔；外层曲面立体电极和内层曲面立体电极一一对应或者相互交错的排布在半球谐振壳的四周，并分别形成外电极电容间隙和内电极电容间隙，本发明专利技术同时采用内外两组曲面立体电极进行陀螺的驱动和信号检测，与谐振壳体的电极间隙均匀一致，传感面积大，可以充分感知谐振器壳体结构的振动信息，有利于陀螺利用电容差分技术进行测试。

Micro hemispherical gyroscope with internal and external hyperbolic surface stereoscopic electrodes

The invention discloses a micro hemisphere gyroscope and hyperboloid three-dimensional electrode, including hemispherical resonator shell, the outer surface of three-dimensional electrode is the hemispherical resonator shell above the surface, the inner surface of hemispherical resonator is arranged below the inner surface of three-dimensional electrode, between the electrode and the outer surface of three-dimensional planar substrate surface inner three-dimensional electrode connected by the gasket; the outer surface of stereo the top electrode is also provided with a cap, the cap is provided with a pin hole and the outer surface of the three-dimensional electrode group corresponding to the arrangement of outer surface; around the electrode and the inner electrode surface stereo stereo correspondence or interlaced in the hemispherical resonator shell, and the outer electrode and the inner electrode capacitance capacitor gap gap, drive and signal detection of the invention at the same time uses two groups of curved solid electrode gyroscope, and electrode gap resonant shell were Uniform and large sensing area can fully perceive the vibration information of the shell structure of the resonator, which is helpful for the gyroscope to use the capacitance differential technique to test it.

【技术实现步骤摘要】
内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪
本专利技术涉及微机械电子
，具体是一种内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪。
技术介绍
陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件，在姿态控制和导航定位等领域有着非常重要的应用。随着消费电子、工业机器人、车辆、船舶导航、无人机制造等工业的发展，对陀螺仪的需求也逐渐向着低成本、小体积、高精度、高可靠性的方向发展。微机电陀螺，采用微纳加工技术，具有批量生产成本低、一致性好的特点，已成为陀螺领域中的研究热点。微半球陀螺仪因其自身的抗冲击能力强，具有做成高精度陀螺仪的潜力，已经成为微陀螺领域的研究热点。目前，国际上研制的微半球陀螺仪多采用谐振壳体外部单层电极结构,或者在谐振壳体开口的正下方排布一层平面的单层电极，较少的电极数量限制了陀螺在复杂控制系统中的应用。传统的宏观石英半球陀螺采用内外双层电极，外层为离散的力发生器电极，内层为传感器电极，二者共同作用实现陀螺的驱动与检测。《一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法》（专利号201410389616.2）的文献提出了一种具有内外双层电极的微型半球谐振陀螺。该陀螺仪具有内外两层电极，其中内电极是八本文档来自技高网...

【技术保护点】
内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪，其特征在于，包括半球谐振壳，半球谐振壳的外顶点设有锚点，半球谐振壳外表面上方设有外层曲面立体电极，外层曲面立体电极包含支撑电极座、四个支撑电极与一组功能电极，四个支撑电极分别连接在支撑电极座四周构成十字形，功能电极间隔设于支撑电极之间、且与支撑电极及支撑电极座通过隔离槽相互隔离，外层曲面立体电极呈环形分布、且底部形状与半球谐振壳外表面相适应，支撑电极座中心设有用于和锚点连接的固定孔；半球谐振壳内表面下方设有内层曲面立体电极，内层曲面立体电极包含平面基底，平面基底中心设有与半球谐振壳内表面形状相适应的半球基底，半球基底的表面贴合有一组呈环形分布、且间隔设置的电极...

【技术特征摘要】
1.内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪，其特征在于，包括半球谐振壳，半球谐振壳的外顶点设有锚点，半球谐振壳外表面上方设有外层曲面立体电极，外层曲面立体电极包含支撑电极座、四个支撑电极与一组功能电极，四个支撑电极分别连接在支撑电极座四周构成十字形，功能电极间隔设于支撑电极之间、且与支撑电极及支撑电极座通过隔离槽相互隔离，外层曲面立体电极呈环形分布、且底部形状与半球谐振壳外表面相适应，支撑电极座中心设有用于和锚点连接的固定孔；半球谐振壳内表面下方设有内层曲面立体电极，内层曲面立体电极包含平面基底，平面基底中心设有与半球谐振壳内表面形状相适应的半球基底，半球基底的表面贴合有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄须叶，徐春叶，喻磊，王新龙，曹卫达，郭群英，
申请(专利权)人：北方电子研究院安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34