防止液体残留于基板的风刀吹干方法技术

本发明专利技术为一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，包含以下步骤：提供风干室，具有风刀、排气单元及控制器，风刀吹气至风干室内，排气单元将风干室的气体排出，控制器控制排气单元的排气量；将残留有液体的基板输送至风干室的入口，并使基板朝风干室的出口移动；风刀朝残留有液体的基板吹气，以将基板上的液体吹离基板，在吹气时，风刀的吹气量为固定的；通过控制器调整排气单元的排气量，排气量对应于风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少风干室的扰流，并使基板被风刀吹气时，不会翘起。借此，能充分地吹干基板。

The blow drying method for preventing the liquid residue on the substrate by the wind knife

The invention relates to a method for preventing wind knife drying liquid remaining on a substrate, the substrate is used for drying residual liquid, which comprises the following steps: providing air drying chamber with air knife, exhaust unit and controller, air knife to blowing the air dry chamber, gas exhaust unit will discharge the air dry chamber, exhaust emission control unit the controller will have residual substrate; entrance liquid is transported to the drying chamber, and the substrate in the air dry chamber exit; air knife toward the residual liquid blowing substrate to substrate liquid blown away from the substrate, the gas blowing, blowing air knife for a fixed amount of exhaust through the exhaust controller to adjust; the air blowing unit, exhaust volume corresponding to the wind blowing to the knife of the air dry chamber, to reduce the air dry chamber spoiler, and the substrate is blowing air knife, not cock. In this way, the substrate can be blown dry fully.

【技术实现步骤摘要】
防止液体残留于基板的风刀吹干方法
本专利技术涉及一种风刀吹干方法，尤其涉及一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，避免基板经过风刀时，产生翘曲或形变的状况，也能有效防止液体残留于基板。
技术介绍
目前的技术中，玻璃基板经过清洗后，会残留液体于玻璃基板的表面，必须经过风干室来进行吹干的工程。目前在风干室1000进行吹干的工程中，使用固定风压的风刀1100直接吹向残留有液体的玻璃基板2000，如图1所示；为了吹离玻璃基板2000的表面的液体，风刀1100必须具有较大的吹气量，故当风刀1100对准玻璃基板2000的最前端2100或最后端2200时，玻璃基板2000容易发生翘曲或形变的状况(如图2及图3所示)，从而破坏风干室1000的流场的均一性，容易导致玻璃基板2000歪斜及变形。由于风刀1100的吹气量为一定值，纵使减弱风刀1100的吹气量，风刀1100仍然对准玻璃基板2000的最前端2100或最后端2200，故玻璃基板2000的两端始终会受到气流影响，使得玻璃基板2000的两端发生力矩变化，从而造成玻璃基板2000翘曲或形变。因此，如何专利技术出一种玻璃基板的吹干方法，避免玻璃基板经过风刀时，产生翘曲或形变的状况，也能有效防止液体残留于玻璃基板，将是本专利技术所欲积极揭露之处。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，避免基板经过风刀时，产生翘曲或形变的状况，亦能有效防止液体残留于基板。为达上述目的及其他目的，本专利技术提供一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，包含以下第一步骤至第四步骤。在第一步骤中，提供风干室，具有至少一组风刀、至少两组排气单元及控制器，该至少一组风刀吹气至该风干室内，上述排气单元将该风干室的气体排出，该控制器控制各该排气单元的排气量。在第二步骤中，将残留有液体的基板输送至该风干室的入口，并使该基板朝该风干室的出口移动。在第三步骤中，该至少一组风刀朝残留有液体的基板吹气，以将该基板上的液体吹离该基板，在吹气时，该至少一组风刀的吹气量为固定的。在第四步骤中，通过该控制器调整各该排气单元的排气量，该排气量对应于该至少一组风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少该风干室的扰流，并使该基板被该至少一组风刀吹气时，不会翘起。在本专利技术的风刀吹干方法中，其中，上述排气单元设置在该至少一组风刀与该风干室的入口之间，并对应该至少一组风刀的吹气位置。在本专利技术的风刀吹干方法中，其中，该控制器为可编程控器(PLC,Programmablelogiccontroller)。在本专利技术的风刀吹干方法中，其中，随着该基板相对于该至少一组风刀的相对位置，通过该控制器调整各排气单元的排气量。在本专利技术的风刀吹干方法中，上述排气单元分别位于该风干室的顶部及底部。综上所述，本专利技术防止液体残留于基板的风刀吹干方法通过控制器调整排气单元的排气量，能避免基板经过至少一组风刀时，产生翘曲或形变的状况，也能有效防止液体残留于该基板。附图说明图1为现有技术中玻璃基板被风刀进行吹气的示意图。图2为现有技术中玻璃基板的最前端被风刀进行吹气的示意图。图3为现有技术中玻璃基板的最后端被风刀进行吹气的示意图。图4为本专利技术防止液体残留于基板的风刀吹干方法的流程图。【符号说明】1000风干室1100风刀1200输送台2000玻璃基板2100最前端2200最后端S1-S7步骤具体实施方式为充分了解本专利技术的目的、特征及功效，现通过下述具体的实施例，并配合附图，对本专利技术做详细说明，说明如下：请参照图4，其为本专利技术防止液体残留于基板的风刀吹干方法的流程图，该风刀吹干方法用于吹干残留有液体的基板，包含以下四个步骤。其中，该基板通常指玻璃基板等基板，但不限于此，只要有经过清洗且需要被风干的基板即可。在步骤S1中，提供风干室，具有至少一组风刀、至少两组排气单元及控制器，该至少一组风刀吹气至该风干室内，上述排气单元将该风干室的气体排出，该控制器控制各排气单元的排气量。更具体而言，该至少一组风刀朝该风干室内的输送台进行吹气，当有基板输送到输送台时，该至少一组风刀所吹出的气体能将该基板上残留的液体吹离；该控制器控制各排气单元的阀门，从而调整各排气单元的排气量。其中，该控制器较佳为可编程控器(PLC,Programmablelogiccontroller)，但不限于此，亦可为其他能调整排气量的控制器。此外，该至少一组风刀包含上风刀和下风刀，分别对应该基板的两面。在步骤S3中，将残留有液体的基板输送到该风干室的入口，并使该基板朝该风干室的出口移动。在步骤S5中，该至少一组风刀朝残留有液体的基板吹气，以将该基板上的液体吹离该基板，在吹气时，该至少一组风刀的吹气量为固定的，换言之，该吹气量并不会因该基板相对于该至少一组风刀的相对位置的不同而有所改变。在步骤S7中，通过控制器调整各排气单元的排气量，各排气单元的排气量分别对应于该至少一组风刀的上风刀与下风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少该风干室的扰流，从而让该至少一组风刀对该基板吹气时，液体不容易附着于该基板，即液体容易从该基板的表面被吹离；此外，当该基板的前端或后端被该至少一组风刀吹气时，由于该控制器依据该基板相对于该至少一组风刀的相对位置，来调整该排气单元的排气量，从而能有效避免该基板的前端或后端经过该至少一组风刀时，产生翘曲或形变的状况。更具体而言，依据该基板的材质、重量、尺寸，以及基板进行风刀吹干的结果，通过该控制器设定该排气单元的排气量，使得该基板从该风干室的入口移动至出口时，该基板相对于该至少一组风刀而位于不同位置时，所接受到的排气量有所不同。此外，如果上述排气单元设置在该至少一组风刀和该风干室的入口之间，并对应该至少一组风刀的吹气位置，则减少该风干室的扰流的功效更佳，其原因在于，该基板经过该至少一组风刀所产生的风压的同时，上述排气单元能将该至少一组风刀所产生的多余气体给排出。另外，上述排气单元最好分别位于该风干室的顶部及底部，以分别对应于该至少一组风刀的上风刀与下风刀的吹气位置。除此之外，该风干室中最好具有风扇过滤器(FFU,Fanfilterunit)，用于控制该风干室中的流场。其中，该风扇过滤器最好设置在该至少一组风刀与该风干室的出口之间。借此，本专利技术防止液体残留于基板的风刀吹干方法通过控制器调整排气单元的排气量，能避免基板经过该至少一组风刀时，产生翘曲或形变的状况，亦能有效防止液体残留于基板。本专利技术在上文中已通过较佳实施例揭露，然而本领域技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本专利技术，而不应解读为限制本专利技术的范围。应注意的是，凡是与该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本专利技术的范畴内。因此，本专利技术的保护范围应当以权利要求书所界定的范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，其特征在于，包含以下步骤：第一步骤：提供风干室，具有至少一组风刀、至少两组排气单元及控制器，该至少一组风刀吹气至该风干室内，上述排气单元将该风干室的气体排出，该控制器控制各该排气单元的排气量；第二步骤：将残留有液体的基板输送至该风干室的入口，并使该基板朝该风干室的出口移动；第三步骤：该至少一组风刀朝残留有液体的基板吹气，以将该基板上的液体吹离该基板，在吹气时，该至少一组风刀的吹气量为固定的；及第四步骤：通过该控制器调整各该排气单元的排气量，该排气量对应于该至少一组风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少该风干室的扰流，并使该基板被该至少一组风刀吹气时，不会翘起。

【技术特征摘要】
2016.08.02 TW 1051244051.一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，其特征在于，包含以下步骤：第一步骤：提供风干室，具有至少一组风刀、至少两组排气单元及控制器，该至少一组风刀吹气至该风干室内，上述排气单元将该风干室的气体排出，该控制器控制各该排气单元的排气量；第二步骤：将残留有液体的基板输送至该风干室的入口，并使该基板朝该风干室的出口移动；第三步骤：该至少一组风刀朝残留有液体的基板吹气，以将该基板上的液体吹离该基板，在吹气时，该至少一组风刀的吹气量为固定的；及第四步骤：通过该控制器调整各该排气单元的排气量，该排气量对应于该至少一组风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少该...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁鸿泰，饶裕丰，陈锦铭，
申请(专利权)人：睿明科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71