制备图案化固化产品的方法和由此获得的图案化固化产品技术

提供了一种制备图案化固化产品的方法以及使用该方法获得的图案化固化产品，所述方法包括：在基底上提供包括溶胶‑凝胶反应性含硅单体、可聚合的(甲基)丙烯酰基单体、光引发剂和氟化剂的组合物，以在基底上形成第一层；使第一层与母模接触，以形成第二层，第二层包括由母模转印的图案；以及从第二层获得图案化固化产品，其中，从第二层获得图案化固化产品的步骤包括溶胶‑凝胶反应、光固化反应以及母模的分离。

The method of preparing the patterned cured product and the resulting patterned cured product

Provides a method for preparing patterned cured product and patterned cured product obtained by this method, the method includes providing a substrate including in sol gel reaction of silicon containing monomer, polymerization of (meth) acryloyl monomer, photoinitiator composition agent and fluorinating agent, in the basement formed on the first layer; the first layer is in contact with the mold, to form a second layer, second layer comprises a mold transfer pattern; and patterning the cured product from the second layer which separates patterned cured product includes sol gel reaction, light curing reaction and die from the second layer.

【技术实现步骤摘要】
制备图案化固化产品的方法和由此获得的图案化固化产品该申请要求于2016年7月28日提交的第10-2016-0096124号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
一个或更多个实施例涉及制备图案化固化产品的方法，以及使用该方法制备的图案化固化产品。
技术介绍
随着近来对用于具有各种功能的精细纳米图案/纳米结构的有效形成的技术的期望的增加，对纳米压印光刻技术的研究已经增多。纳米压印光刻是指如在冲压中使用精密模具压印出纳米尺度图案的技术，它相对简单且成本低于传统的曝光工艺。这种压印光刻包括通过如下步骤将层图案化：将压印树脂施用到要形成图案的层上，使用具有期望图案的印模将图案压入层中以压印到层中，并执行干法蚀刻或湿法蚀刻。期望的是，由这样的工艺产生的具有精细(例如，纳米尺度)图案的固化产品具有精确的精细图案成形性、固化后的图案形状的可维持性、经重复使用的耐久性和强的硬度、对基底的强粘附性，并相对容易地从模具剥离。
技术实现思路
一个或更多个实施例包括一种制备图案化固化产品的方法，该图案化固化产品适合于精细(例如，纳米尺度)图案的形成且具有经重复使用的耐久性和强的硬度并且易于从母模剥离。还公开了使用该方法制备的图案化固化产品。根据一个或更多个实施例，一种制备图案化固化产品的方法包括：向基底上提供包括溶胶-凝胶反应性含硅单体、可聚合的(甲基)丙烯酰基单体、光引发剂和氟化剂的组合物以在基底上形成包括组合物的第一层；使第一层与母模接触，以形成第二层，第二层包括由母模转印的图案；以及从第二层获得图案化固化产品，其中，从第二层获得图案化固化产品的步骤包括溶胶-凝胶反应、光固化反应以及母模的分离。根据一个或更多个实施例，通过上述方法制备图案化固化产品，其中，图案化固化产品中氟化剂的浓度在从图案化固化产品的不接触基底的第一表面朝向图案化固化产品的接触基底的第二表面的方向上降低，图案化固化产品包括聚合物，所述聚合物包括由*-Si-O-Si-*'表示的部分和由*-O-Si-O-*'表示的部分中的至少一种。另外的方面将在接下来的描述中被部分地阐明，并且部分地，将通过描述而清楚，或者可以通过给出的实施例的实践而了解。附图说明通过下面结合附图对实施例的描述，这些和/或其它方面将变得明显且更容易理解，在附图中：图1是描述根据实施例的制备图案化固化产品的方法的示意图；图2是描述根据另一实施例的制备图案化固化产品的方法的示意图；以及图3是描述根据又一实施例的制备图案化固化产品的方法的示意图。具体实施方式现在将详细参照制备图案化固化产品的方法以及通过该方法制备的图案化固化产品的实施例，它们的示例示出在附图中，其中，同样的附图标记始终表示同样的元件，并且为了易于描述，夸大了元件的尺寸或厚度。就这一点而言，给出的实施例可以具有不同的形式，并且不应被解释为限于在此所阐述的描述。因此，下面仅通过参照附图描述实施例来解释本描述的方面。将理解的是，当诸如层、区域或组件的元件被称作“在”另一个层或元件“上”时，该元件可以“直接在”另一个层或元件上，或者也可以存在中间层、中间区域或中间组件。相反，当元件被称作“直接在”另一个元件“上”时，不存在中间元件。将理解的是，虽然在此可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一个元件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离本文的教导的情况下，下面讨论的“第一元件”、“第一组件”、“第一区域”、“第一层”或“第一部分”可以被称作第二元件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。这里使用的术语仅是为了描述具体实施例的目的，而不意图成为限制。如在此使用的，除非上下文另外明确地指出，否则单数形式“一个”、“一种”和“该(所述)”旨在包括复数形式，包括“至少一个(种)(者)”。“或”表示“和/或”。如在此使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关列出的项目的任意和所有组合。诸如“……中的至少一个(种)(者)”的表述在一列元件(要素)之后时，修饰整列的元件(要素)，而不是修饰该列中的个别元件(要素)。将进一步理解的是，当在本说明书中使用术语“包括”和/或其变形或者“包含”和/或其变形时，说明存在所述特征、区域、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除一个或更多个其它特征、区域、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组的存在或添加。此外，这里可以使用诸如“下”或“底”和“上”或“顶”的相对术语来描述如图中所示的一个元件与另一元件的关系。将理解的是，除了图中所示的方位之外，相对术语还旨在包括装置的不同方位。例如，如果其中一个图中的装置被翻转，那么描述为位于其它元件的“下”侧的元件随后将被定向为在其它元件的“上”侧上。因此，示例性术语“下”可以包括取决于图的具体方位的“下”和“上”两个方位。相似地，如果其中一个图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件“下”或“之下”的元件将被定向为在其它元件“上方”。因此，示例性术语“下”或“之下”可以包括上和下两个方位。这里使用的“大约”或“近似”包括陈述的值，并意味着：考虑到正在被谈及的测量以及与具体量的测量有关的误差(即，测量系统的局限性)，在由本领域的普通技术人员确定的具体值的可接受偏差范围之内。例如，“大约”可以表示在一个或多个标准偏差内，或者在所陈述的值的±30％、±20％、±10％、±5％之内。除非另外定义，否则这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属的领域的普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。将进一步理解的是，除非在这里如此明确地定义，否则术语(诸如在通用字典中定义的术语)应当被解释为具有与在相关领域背景下和本公开中的它们的含义一致的含义，而不以理想化或过于形式化的含义来解释。在此参照作为理想化的实施例的示意图的剖面图来描述示例性实施例。这样，将预料到由例如制造技术和/或公差的引起的图示的形状的变化。因此，在此描述的实施例不应被解释为受限于在此示出的区域的具体形状，而是包括由例如制造导致的形状的偏差。例如，示出或描述为平坦的区域可以具有粗糙和/或非线性特征。此外，示出的锐角可以被倒圆。因此，图中所示的区域本质上是示意性的，它们的形状不意图说明区域的精确形状并且不意图限制给出的权利要求的范围。如在此使用的，术语“(甲基)丙烯酰基”包括任何含有部分H2C＝CHRC(＝O)-的基团，其中，R是氢(此处为“丙烯酰基”)或甲基(此处为“甲基丙烯酰基”)。“(甲基)丙烯酰基”包括它的相应的酸或盐(在本文中称作“(甲基)丙烯酸”)、酯(在本文中称作“(甲基)丙烯酸(C1-C20烷基)酯”)和酰胺(在本文中称作“(甲基)丙烯酰胺”)。将参照图1描述根据实施例的制备图案化固化产品的方法。参照图1中的(a)，可以在基底110上提供包括溶胶-凝胶反应性含硅单体、可聚合的(甲基)丙烯酰基单体、光引发剂和氟化剂的组合物，以在基底110上形成该组合物的第一层120-1。通过将作为溶胶-凝胶反应性含硅单体、可聚合的(甲基)丙烯酰基单体、光引发剂和氟化剂的混合物的组合物提供到基底110上，可以减少本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备图案化固化产品的方法，所述方法包括：向基底上提供包括溶胶‑凝胶反应性含硅单体、可聚合的(甲基)丙烯酰基单体、光引发剂和氟化剂的组合物，以在所述基底上形成包括所述组合物的第一层；使所述第一层与母模接触，以形成第二层，所述第二层包括由所述母模转印的图案；以及从所述第二层获得所述图案化固化产品，其中，从所述第二层获得所述图案化固化产品的步骤包括执行溶胶‑凝胶反应、光固化反应以及所述母模的分离。

【技术特征摘要】
2016.07.28 KR 10-2016-00961241.一种制备图案化固化产品的方法，所述方法包括：向基底上提供包括溶胶-凝胶反应性含硅单体、可聚合的(甲基)丙烯酰基单体、光引发剂和氟化剂的组合物，以在所述基底上形成包括所述组合物的第一层；使所述第一层与母模接触，以形成第二层，所述第二层包括由所述母模转印的图案；以及从所述第二层获得所述图案化固化产品，其中，从所述第二层获得所述图案化固化产品的步骤包括执行溶胶-凝胶反应、光固化反应以及所述母模的分离。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述溶胶-凝胶反应性含硅单体包括2-甲基丙烯酰氧基乙基三甲氧基硅烷、2-甲基丙烯酰氧基乙基三乙氧基硅烷、2-丙烯酰氧基乙基三甲氧基硅烷、2-丙烯酰氧基乙基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、4-甲基丙烯酰氧基丁基三甲氧基硅烷、4-甲基丙烯酰氧基丁基三乙氧基硅烷、4-丙烯酰氧基丁基三甲氧基硅烷、4-丙烯酰氧基丁基三乙氧基硅烷、5-甲基丙烯酰氧基戊基三甲氧基硅烷、5-甲基丙烯酰氧基戊基三乙氧基硅烷、5-丙烯酰氧基戊基三甲氧基硅烷、5-丙烯酰氧基戊基三乙氧基硅烷、6-甲基丙烯酰氧基己基三甲氧基硅烷、6-甲基丙烯酰氧基己基三乙氧基硅烷、6-丙烯酰氧基己基三甲氧基硅烷、6-丙烯酰氧基己基三乙氧基硅烷或它们的组合。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述可聚合的(甲基)丙烯酰基单体包括三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烯三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烯三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、五乙二醇二丙烯酸酯、五乙二醇二甲基丙烯酸酯、六乙二醇二丙烯酸酯、六乙二醇二甲基丙烯酸酯或它们的组合。4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述光引发剂包括烷基苯酮光引发剂、酰基氧化膦光引发剂或它们的组合。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述氟化剂包括由下式表示的聚合物：F-(CF(CF3)-CF2-O)n-CF2CF3其中，3≤n≤5。6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述溶胶-凝胶反应性含硅单体具有234克每摩尔或更大至332克每摩尔或更小的重均分子量，所述可聚合的(甲基)丙烯酰基单体具有170克每摩尔或更大至647克每摩尔或更小的重均分子量，以及所述氟化剂具有636克每摩尔或更大至968克每摩尔或更小的重均分子量。7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述溶胶-凝胶反应性含硅单体与所述可聚合的(甲基)丙烯酰基单体的重量比在10:90至70:30的范围内。8.根据权利要求1所述的方法，其中，均基于100重量份的所述溶胶-凝胶反应性含硅单体和所述可聚合的(甲基)丙烯酰基单体的总重量，所述光引发剂的量是1重量份至6重量份，所述氟化剂的量是1重量份至5重量份。9.根据权利要求1所述的方法，其中，从所述第二层获得所述图案化固化产品的步骤包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞熙玟，徐连珠，尹多惠，尹现燮，丁正运，赵诚赞，盧敬来，禹星旭，郑洙任，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR