一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器，属于光纤压力传感器技术领域。包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里‑珀罗腔。本实用新型专利技术中材质均为二氧化硅，使得本实用新型专利技术热膨胀系数相同，避免了不同材料高温失配造成的结构失效，温度串扰小，成本低廉；传感头制作工艺只需要熔接、切割和研磨，制作工艺简单；本装置中的共焦法布里‑珀罗腔与现有技术中腐蚀工艺或飞秒激光器制作的法布里‑珀罗腔相比，干涉腔损耗小，干涉条纹对比度高，解调精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器
本技术涉及一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器，属于光纤压力传感器

技术介绍
常用的光纤压力传感器主要有光纤光栅压力传感器和光纤法布里-珀罗压力传感器两种。与光纤光栅压力传感器相比，光纤法布里-珀罗压力传感器对外界产生的压力信号的反应更敏锐，采用不同的结构参数能够满足不同测量量程和灵敏度的要求,具有耐恶劣环境、抗电磁干化、温度交叉敏感度小等优点。应用于生物医疗、高温高压油井、航空航天、桥梁检测等领域的压力检测。光纤法布里-珀罗压力传感器有毛细管结构和膜片结构。毛细管结构采用毛细管轴向形变来实现对压力的感知，可用于大压强范围的测量，但由于对压力感知敏感度低，不适用于对精度要求高的测量。膜片结构采用对压力敏感的膜片构成法布里-珀罗干涉仪的一个反射面，外界压力作用在膜片上时膜片发生弹性形变，从而使法布里－珀罗干涉仪的腔长改变，实现对压力的感知，具有灵敏度高，抗干扰能力强，线性度好,动态范围大等优点。膜片结构的光纤法布里-珀罗压力传感器可由光纤端面的凹腔和受力会变形的压力敏感膜构成。凹腔的形成有化学腐蚀法[1,2]和飞秒激光制备法[3]。化学腐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器，其特征在于，包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里‑珀罗腔。

【技术特征摘要】
1.一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器，其特征在于，包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里-珀罗腔。2.根据权利要求1所述的一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器，其特征在于，所述空气法布里-珀罗腔为微椭球形，所述空气法布里-珀罗腔为共焦腔。3.根据权利要求1所述的一种基于微椭球空气腔的光纤压力传...

【专利技术属性】
技术研发人员：王婷婷，沈娟，葛益娴，李志鹏，
申请(专利权)人：南京信息工程大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32