功能液排出装置和功能液排出位置调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。

Function liquid discharge device and function liquid discharge position adjustment method

【技术实现步骤摘要】
功能液排出装置和功能液排出位置调整方法
本专利技术涉及对工件排出功能液进行描绘的功能液排出装置和该功能液排出装置的功能液排出位置调整方法。
技术介绍
当前，作为使用功能液对工件进行图案化的装置，已知有使该功能液作为液滴进行排出的喷墨方式的功能液排出装置。功能液排出装置在制造例如有机EL装置、滤色片、液晶显示装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)等的电光学装置(平板显示器：FPD)时等被广泛使用。在功能液排出装置中，要求功能液的排出位置的正确性。但是，当前，没有排出功能液的排出头的安装位置的调整机构，排出头的安装位置即从排出头排出功能液的排出位置由该排出头的机械加工精度决定。因此，存在从排出头排出的功能液的排出位置即着落位置的精度不够的情况。为了提高功能液的液滴的着落精度，在专利文献1中，在具有支承多个功能液排出头的单一的滑架的功能液排出装置中，功能液排出头经由能够使该功能液排出头在滑架的面方向上移动的位置调整装置被固定于滑架。另外，在专利文献2中，在多个滑架各自具有多个功能液排出头的功能液排出装置中，为了简单地校正着落误差，采用以下的结构。即，利用对准用排出图案数据，从功能液排出头排出功能液，在工件上的检查区域描绘在副扫描方向上连续的功能液的液滴的点线，分别拍摄与各滑架对应的点线，识别与设计基准的着落误差。接着，基于着落误差的识别结果来校正各滑架的相对位置。此外，在功能液排出装置中，如专利文献2那样，通过在各滑架设置多个功能液排出头，搭载多个滑架，从而容易进行功能液排出头的维护。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-246130号公报专利文献2：日本特开2006-44059号公报专利技术要解决的技术问题如上所述，需要提高功能液的液滴的着落精度，但是，在专利文献1记载的方法中，不进行滑架的对准，所以功能液排出头的安装位置的调整幅度变大。因此，需要增大该安装位置的调整单元。另外，在滑架上设置有多个功能液排出头，但功能液排出头间的空间受到限制。因此，在专利文献1记载的方法中无法将上述调整单元搭载在滑架上，所以实际上难以调整功能液的着落位置。另外，在专利文献2记载的方法中，在各滑架内不进行功能液排出头的对准，因此，存在功能液的着落位置的精度不够的情况。
技术实现思路
本专利技术是基于上述问题而完成的，其目的在于，在具有设置有多个对工件排出功能液的功能液排出头(喷头)的滑架的功能液排出装置中，提高功能液的排出位置/着落位置的精度。用于解决问题的技术方案为了实现上述的目的，本专利技术提供一种功能液排出装置，其扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘，该功能液排出装置的特征在于，包括：滑架，其具有用于设置多个喷头的安装面，并且对每个喷头设置有至少对上述喷头在该安装面的垂线的周向上的倾斜度进行调整的调整机构，其中上述喷头经由多个排出口对上述工件排出上述功能液；至少拍摄上述工件上的液滴的摄像部；和对于每个上述喷头控制上述调整机构和排出时刻的控制部，该控制部使上述功能液从相对于上述工件对位并固定后的滑架的上述喷头排出到上述工件上，基于该功能液的用上述摄像部拍摄的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头在上述垂线的周向上的倾斜度和上述工件的扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。根据本专利技术，对于每个喷头进行排出位置调整，因此液滴的排出位置的精度非常高。另外，在滑架对位后，进行喷头的排出位置调整，因此喷头的调整幅度小，所以该调整用的机构是小型的，能够将该调整用的机构安装在滑架23上。因此，能够可靠地进行精度高的排出位置调整。上述控制部可以基于经由上述喷头的多个排出口排出的上述工件上的功能液组的用上述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该倾斜度调整该喷头在上述垂线的周向上的倾斜度。上述控制部可以基于上述工件上的规定标记的用上述摄像部拍摄的拍摄结果来决定基准线，上述功能液组的倾斜度是相对于上述基准线的倾斜度。上述控制部可以基于从上述基准线至上述功能液组的距离来控制上述喷头的排出时刻。上述控制部可以对于每个上述工件进行上述滑架的对位以及上述喷头在上述垂线的周向上的倾斜度和上述扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。上述控制部可以每隔规定时间或在规定时刻进行上述滑架的对位，对于每个上述工件进行上述喷头的在上述垂线的周向上的倾斜度和上述扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。上述功能液排出装置还包括进行上述滑架的移动和/或旋转的对位机构，上述控制部还控制上述对位机构，使上述功能液从上述滑架的多个上述喷头排出到上述工件上，基于该功能液的用上述摄像部拍摄的拍摄结果来控制上述对位机构，进行该滑架的对位。上述控制部可以基于从上述喷头的多个排出口排出的上述工件上的功能液组的用上述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该计算出的倾斜度的平均值进行该滑架的对位。上述摄像部可以拍摄从上述喷头的上述排出口排出的在上述工件的有效区域外的上述功能液。上述调整机构可以具有：第一对位机构，其施加使上述喷头在与上述安装面平行的第一方向上移动的力；第二对位机构，其施加使上述喷头在与上述安装面平行且与上述第一方向正交的第二方向上移动并且使上述喷头以上述安装面的垂线为旋转轴顺时针和逆时针旋转的力；和第三对位机构，其至少抑制由来自上述第二对位机构的力引起的上述喷头向上述第二方向的移动和上述喷头的顺时针或逆时针的旋转。上述第三对位机构可以施加使上述喷头向上述第二方向移动并且使上述喷头以上述安装面的垂线为旋转轴逆时针或顺时针旋转的力。上述滑架可以具有用于安装上述喷头且被固定于该滑架的基座，该基座在上述第二方向的正侧的端面中的规定部分，具有沿上述第二方向凹陷的内窄形状的第一凹部，在上述第二方向的正侧的端面中的从与上述第一凹部相对的部分在上述第一方向上分离了的部分，具有沿上述第二方向凹陷的内窄形状的第二凹部，上述第一对位机构具有：从上述第一方向的正侧，与上述基座的上述第一方向的正侧的端面抵接的第一抵接销；和从上述第一方向的负侧，与上述基座的上述第一方向的负侧的端面中的与上述第一抵接销相对的部分抵接的第二抵接销，上述第二对位机构具有：与上述基座的上述第一凹部抵接的第一楔形件；和与上述基座的上述第二凹部抵接的第二楔形件，上述第三对位机构具有：从上述第二方向的正侧，与上述基座的上述第二方向的正侧的端面中的与上述第二凹部相对的部分抵接的第三抵接销；和从上述第二方向的负侧，与上述基座的上述第二方向的负侧的端面中的与上述第一凹部相对的部分抵接的第四抵接销。与上述第一楔形件抵接的上述第一凹部中的上述基座的中央侧的面和与上述第二楔形件抵接的上述第二凹部中的上述基座的中央侧的面，可以与上述第一方向和上述第二方向均不平行。本专利技术的另一方面提供一种扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘的功能液排出装置的液滴排出位置调整方法，其特征在于，包括：滑架对位步骤，使在安装面设置有多个对上述工件排出上述功能液的喷头的滑架相对于上述工件进行对位并固定；拍摄步骤，使上述功能液从对位并固定后的上述滑架上的上述喷头排出到上述工件上，用摄像部拍摄该功能液；和排出位置调整步骤，基于上述摄像部的拍摄结果，控制在上述滑架对于每个上述喷头设置的调本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能液排出装置，其扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘，该功能液排出装置的特征在于，包括：滑架，其具有用于设置多个喷头的安装面，并且对每个喷头设置有至少对所述喷头在该安装面的垂线的周向上的倾斜度进行调整的调整机构，其中所述喷头经由多个排出口对所述工件排出所述功能液；至少拍摄所述工件上的液滴的摄像部；和对于每个所述喷头控制所述调整机构和排出时刻的控制部，该控制部使所述功能液从相对于所述工件对位并固定后的滑架的所述喷头排出到所述工件上，基于该功能液的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述工件的扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整。

【技术特征摘要】
2016.07.25 JP 2016-145817;2017.06.12 JP 2017-114921.一种功能液排出装置，其扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘，该功能液排出装置的特征在于，包括：滑架，其具有用于设置多个喷头的安装面，并且对每个喷头设置有至少对所述喷头在该安装面的垂线的周向上的倾斜度进行调整的调整机构，其中所述喷头经由多个排出口对所述工件排出所述功能液；至少拍摄所述工件上的液滴的摄像部；和对于每个所述喷头控制所述调整机构和排出时刻的控制部，该控制部使所述功能液从相对于所述工件对位并固定后的滑架的所述喷头排出到所述工件上，基于该功能液的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述工件的扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整。2.如权利要求1所述的功能液排出装置，其特征在于：所述控制部基于经由所述喷头的多个排出口排出的所述工件上的功能液组的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该倾斜度调整该喷头在所述垂线的周向上的倾斜度。3.如权利要求2所述的功能液排出装置，其特征在于：所述控制部基于所述工件上的规定标记的用所述摄像部拍摄的拍摄结果来决定基准线，所述功能液组的倾斜度是相对于所述基准线的倾斜度。4.如权利要求3所述的功能液排出装置，其特征在于：所述控制部基于从所述基准线至所述功能液组的距离来控制所述喷头的排出时刻。5.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：所述控制部对于每个所述工件进行所述滑架的对位以及所述喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整。6.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：所述控制部每隔规定时间或在规定时刻进行所述滑架的对位，对于每个所述工件进行所述喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整。7.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：还包括进行所述滑架的移动和/或旋转的对位机构，所述控制部还控制所述对位机构，使所述功能液从所述滑架的多个所述喷头排出到所述工件上，基于该功能液的用所述摄像部拍摄的拍摄结果来控制所述对位机构，进行该滑架的对位。8.如权利要求7所述的功能液排出装置，其特征在于：所述控制部基于从所述喷头的多个排出口排出的所述工件上的功能液组的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该计算出的倾斜度的平均值进行该滑架的对位。9.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：林辉幸，大岛澄美，岛村明典，中込裕，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP