具有多个可彼此分开运行的像素的显示设备制造技术

提出一种具有多个可彼此分开运行的像素(1a，1b，1c)的显示设备(1)，所述显示设备包括用于产生电磁辐射的半导体层序列(3)。半导体层序列(3)具有第一半导体层(31)、有源层(33)和第二半导体层(35)。显示设备(1)还包括用于接触第一半导体层(31)的第一接触结构(51)和用于接触第二半导体层(35)的第二接触结构(55)。第一接触结构(51)具有可彼此分开运行的第一接触部(51a，51b，5c)，所述第一接触部分别横向无中断地沿着第一半导体层(31)延伸。第一接触部(51a，51b，51c)分别借助其轮廓对像素(1a，1b，1c)横向限界。半导体层序列(3)和第一接触结构(51)具有至少一个关于相应的像素(1a，1b，1c)横向邻接的凹部(7a，7b)，所述凹部穿过第一接触结构(51)、第一半导体层(31)和有源层(33)延伸到第二半导体层(35)中。第二接触结构(55)具有第二接触部(55a，55b)，所述第二接触部从半导体层序列(3)的朝向第一接触结构(51)的一侧延伸穿过至少一个凹部(7a，7b)。

A display device with multiple pixels that can run separately from each other

A display device (1), which has many separate running pixels (1a, 1b, 1c), is proposed. The display device includes a semiconductor layer sequence (3) for generating electromagnetic radiation. The semiconductor layer sequence (3) has a first semiconductor layer (31), an active layer (33), and a second semiconductor layer (35). The display device (1) also includes a first contact structure (51) for contact with the first semiconductor layer (31) and a secondary contact structure (55) for contact with the secondary semiconductor layer (35). The first contact structure (51) has a first contact part (51a, 51B, 5C) that can run separately from each other, and the first contact part does not extend along the first semiconductor layer (31) laterally. The first contact (51a, 51B, 51C) with the aid of its contour to the pixel (1a, 1b, 1c) transversal limit. The semiconductor layer sequence (3) and the first contact structure (51) having at least one pixel on the corresponding (1a, 1b, 1c) concave laterally adjacent (7a, 7b), the recess through the first contact structure (51), a first semiconductor layer (31) and active layer (33) extending the second semiconductor layer (35). The second contact structure (55) has second contact parts (55A, 55B), and the second contact part extends from the side of the semiconductor layer sequence (3) towards the first contact structure (51) through at least one concave part (7a, 7b).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有多个可彼此分开运行的像素的显示设备
提出一种显示设备。
技术介绍

技术实现思路
目的是提出一种显示设备，所述显示设备允许显示设备的尤其可靠的、有效的运行。提出一种显示设备。显示设备尤其包括多个可彼此分开运行的像素，所述显示设备包括用于产生电磁辐射的半导体层序列。半导体层序列例如具有第一半导体层、有源层和第二半导体层。显示设备例如能够为发光二极管，尤其为薄膜发光二极管，所述发光二极管不具有用于半导体层序列的生长衬底。显示设备沿竖直方向在第一主平面和第二主平面之间延伸，其中竖直方向能够横向于或垂直于第一和/或第二主平面伸展。主平面例如能够为在显示设备的顶面和底面上的主延伸平面。显示设备沿横向方向、即例如至少局部地平行于主平面面状扩展并且沿竖直方向具有如下厚度，所述厚度小于显示设备沿横向方向的最大延伸。例如，半导体层序序列、尤其有源层包含III-V族化合物半导体材料。III-V族化合物半导体材料尤其适合于在紫外光谱范围中(AlxInyGa1-x-yN)经由可见光谱范围(尤其对于蓝色至绿色辐射为AlxInyGa1-x-yN，或尤其对于黄色至红色辐射为AlxInyGa1-x-yP)直至到红外光谱范围(AlxInyGa1-x-yAs)中产生辐射。在此分别适用的是0≤x≤1，0≤y≤1并且x+y≤1，尤其x≠1，y≠1，x≠0和/或y≠0。此外，借助尤其出自上述材料体系的III-V族半导体材料，在辐射产生时能够实现高的内部量子效率。有源层设置在第一半导体层和第二半导体层之间。第一半导体层和第二半导体层适当地具有彼此不同的导电类型。尤其地，第一半导体层能够是p掺杂的半导体层，并且第二半导体层能够是n掺杂的半导体层。在制造显示设备时，像素优选从共同的半导体层序列中产生。与相应的像素相关联的半导体层、即半导体层序列的形成像素的横向区域能够关于其材料组成和其层厚度方面除了制造引起的波动之外与同显示设备的另一像素相关联的半导体层相同。例如，显示设备具有载体。载体例如能够具有多个开关，所述开关分别为了控制至少一个像素而与相应的像素相关联。载体例如能够机械地稳定半导体层序列。第一主平面例如位于半导体层序列的背离载体的一侧上。相应地，第二主平面例如位于载体的背离半导体层序列的一侧上。在至少一个实施方式中，显示设备包括用于接触第一半导体层的第一接触结构。此外，显示设备包括用于接触第二半导体层的第二接触结构。第一接触结构示例性地设置在半导体层序列和载体之间。第一接触结构尤其与第一半导体层导电连接。借助于第一接触结构可从第二主平面起电接触第一半导体层。例如，第一接触结构由金属层或金属层堆构成。优选地，第一接触结构具有光学镜作用。例如，第一接触结构由如Al、Ag、Au或Rh的材料构成或者具有这种材料。尤其地，第一接触结构的层厚度在50nm和500nm之间。附加地或替选地，在半导体层序列和金属层或金属层堆之间引入透明导电氧化物(TCO)。例如，所述透明导电氧化物由如ITO、SnO、ZnO的材料构成或者具有这种材料。尤其地，这种层的层厚度小于100nm。附加地，在透明导电氧化物层和金属层或金属层堆之间能够设置有电介质或介电的层堆。示例性地，所述电介质或介电的层堆由SiO2构成或具有SiO2。尤其地，其层厚度在100nm和1000nm之间。电介质或介电的层堆例如能够具有凹部，尤其是分隔开的。因此，透明导电氧化物层和金属层或金属层堆之间存在导电连接。第二接触结构例如同样设置在载体和半导体层序列之间。第二接触结构尤其与第二半导体层导电连接。借助于第二接触结构，可从第二主平面起电接触第二半导体层。第一接触结构和/或第二接触结构或其至少一个子层例如构成为是反射性的，尤其关于在显示设备运行时产生的辐射是反射性的。在至少一个实施方式中，第一接触结构具有可彼此分开运行的第一接触部。第一接触部分别横向无中断地沿着第一半导体层延伸。第一接触部借助其轮廓分别对像素横向限界。在此上下文中，例如能够分别将开关与第一接触部相关联，以控制至少一个像素。尤其，第一接触部与相应的开关电连接。第一接触部分别彼此分开地电接触第一半导体层。在显示设备沿竖直方向的俯视图中，各一个第一接触部的横向轮廓分别对一个像素限界。换言之，像素的横向延伸通过相应的第一接触部的横向延伸形成。第一接触部尤其与各一个像素相关联，尤其一一对应地相关联，以控制像素。在至少一个实施方式中，半导体层序列和第一接触结构具有至少一个关于相应的像素横向邻接的凹部。至少一个凹部穿过第一接触结构、第一半导体层和有源层延伸进入到第二半导体层中。尤其地，至少一个凹部从第二主平面横向地或垂直地朝向第一主平面延伸。至少一个凹部在此尤其中断第一接触结构。例如，借助于至少一个凹部，分别横向依次的第一接触部彼此电分离。至少一个凹部沿横向方向在显示设备的俯视图中尤其在各个像素之间的光学分离的区域中延伸。光学分离尤其为各个像素的横向分离，所述横向分离例如能够通过观察者在显示设备的俯视图中直接察觉和/或通过适当的放大可测量和/或至少间接地例如以提高的锐度印象能够通过观察者在俯视图中察觉。在至少一个实施方式中，第二接触结构具有第二接触部。第二接触部从半导体层序列的朝向第一接触结构的一侧延伸穿过至少一个凹部。第二接触部分别电接触第二半导体层。在此，第二接触部尤其能够以显示设备的共同的电极的方式彼此电连接。第二接触部尤其与第一半导体层电绝缘。在此上下文中，显示设备能够具有分离结构，所述分离结构将第二接触部与第一接触部和/或第一半导体层电分离。例如，分离结构对至少一个凹部对此横向限界。例如，第二接触部完全地填充通过分离结构横向限界的至少一个凹部。对此替选地，第二接触部覆盖分离结构，并且在至少一个凹部的端面处覆盖第二半导体层，因此尤其不完全地填充相应的凹部。第二半导体层借助于第二接触部的接触在显示设备的俯视图中尤其在各个像素之间的光学分离的区域中延伸。像素之间的光学分离因此尤其能够与第二半导体层的接触组合。例如，在此上下文中，分离结构能够构成为是反射的，尤其关于在显示设备运行时产生的辐射是反射性的。分离结构例如由部分地或完全地透明的电介质构成，例如由氧化硅和/或氮化硅和/或氧化铝构成。例如，因此反射能够角度相关地以在电介质上全反射的方式直接发生，或者在第二接触结构的关于在运行中产生的辐射的光路位于下游的金属层上发生。第二接触结构对此有利地由高反射性的材料构成，例如银。在至少一个实施方式中，具有多个可彼此分开运行的像素的显示设备包括用于产生电磁辐射的半导体层序列。半导体层序列具有第一半导体层、有源层和第二半导体层。显示设备还包括用于接触第一半导体层的第一接触结构和用于接触第二半导体层的第二接触结构。第一接触结构具有可彼此分开运行的第一接触部，所述第一接触部分别横向无中断地沿着第一半导体层延伸。第一接触部分别借助其轮廓对像素横向限界。半导体层序列和第一接触结构具有至少一个关于相应的像素横向邻接的凹部，所述凹部穿过第一接触结构、第一半导体层和有源层延伸进入到第二半导体层中。第二接触结构具有第二接触部，所述第二接触部从半导体层序列的朝向第一接触结构的一侧延伸穿过至少一个凹部。这能够实现显示设备的尤其有利的横向面积利用，其中在第一接触结构和第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有多个能彼此分开运行的像素(1a，1b，1c)的显示设备(1)，所述显示设备包括：‑用于产生电磁辐射的半导体层序列(3)，所述半导体层序列具有第一半导体层(31)、有源层(33)和第二半导体层(35)，‑用于接触所述第一半导体层(31)的第一接触结构(51)和用于接触所述第二半导体层(35)的第二接触结构(55)，其中‑所述第一接触结构(51)具有能彼此分开运行的第一接触部(51a，51b，51c)，所述第一接触部分别横向无中断地沿着所述第一半导体层(31)延伸，并且分别借助其轮廓对像素(1a，1b，1c)横向限界，‑所述半导体层序列(3)和所述第一接触结构(51)具有至少一个关于相应的像素(1a，1b，1c)横向邻接的凹部(7a，7b)，所述凹部穿过所述第一接触结构(51)、所述第一半导体层(31)和所述有源层(33)延伸进入到所述第二半导体层(35)中，和‑所述第二接触结构(55)具有第二接触部(55a，55b)，所述第二接触部从所述半导体层序列(3)的朝向所述第一接触结构(51)的一侧延伸穿过至少一个所述凹部(7a，7b)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.29 DE 102015108532.11.一种具有多个能彼此分开运行的像素(1a，1b，1c)的显示设备(1)，所述显示设备包括：-用于产生电磁辐射的半导体层序列(3)，所述半导体层序列具有第一半导体层(31)、有源层(33)和第二半导体层(35)，-用于接触所述第一半导体层(31)的第一接触结构(51)和用于接触所述第二半导体层(35)的第二接触结构(55)，其中-所述第一接触结构(51)具有能彼此分开运行的第一接触部(51a，51b，51c)，所述第一接触部分别横向无中断地沿着所述第一半导体层(31)延伸，并且分别借助其轮廓对像素(1a，1b，1c)横向限界，-所述半导体层序列(3)和所述第一接触结构(51)具有至少一个关于相应的像素(1a，1b，1c)横向邻接的凹部(7a，7b)，所述凹部穿过所述第一接触结构(51)、所述第一半导体层(31)和所述有源层(33)延伸进入到所述第二半导体层(35)中，和-所述第二接触结构(55)具有第二接触部(55a，55b)，所述第二接触部从所述半导体层序列(3)的朝向所述第一接触结构(51)的一侧延伸穿过至少一个所述凹部(7a，7b)。2.根据权利要求1所述的显示设备(1)，其中所述第一接触部和第二接触部(51a，51b，51c，55a，55b)分别与所述第一半导体层和第二半导体层(31，35)直接接触。3.根据上述权利要求中任一项所述的显示设备(1)，其中多个第二接触部(55a，55b)与至少一个所述像素(1a，1b，1c)相关联，所述第二接触部冗余地接触相应的所述像素(1a，1b，1c)。4.根据上述权利要求中任一项所述的显示设备(1)，其中所述第二接触部(55a，55b)中的至少一个第二接触部横向地邻接于多个相邻的像素(1a，1b，1c)设置，并且构成用于接触多个相邻的所述像素(1a，1b，1c)。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历山大·普福伊费尔，多米尼克·斯科尔茨，
申请(专利权)人：欧司朗光电半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE