一种波纹管和阀门组件制造技术

本文所描述的实现方式可保护腔室部件免遭高温下使用的腐蚀性清洁气体腐蚀。在一个实施方式中，腔室部件包括至少一波纹管，此波纹管包括通过管状折形接头结构耦接至底部安装凸缘的顶部安装凸缘。在至少管状折形接头结构的外表面上设置涂层。涂层包括聚四氟乙烯、聚一氯对二甲苯、聚二氯对二甲苯、类金刚石碳(DLC)、氧化钇稳定的氧化锆、镍、氧化铝或铝硅镁钇氧复合物的至少一个。在一个实施方式中，腔室部件是具有内部波纹管的阀门。

Corrosion control of chamber components

The implementation described in this paper protects the chamber components from corrosive clean gas corrosion used at high temperature. In one embodiment, the chamber component includes at least one bellows, which is coupled to the top mounting flange of the bottom mounting flange through the tubular folding joint structure. Coating on the outer surface of at least the tube shaped joint structure. The coatings include at least one polytetrafluoroethylene, polychlorinated p-xylene, polychlorinated para xylene, diamond-like carbon (DLC), yttria stabilized zirconia, nickel, alumina or aluminum silicon magnesium yttrium oxide complex. In one implementation, the chamber component is a valve with an internal bellows.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】腔室部件的腐蚀控制背景
本文所描述的实现方式总体涉及半导体制造，并且尤其是，涉及保护真空处理设备免遭腐蚀的腔室部件。
技术介绍
在半导体器件的制造期间，基板可在各种处理腔室中经历许多操作，以达形成适于最终使用的材料层及特征的目的。举例而言，基板可经历若干沉积、退火及蚀刻操作以及其他操作。处理腔室由各种部件形成，这些部件由含铝化合物、含钢化合物、含镍化合物以及其他化合物形成。这些化合物可另外含有铬、钛及钼以及其他材料。器件小型化使得形成于基板的薄膜层中的器件图案的小尺寸更加关键。在基板中实现临界尺寸从良好品质且对基板中的下层薄膜层具有良好粘附性的薄膜层开始。为实现良好品质薄膜，处理设备最小化处理腔室环境污染影响或形成于腔室内所处理的基板上。处理气体在形成等离子体时的完全解离增强了沉积在基板上的薄膜的品质。使用高温提供处理气体的更完全解离且亦提供基板上的高品质薄膜的强粘附性。然而，在处理腔室的连续操作期间，腔室中的腐蚀剂侵蚀腔室部件，并产生残余颗粒，这些残余颗粒增加处理腔室的内部容积中铬、钛及钼的浓度。随时间推移，处理腔室的内部容积中的残余颗粒的浓度趋于上升。沉积环境中的杂散材料可最终进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波纹管，包括：顶部安装凸缘；底部安装凸缘；管状折形接头结构，所述管状折形接头结构耦接所述安装凸缘；以及涂层，所述涂层设置在至少所述管状折形接头结构的外表面上，所述涂层包含聚四氟乙烯(PTFE)、聚一氯对二甲苯、聚二氯对二甲苯、类金刚石碳、氧化钇稳定的氧化锆、镍氧化铝或铝硅镁钇氧复合物的至少一种。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.07 IN 2324/CHE/2015;2015.09.28 IN 5174/CHE1.一种波纹管，包括：顶部安装凸缘；底部安装凸缘；管状折形接头结构，所述管状折形接头结构耦接所述安装凸缘；以及涂层，所述涂层设置在至少所述管状折形接头结构的外表面上，所述涂层包含聚四氟乙烯(PTFE)、聚一氯对二甲苯、聚二氯对二甲苯、类金刚石碳、氧化钇稳定的氧化锆、镍氧化铝或铝硅镁钇氧复合物的至少一种。2.如权利要求1所述的波纹管，其中所述管状折形接头结构由不锈钢或镍铬合金制成。3.如权利要求1所述的波纹管，其中所述涂层对于类金刚石碳材料具有约0.5微米至约5微米之间的厚度。4.如权利要求1所述的波纹管，其中所述涂层包含多个层。5.如权利要求4所述的波纹管，其中所述多个层由至少两种不同材料制成。6.如权利要求5所述的波纹管，进一步包含：粘合层，所述粘合层设置在所述多个层中的至少两层之间。7.如权利要求6所述的波纹管，其中所述粘合层由铬或钛或镍或上述的合金中的至少一种形成。8.如权利要求4所述的波纹管，其中所述涂层的所述多个层中的各层具有约0.25微米至约3微米之间的厚度。9.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈文达·瑞泽，哈里斯·库马尔，琳·张，斯坦利·吴，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US