一种量测机点位自动补正方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种量测机点位自动补正方法及装置。所述方法包括：使待测产品进入量测机机台；调用产品参数文件，以量测产品；完成产品量测，以获取最新点位信息；判定点位差异是否满足补正条件；以及如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台。

A method and device for automatic correction of point position of measuring machine

【技术实现步骤摘要】
一种量测机点位自动补正方法及装置
本专利技术涉及测量
，具体地涉及一种量测机点位自动补正方法及装置。
技术介绍
量测点位是量测机台能够正确量测以获取数据的关键。量测点位即量测的坐标信息，包括至少X、Y、Z三个移动轴的信息。量测点位会随着时间而变化，因为机构、制程等变化因素的影响，会出现坐标偏移的情况，坐标偏移的情况会导致量测时间延长，甚至会导致量测错误，提供错误的参数文件监控信息，导致产品异常。目前主流的点位补正技术依赖于人员手动校正，属于纯手动或半自动状态，没有实现全自动化。图1示出目前实现点位补正的流程图。如图1所示，在确认需要进行点位补正时，首先需要制造借机、借物料，即因为点位补正需要时间，所以需要借用机台，而机台被借用则不能监控产品的品质，并且需要确认点位校正的效果，所以需要借用物料来确认效果。在物料进入机台后，手动确认每点变异，更新点位信息并且保存参数文件(recipe)，开始自动量测并且确认点位信息是否正确，如果不正确，则更新点位信息并且保存参数文件，如果正确，则完成手动补正，其中参数文件是用于监控产品品质的文件，其包含量测点位等信息。依赖于操作人员手动校正的点位补本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种量测机点位自动补正方法，其特征在于，包括：使待测产品进入量测机机台；调用产品参数文件，以量测产品；完成产品量测，以获取最新点位信息；判定点位差异是否满足补正条件；以及如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台。

【技术特征摘要】
1.一种量测机点位自动补正方法，其特征在于，包括：使待测产品进入量测机机台；调用产品参数文件，以量测产品；完成产品量测，以获取最新点位信息；判定点位差异是否满足补正条件；以及如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，完成产品量测以获取最新点位信息包括：获取产品的几何特征的点位信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，判定点位差异是否满足补正条件包括：判定产品的几何特征的点位信息的差异是否大于阈值。4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述产品的几何特征包括产品在所述量测机的一个轴向方向上的两个边。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，判定产品的几何特征的点位信息的差异是否满足补正条件包括：判定所述两个边中的至少一个边的当前点位信息与前次点位...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶巧云，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44