The utility model discloses a MEMS microphone comprises a diaphragm, a substrate and disposed over a substrate back; a plurality of comb teeth formed on the diaphragm edge position, wherein a plurality of comb teeth spaced diaphragm in the circumferential direction; wherein, the membrane between adjacent the two part of the comb through an insulating layer connected on a substrate; comb portion of the membrane and the substrate at least partially overlap, between the two has a gap and configured to supply air flow through the air circulation channel. The microphone of the utility model has better impact resistance and can also avoid the intrusion of dust.
【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风
本技术涉及声学领域,更具体地,涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS感测组件现已应用普及在消费性电子产品中,如何加快产品生产工艺是目前零组件供货商关注的焦点,例如手机生产组装过程中所产生的灰尘碎削通过气枪直接清理,是目前成本最低的方案。因此对MEMS传感器必须提出大声压或大气压的抗吹气改善方案,避免在组装过程,因气枪清理导致麦克风发生破裂失效。目前的改善方案为在MEMS麦克风的振膜上设置泄压孔或者泄压阀结构。但是泄压孔的结构会减少振膜的有效面积。在振膜中部区域设置的泄压阀结构会受到尺寸的限制,其泄压能力有限;而且还会直接影响振膜的振动特性,尤其影响振膜的低频特性;振膜的动态稳定性比较差。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供一种MEMS麦克风的新技术方案。根据本技术的第一方面,提供了一种MEMS麦克风,包括衬底以及位于衬底上方的振膜、背极;在所述振膜的边缘位置形成有多个梳齿部,所述多个梳齿部间隔分布在振膜的周向方向上;其中,所述振膜上相邻两个梳齿部之间的位置通过绝缘层连接在衬底上;所述振膜上的梳齿部至少部分地与衬底重叠在一起,二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道。可选地,所述振膜包括振膜主体以及多个间隔分布在振膜主体边缘、且相对于振膜主体边缘凸起的连接部,所述梳齿部设置在振膜主体上位于相邻两个连接部之间的位置;所述振膜的连接部通过绝缘层连接在衬底上。可选地,所述振膜主体与连接部通过MEMS工艺一体成型。可选地,所述每个梳齿部包括至少一个通过刻蚀振膜形成的泄气阀瓣。可选地,所述泄气阀瓣呈矩形、扇形、椭圆形、梯形或者S型。可选地 ...
【技术保护点】
一种MEMS麦克风,其特征在于:包括衬底(1)以及位于衬底(1)上方的振膜(2)、背极(5);在所述振膜(2)的边缘位置形成有多个梳齿部(22),所述多个梳齿部(22)间隔分布在振膜(2)的周向方向上;其中,所述振膜(2)上相邻两个梳齿部(22)之间的位置通过绝缘层连接在衬底(1)上;所述振膜(2)上的梳齿部(22)至少部分地与衬底(1)重叠在一起,二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道(6)。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风,其特征在于:包括衬底(1)以及位于衬底(1)上方的振膜(2)、背极(5);在所述振膜(2)的边缘位置形成有多个梳齿部(22),所述多个梳齿部(22)间隔分布在振膜(2)的周向方向上;其中,所述振膜(2)上相邻两个梳齿部(22)之间的位置通过绝缘层连接在衬底(1)上;所述振膜(2)上的梳齿部(22)至少部分地与衬底(1)重叠在一起,二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道(6)。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述振膜(2)包括振膜主体(20)以及多个间隔分布在振膜主体(20)边缘、且相对于振膜主体(20)边缘凸起的连接部(21),所述梳齿部(22)设置在振膜主体(20)上位于相邻两个连接部(21)之间的位置;所述振膜(2)的连接部(21)通过绝缘层连接在衬底(1)上。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述振膜主体(20)与连接部(21)通过MEMS工艺一体成型。4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风...
【专利技术属性】
技术研发人员:詹竣凱,蔡孟錦,周宗燐,
申请(专利权)人:歌尔股份有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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